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安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
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一 設(shè)備簡介：
BTF-1200C-SL-L-CVD是一款智能型滑軌式CVD系統(tǒng),。該設(shè)備主要分為五大部分：加熱系統(tǒng)，真空系統(tǒng),，氣體控制供給系統(tǒng)，自動控制移動系統(tǒng),，控制軟件系統(tǒng)組成,。爐膛為440mm溫區(qū)爐膛，配K型熱電偶,，單點控溫,；加熱爐置于滑軌上，可手動在規(guī)定的范圍內(nèi)任意滑動到想要的位置并用限位器固定??；氣路系統(tǒng)采用4路流量計控制，經(jīng)由不銹鋼混氣罐混合,，再進(jìn)入左端進(jìn)氣法蘭,；左端法蘭端蓋上預(yù)留1路進(jìn)氣口，內(nèi)部有不銹鋼導(dǎo)氣管,，可將氣體導(dǎo)入加熱區(qū)位置,。該設(shè)備適用于高校研究所以及研發(fā)型企業(yè)使用。
二 設(shè)備參數(shù)：
額定功率：3KW（加熱爐膛）
額定電壓：AC 220V 50/60HZ
最高溫度：1200℃
持續(xù)工作溫度：≤1100℃
推薦升溫速率：≤10℃/min
爐管尺寸：高純石英管 Φ100*1650mm
加熱區(qū)長度：440mm
熱電偶類型：K型熱電偶
控溫精度：±1℃
控溫方式：10寸觸液晶屏觸摸控制,，模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能
爐體尺寸： 220*750*1450mm（長*寬*高）
加熱元件： 電阻絲
設(shè)備凈重：約300Kg
END
安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
銷售熱線：0551-65146333
售后熱線：0551-65148123
投訴專線：18009693519
公司地址：安徽省合肥市宜秀路6號貝意克基地
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