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一,、設備簡介

BTF-1600C-CVD-D2是一臺非標定制的多源高溫CVD系統(tǒng),。本設備按客戶要求加裝剛玉管一支,，加熱爐,，循環(huán)泵,、排風系統(tǒng),、機架等,。電氣控制采用內(nèi)置控溫儀表,，其控溫精準且操作直觀簡便。儀表采用國內(nèi)**品牌,，質(zhì)量精確可靠,。爐管為剛玉管，外徑￠60m,，長度1000mm,。爐管橫放固定于爐膛內(nèi)。左端法蘭為進氣端,，配有壓力保護組件和2個進氣口,，其中一路由截止閥控制，為進混氣,；另外一路為環(huán)硼氮烷,，通過電磁閥+單向閥控制；右端法蘭為出氣端,，配有蝶閥控制的壓力控制系統(tǒng)和真空泵組成,，法蘭前端配有攪拌機構(gòu)，對于尾端沉積物料具有清理作用,，同時配有過濾組件,。設備進氣端液態(tài)源蒸發(fā)組件制冷制熱由循環(huán)泵工作，通過循環(huán)泵工作,，以及管道保溫及腔體保溫隔絕等方法實現(xiàn)低溫,、高溫下的切換,。液態(tài)源密封腔室和加熱爐密封腔室，均通過PVC管道連接至腔室頂部,，通過管道風機與客戶排風系統(tǒng)對接,。本設備采用承重框架結(jié)合鈑金包圍形式。爐體和門板顏色采用深灰+時尚橘紋白,。設備簡約又不乏穩(wěn)重,，更具備操作直觀方便、控溫精確等性能,。

二,、技術(shù)參數(shù)