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真空烘箱？No,！先進半導(dǎo)體材料更好的選擇源自氣氛烘箱

德國Retsch（萊馳） 2023-09-09 | 閱讀：1065

華為Mate 60 Pro,，讓”中國芯“閃耀世界

華為閃電發(fā)布最新手機Mate 60 Pro引發(fā)了全球關(guān)注，盡管華為官方并未太多談及該手機各方面的技術(shù)參數(shù),，但根據(jù)不少數(shù)碼愛好者的實際測算,，其網(wǎng)速已經(jīng)達到5G標準，援引全球著名的半導(dǎo)體行業(yè)觀察機構(gòu)TechInsights的拆解報告,，華為Mate60 Pro搭載了新型麒麟9000s芯片,，并采用了先進的7納米。這代表了TechInsights記錄以來,，中國設(shè)計和制造的里程碑,。

（圖片來自華為官網(wǎng)）

對于國內(nèi)消費者來說，這次或許是從0到1的進步,，解決了5G智能手機先進的5G芯片問題,，我們當(dāng)然是為之振奮的。但必須承認距離最先進技術(shù)尚有很大差距,。從7納米到5納米再到4納米,，不是一個線性的時間問題，復(fù)雜度會越來越高,。道阻且長,，行則將至。

這次華為芯片突破的背后,，是中國芯片產(chǎn)業(yè)鏈共同努力,、進步的結(jié)果。半導(dǎo)體作為一個流程非常長的產(chǎn)業(yè)鏈,，涉及芯片設(shè)計,、封裝測試、設(shè)備,、材料等多個方面,。在本文中，我們會聚焦于半導(dǎo)體材料生產(chǎn)制備過程中必不可少但是又很容易被忽略的一個設(shè)備——烘箱,。

氣氛烘箱 —— 先進半導(dǎo)體材料更好的選擇

烘箱在半導(dǎo)體的工藝當(dāng)中應(yīng)用廣泛,，主要包括有：

清洗：在半導(dǎo)體器件制造的過程中，需要將襯底和器件表面的雜質(zhì)去除，以確保器件的性能和可靠性,。在清洗后,，需要將襯底和器件表面放入烘箱中，以去除水分和其他殘留物質(zhì),。

烘干：晶圓或者芯片表面需要使用各種化學(xué)涂層材料,，例如抗反射涂層、光刻膠等,。這些化學(xué)涂層需要在烘箱中進行烘干,，以將涂層中的溶劑去除，以確保涂層的質(zhì)量,。

焙燒和退火：在半導(dǎo)體器件制造的過程中,，需要進行焙燒和退火步驟，以促進晶體生長,，調(diào)整晶體結(jié)構(gòu),，從而有助于器件的形成優(yōu)化器件結(jié)構(gòu)。在焙燒和退火過程中,，需要將襯底和器件放入烘箱中,，以進行高溫處理。

但相比于其它半導(dǎo)體設(shè)備,，烘箱很容易被大家忽略,。因為擔(dān)心氧化問題，所以很多廠家選擇真空烘箱,，真空烘箱必然需要真空泵,，就帶來了成本的增加。另外,，晶圓或者器件在加熱過程中表面的溶劑涂層或者膠體等會揮發(fā),，從而污染真空泵，進而提高了維修或者更換真空泵的時間和經(jīng)濟成本,。

對于晶圓,、芯片或者其它半導(dǎo)體器件，惰性氣氛烘箱其實是更佳的一個解決方案,，不僅能降低成本,，而且可以及時帶出揮發(fā)性物質(zhì)，保證了腔體內(nèi)的潔凈,。

卡博萊特蓋羅的惰性氣氛烘箱尤其適用于電子半導(dǎo)體行業(yè),，頂級的材料和獨特的設(shè)計，可實現(xiàn)氧氣含量低于50ppm,，絕佳的溫度均勻性保證了器件在熱處理過程中的穩(wěn)定性

HTMA 6/220配有nanodac控制器,，自動氣體控制和氧含量監(jiān)測選項

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