日韩av在线高清免费毛片日韩欧美一级成人|女人18以后毛片|国产18女人毛多水多毛片|乱系列人妻视频|中文字幕久久熟女人妻av|91麻豆人妻|校花被我玩弄|父女乱荡|高潮videossex潮喷另类|日本在线观看人妻,黑人侵犯日本人妻,色哟哟视频线在线播放欧美,亚洲欧美国产国产一区第二页

手機(jī)版

掃一掃,,手機(jī)訪問(wèn)

關(guān)于我們 加入收藏
400-810-0069轉(zhuǎn)3338

中國(guó)粉體網(wǎng)認(rèn)證電話,,請(qǐng)放心撥打

丹東百特儀器有限公司

19 年鉆石會(huì)員

已認(rèn)證

撥打電話
獲取底價(jià)
提交后,商家將派代表為您專人服務(wù)
立即發(fā)送
點(diǎn)擊提交代表您同意 《用戶服務(wù)協(xié)議》
當(dāng)前位置:
丹東百特 >技術(shù)文章 >

BeNano 180 Zeta Max檢測(cè)二氧化硅拋光液濃度

BeNano 180 Zeta Max檢測(cè)二氧化硅拋光液濃度
丹東百特  2025-06-07  |  閱讀:179

關(guān)鍵詞:濃度測(cè)試,、體積分?jǐn)?shù),、數(shù)量濃度,、CMP拋光液


氧化硅拋光液廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域,,其濃度對(duì)工藝效果至關(guān)重要,尤其是在涂覆,、蝕刻和沉積過(guò)程中。通過(guò)精確檢測(cè)濃度,,可確保工藝的穩(wěn)定性和可靠性,。濃度檢測(cè)還有助于優(yōu)化顆粒的分散狀態(tài)和溶液性能:濃度過(guò)高可能引起顆粒聚集,降低分散穩(wěn)定性,;濃度過(guò)低則可能導(dǎo)致膜層覆蓋不足,,影響工藝質(zhì)量。


微信圖片_20250607100733.jpg


丹東百特最新推出的BeNano 180 Zeta Max納米粒度及Zeta電位分析儀,,集沉降,、折射率、濃度于一體檢測(cè),。其中,,檢測(cè)顆粒物濃度可以通過(guò)多種手段進(jìn)行,例如散射法,、光阻法,、電阻法等等,通過(guò)一種結(jié)合消光法,、米理論和動(dòng)態(tài)光散射的方法LEDLS可以檢測(cè)一個(gè)寬泛的粒徑范圍內(nèi)的顆粒物的體積分?jǐn)?shù)和數(shù)量濃度信息,。LEDLS作為百特的專利濃度測(cè)試技術(shù),不需要甲苯進(jìn)行出廠前的校正,,使用簡(jiǎn)便,,支持單角度檢測(cè)濃度能力,不受光源衰減的限制,。


本應(yīng)用報(bào)告利用百特BeNano 180 Zeta Max 納米粒度及 Zeta 電位分析儀,,對(duì)二氧化硅拋光液的粒徑和濃度進(jìn)行了表征。


原理和設(shè)備

實(shí)驗(yàn)采用BeNano 180 Zeta Max進(jìn)行測(cè)試,,該儀器配備波長(zhǎng)為671nm,、功率為50mW的固體激光器作為光源。激光入射光束照射到樣品池中的樣品,,在173°角度通過(guò)連接光纖的APD檢測(cè)器接收樣品的散射光信號(hào),,同時(shí)在0°方向放置PD檢測(cè)器,用于檢測(cè)透射激光強(qiáng)度,。測(cè)試使用了PS可拋棄樣品池作為檢測(cè)池,。


驗(yàn)證過(guò)程中使用的氧化硅球光學(xué)參數(shù)為折射率1.45,吸收率0.0001,。每個(gè)樣品測(cè)試三次,,取三次結(jié)果的平均值,。


樣品制備和測(cè)試條件


101758_948740_jswz.jpg


101801_296726_jswz.jpg

圖1. 氧化硅原液(左)和70℃烘干3h(右)


該氧化硅拋光液是由水和氧化硅組成的混合物。為測(cè)定氧化硅的理論體積分?jǐn)?shù),,取1mL溶液倒在空白錫箔紙上,,初始總質(zhì)量為1561.5mg。將其置于70℃烘箱中烘干3小時(shí),,直到質(zhì)量不再減少,,水分完全蒸發(fā)。烘干后稱得總質(zhì)量為972.3mg,,由此計(jì)算得出氧化硅的理論體積分?jǐn)?shù)為41%,。


微信圖片_20250607100743.jpg

圖2. 不同濃度的氧化硅拋光液


本實(shí)驗(yàn)使用10mM NaCl作為稀釋液,制備了不同理論濃度的氧化硅溶液,,分別為稀釋100倍(4.1% v/v),、1000倍(0.41% v/v)和10000倍(0.041% v/v)。通過(guò)DLS測(cè)量其粒徑,,并利用LEDLS測(cè)定其濃度,,分析不同濃度下的結(jié)果。


