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產(chǎn)品推薦 | BTF-1400C-II-OP-R多功能回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)

貝意克 2023-03-28 | 閱讀：706

導(dǎo)語(yǔ)

BTF-1400C-II-OP-R多功能回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)是貝意克推出的一款代表產(chǎn)品。設(shè)備采用集成化設(shè)計(jì),，兩個(gè)溫區(qū)可獨(dú)立控制,，最高使用溫度可達(dá)1400度，廣泛應(yīng)用于科研院所和高端制造領(lǐng)域,。

一設(shè)備特點(diǎn)：

1,、此款設(shè)備提供一個(gè)雙溫區(qū)的溫場(chǎng)，兩個(gè)溫區(qū)可獨(dú)立控制,。

2,、保溫材料采用氧化鋁纖維防塵處理,，爐膛可開(kāi)啟。

3,、加熱元件采用硅碳棒,，最高使用溫度可以達(dá)到1400度,，使用壽命長(zhǎng),，溫場(chǎng)流場(chǎng)均勻,。

4,、采用觸摸屏和工控電腦自動(dòng)控制,，參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便,，參數(shù)自動(dòng)記錄保持,。

5,、設(shè)備集成化設(shè)計(jì),、以及集成化管理,，美觀方便,。

二設(shè)備組成：

1,、加熱系統(tǒng)：

該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,，其極低的熱導(dǎo)率和比熱容,，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研溫,，電力調(diào)制器控制；負(fù)載采用小電壓大電流控制,，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,，測(cè)溫元件采用K型熱偶,。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),，無(wú)須操作人單位的材料工藝研究,。加熱元件選用電阻絲加熱,，適合中低溫度加熱系統(tǒng),。

高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控員的干預(yù),，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升,、降溫要求調(diào)整輸出信號(hào)，同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫,、欠溫,、斷偶報(bào)警保護(hù)功能，大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求,。

2,、爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)：

爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào),，且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行,。管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻。

3,、供氣系統(tǒng)：

供氣系統(tǒng)是一種可控制3種氣體按不同流量進(jìn)氣的裝置,，浮子流量計(jì)安裝于密封的可移動(dòng)機(jī)柜內(nèi),，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。

4,、真空系統(tǒng)：

真空系統(tǒng)內(nèi)部安裝機(jī)械泵1臺(tái),，電阻真空計(jì)1套,，并含有配套使用的波紋管，手動(dòng)擋板閥,，卡箍等連接部件,。

三加熱主體設(shè)備技術(shù)參數(shù)：

1、石英腔體尺寸：中間外徑?100* 端頭外徑?60*長(zhǎng)度1400mm

2,、剛玉腔體尺寸：φ60*1400mm

3,、爐膛保溫材料：氧化鋁纖維

4,、表面溫度：≤60℃

5、加熱元件：硅碳棒

6,、加熱區(qū)數(shù)量：2區(qū),，獨(dú)立控溫

7、加熱區(qū)長(zhǎng)度：300+300mm