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一,、產(chǎn)品特色

（1）該款設備是小型浮動催化 CVD 系統(tǒng)，配備真空系統(tǒng),，可以低壓條件下進行實驗,；設備配有雙向推拉注射泵、氧分析儀、防爆控制柜,、收集罐,、密封腔室等組件。

（2）加熱爐為三溫區(qū)立式爐,，上端法蘭配有導液桿（可上下調(diào)節(jié)）和 1 個進氣口,；下端法蘭配有安全保護泄壓裝置，底部配有收集罐,，收集罐放置于小車上便于移動,，真空系統(tǒng)方面由一個電阻規(guī)和一臺 BSV30機械泵組成；尾部配有不銹鋼過濾裝置,；加熱爐爐體為密封結(jié)構(gòu),，同時備有可通循環(huán)氣體的進出口。

（3）防爆控制柜配有 15 寸觸摸屏及按鈕操作組件,，下方配有氧分析儀,、觸摸防爆鼠標以及氣路手閥組件；柜體左側(cè)配有可切換鼓泡裝置的組件,；*頂部箱體配有雙向推拉注射泵,，供液體連續(xù)工作。

二,、技術參數(shù)