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一、設備組成

這是一款智能型PECVD系統(tǒng)。該設備主要分為四大部分：多溫區(qū)管式爐,、射頻組件,、氣路系統(tǒng),、及自動化控制軟件集成系統(tǒng),。

1、開啟式加熱爐

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料,，配K型熱電偶,，6點控溫；設備升降溫控制靈活,、加熱爐可電動開啟方便客戶更換維修反應管,。

2、氣路系統(tǒng)

   可由質(zhì)量流量計精確控制多路氣體按不同流量進行混合配比,，另外單獨1路過鼓泡器后進入反應管內(nèi),。

3、射頻組件

    1000W高性能射頻輝光均勻,，可使整個反應腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),。

4、 智能控制系統(tǒng)          

    采用智能PID模糊控制,，30段可編程控制,。具有超溫和斷偶報警功能。

二,、技術參數(shù)