產(chǎn)綜研開發(fā)了可獲得高濃度SWCNT的技術(shù),并在晶體管制造中采用了該技術(shù),。首先,,以共軛高分子——聚芴(Polyfluorene,PFO)為分散劑將市售的SWCNT原料粉末分散到溶液中,,并連續(xù)進(jìn)行3萬轉(zhuǎn)/以上的超離心分離后,,提取出選擇性分離出來的半導(dǎo)體SWCNT的上層澄清液。在去除PFO之后,,將半導(dǎo)體SWCNT溶液涂布在底板上,,從而形成半導(dǎo)體SWCNT膜。使用SWCNT薄膜制成的晶體管,,成本比較低,,非常適于量產(chǎn),而且容易增大面積,。但是,,即便是有少許的半導(dǎo)體SWCNT以外的金屬SWCNT及金屬雜質(zhì)混入的話,也會(huì)導(dǎo)致晶體管的性能顯著下降,。因此,,迫切需要開發(fā)出能夠分離和提取高純度半導(dǎo)體SWCNT的技術(shù)。
此次,,產(chǎn)綜研為了制成高質(zhì)量半導(dǎo)體SWCNT薄膜,,進(jìn)行了60分鐘的超離心分離,并將金屬SWCNT等雜質(zhì)去除至檢測極限以下,。而且,,還設(shè)法去除了超離心分離后殘存在半導(dǎo)體SWCNT分散溶液中的PFO。除了進(jìn)行過濾,、清洗及加熱處理之外,,還對采用旋涂等方法實(shí)現(xiàn)薄膜化的條件進(jìn)行了研究。
在制作薄膜時(shí),,為了提高晶體管的特性,,采用了介電電泳法,,在制作薄膜的同時(shí),統(tǒng)一了任意取向的SWCNT的方向,。具體做法是在預(yù)制電極對上滴注半導(dǎo)體SWCNT分散液,,對電極間施加交流電場,使溶媒蒸發(fā),。通過這種方法,,能夠使SWCNT向電極之間聚集,,同時(shí)按照電場方向取向,。
此項(xiàng)研究成果已于08年6月9日刊登在《Applied Physics Letters》雜志的網(wǎng)絡(luò)版上。