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一,、設(shè)備簡(jiǎn)介

BTF-1600C-CVD-D2是一臺(tái)非標(biāo)定制的多源高溫CVD系統(tǒng),。本設(shè)備按客戶要求加裝剛玉管一支,，加熱爐,，循環(huán)泵,、排風(fēng)系統(tǒng),、機(jī)架等,。電氣控制采用內(nèi)置控溫儀表,，其控溫精準(zhǔn)且操作直觀簡(jiǎn)便。儀表采用國內(nèi)**品牌,，質(zhì)量精確可靠,。爐管為剛玉管，外徑￠60m,，長度1000mm,。爐管橫放固定于爐膛內(nèi)。左端法蘭為進(jìn)氣端,，配有壓力保護(hù)組件和2個(gè)進(jìn)氣口,，其中一路由截止閥控制，為進(jìn)混氣,；另外一路為環(huán)硼氮烷,，通過電磁閥+單向閥控制；右端法蘭為出氣端,，配有蝶閥控制的壓力控制系統(tǒng)和真空泵組成,，法蘭前端配有攪拌機(jī)構(gòu)，對(duì)于尾端沉積物料具有清理作用,，同時(shí)配有過濾組件,。設(shè)備進(jìn)氣端液態(tài)源蒸發(fā)組件制冷制熱由循環(huán)泵工作，通過循環(huán)泵工作,，以及管道保溫及腔體保溫隔絕等方法實(shí)現(xiàn)低溫,、高溫下的切換。液態(tài)源密封腔室和加熱爐密封腔室,，均通過PVC管道連接至腔室頂部,，通過管道風(fēng)機(jī)與客戶排風(fēng)系統(tǒng)對(duì)接。本設(shè)備采用承重框架結(jié)合鈑金包圍形式,。爐體和門板顏色采用深灰+時(shí)尚橘紋白,。設(shè)備簡(jiǎn)約又不乏穩(wěn)重,，更具備操作直觀方便、控溫精確等性能,。

二,、技術(shù)參數(shù)