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一,、設(shè)備組成

滑軌進料系統(tǒng)、加熱系統(tǒng),、組合型收集系統(tǒng),、預(yù)熱及真空系統(tǒng)、工控及操作系統(tǒng),。

1,、叉車式進料系統(tǒng)：

軌道滑動式進出料模式，配備5層加熱托盤支架每一層2個托盤且上下左右密封,，且每一層支架配備加熱元器件,，加熱溫度可控,，且托盤可從托盤支架上自由裝/卸。每一層托盤支架外側(cè)配備進氣口,，給腔體提供氣流導(dǎo)向,。門板與腔體之間采用加裝護照和石墨密封，即可防止材料沉積到門板上,，也可維持基礎(chǔ)真空,。

2、加熱系統(tǒng)

加熱腔體采用氧化鋁陶瓷纖維制品與加熱絲一體成型設(shè)計,，金屬內(nèi)腔體,，測溫元件采用K型熱偶，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表,，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升,、降溫要求調(diào)整輸出信號。

3,、組合型收集系統(tǒng)

收集區(qū)由兩個收集腔體組成,，與加熱腔體連接處的部分，配備加熱系統(tǒng),，溫度可控,。另外一節(jié)收集腔體，配備可滑動裝置,，方便收集腔體取料,、拆卸、清理,。收集管底部配備風冷系統(tǒng)，尾端配備艙門以及排氣接口與機械泵連接,。

4,、預(yù)熱及真空系統(tǒng)

進氣系統(tǒng)配備預(yù)熱裝置，預(yù)熱的氣體從裝料托盤進氣口接入,、經(jīng)過主加熱腔體再從收集

管道排出,。設(shè)備配備機械泵和電阻真空計，并含有配套使用的波紋管,，手動擋板閥,，卡箍等連接部件。

5,、工控及操作系統(tǒng)

配備15寸工控屏,，集加熱、真空,、數(shù)據(jù)處理等控制為一體,。

二,、產(chǎn)品特色

1、軌道滑動式進出料模式,，配備載料托盤,，可通過跟換托盤來實現(xiàn)連續(xù)升華；

2,、每層托盤都配備加熱系統(tǒng),，且溫度可控，溫場均勻,；

3,、配備氣體引流系統(tǒng)，輔助材料升華后沉積到收集區(qū),；

4,、采用觸摸屏控制，參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便,，參數(shù)自動記錄,；

5、設(shè)備集成化設(shè)計,、以及集成化管理,，美觀方便。

三,、技術(shù)參數(shù)