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產(chǎn)品特色

一：電氣控制及爐膛安裝

電氣控制采用控溫儀表與觸屏組合操控,，其控溫精確且操作直觀簡便,。儀表及觸屏均采用國內(nèi)**品牌，質(zhì)量精確可靠。

五段爐膛溫區(qū)長度100+200+200+200+100mm,，爐膛間格擋較常規(guī)爐膛格擋減薄,，5點控溫,，利于溫區(qū)間的精確控制,，爐膛可以開啟，并裝有散熱風扇,，使降溫更快,。

二：真空管路和法蘭

1：左端法蘭：

    左端法蘭采用可滑動結(jié)構(gòu),，使爐管拆卸清洗簡單方便，爐管與法蘭之間采用聚四氟墊片填充縫隙,，減少污染源,，另配有KF16接口（預留接口）。左端經(jīng)氣動插板閥連接手套箱,。

2：右端法蘭：

右端法蘭采用簡化結(jié)構(gòu),，配有旁抽截止閥+KF16（預留接口）+直抽CF100接口。

3：真空管路

右端法蘭裝有全量程真空計,，CF100接口連接冷阱,，冷阱容積約1.5L，冷阱前端連接氣動插板閥,，后端連接分子泵,。

4：連接手套箱部分：左端法蘭經(jīng)氣動插板閥連接手套箱部分。

三：流量控制

本設備按配備有一路質(zhì)量流量計,，量程5000sccm,，采用國內(nèi)**品牌，質(zhì)量精確可靠,。氣體經(jīng)流量計后從左端法蘭的進氣口進入,，使氣流對升華材料的影響降到*低。

四：外觀

    本設備結(jié)構(gòu)采用承重框架結(jié)合鈑金包圍形式,，顏色采用時尚高光白,，設備簡潔時尚又不乏穩(wěn)重，更具備操作直觀方便,、控溫精確,、真空優(yōu)良等性能。重框架采用模塊式組裝結(jié)構(gòu),，拆卸組裝十分方便,，利于狹小空間的運輸與安裝。

技術參數(shù)