測(cè)試結(jié)果和討論


101921_769670_jswz.jpg

圖3. 不同濃度氧化硅的粒徑分布曲線


使用BeNano 180 Zeta Max對(duì)氧化硅球進(jìn)行粒徑表征,。圖3展示了不同濃度下氧化硅球的光強(qiáng)分布曲線,,從圖中可以看出樣品均為單峰分布,三個(gè)濃度下的粒徑非常接近,,這表明稀釋過(guò)程對(duì)粒徑?jīng)]有影響,,樣品的穩(wěn)定性在稀釋過(guò)程中得以保持。


表1. 不同濃度的氧化硅DLS測(cè)試數(shù)據(jù)


微信圖片_20250607100748.png


表1為不同濃度氧化硅的Z-均粒徑和PDI測(cè)試結(jié)果,。數(shù)據(jù)表明該氧化硅的平均粒徑約130nm,,PDI(多分散指數(shù))均小于0.05,顯示樣品在這三個(gè)濃度下均為窄分布的單分散狀態(tài),。


102206_745617_jswz.jpg

圖4. 氧化硅的實(shí)測(cè)數(shù)量濃度統(tǒng)計(jì)結(jié)果


使用 BeNano 180 Zeta Max對(duì)氧化硅球進(jìn)行濃度表征,。圖4為不同稀釋倍數(shù)下130nm氧化硅球的數(shù)量濃度統(tǒng)計(jì)結(jié)果。橫坐標(biāo)為通過(guò)DLS技術(shù)測(cè)得的體積加權(quán)粒徑,,縱坐標(biāo)為通過(guò)LEDLS技術(shù)測(cè)得的數(shù)量濃度值,。


該氧化硅樣品的理論體積分?jǐn)?shù)分別為0.41%、0.041%和0.0041%,,理論數(shù)量濃度為3.56E+12,、3.56E+11和3.56E+10。LEDLS的檢測(cè)結(jié)果顯示,,實(shí)測(cè)體積分?jǐn)?shù)為0.4289%,、0.0373%和0.0038%,數(shù)量濃度分別為4.94E+12,、4.01E+11和4.56E+10,。通過(guò)對(duì)比可以看出,,三個(gè)濃度下樣品的粒徑保持一致,實(shí)測(cè)數(shù)量濃度與稀釋倍數(shù)變化呈現(xiàn)良好的線性相關(guān)性,,比例接近10倍,。


102240_601851_jswz.jpg

圖5. 氧化硅理論濃度與使用BeNano測(cè)得的濃度對(duì)比結(jié)果。短劃線表示理論值與實(shí)測(cè)值完全一致,,點(diǎn)虛線表示1.5倍偏差范圍,。


適合顆粒物濃度測(cè)試的粒徑和濃度范圍依賴于樣品粒徑以及對(duì)光的散射和吸收能力。通常來(lái)說(shuō),,適中粒徑樣品(100-400nm)具有較寬泛的適合濃度測(cè)試的濃度范圍。從圖5可以看出,,對(duì)于130nm左右的氧化硅球,,在濃度范圍1E+10個(gè)/mL至1E+12個(gè)/mL范圍內(nèi)測(cè)試結(jié)果與理論濃度值一致性較好。


結(jié)論

本應(yīng)用報(bào)告展示了 BeNano 180 Zeta Max 在利用LEDLS方法檢測(cè)氧化硅拋光液濃度方面的優(yōu)勢(shì),。LEDLS技術(shù)具備樣品制備簡(jiǎn)單,、測(cè)量快速的特點(diǎn),檢測(cè)結(jié)果表明對(duì)于粒徑約 130nm 的氧化硅,,在適合的濃度范圍內(nèi),,顆粒濃度檢測(cè)結(jié)果與理論值較為一致,表現(xiàn)出良好的測(cè)量準(zhǔn)確性,。

相關(guān)產(chǎn)品

更多

BeNano Zeta電位分析儀

型號(hào):BeNano Zeta

面議
BeNano 180 Zeta Pro 納米粒度及 Zeta 電位儀

型號(hào):BeNano 180 Zeta Pro

面議
BeNano 180 Zeta 納米粒度及 Zeta 電位儀

型號(hào):BeNano 180 Zeta

面議
BTPM-AWS2智能恒溫恒濕稱重系統(tǒng)

型號(hào):BTPM-AWS2

面議

相關(guān)文章

更多

虛擬號(hào)將在 秒后失效

使用微信掃碼撥號(hào)

為了保證隱私安全,,平臺(tái)已啟用虛擬電話,請(qǐng)放心撥打(暫不支持短信)
留言咨詢
(我們會(huì)第一時(shí)間聯(lián)系您)
關(guān)閉
留言類型:
     
*姓名:
*電話:
*單位:
Email:
*留言內(nèi)容:
(請(qǐng)留下您的聯(lián)系方式,,以便工作人員及時(shí)與您聯(lián)系!)