中國粉體網(wǎng)訊 2025年4月16日，由中國粉體網(wǎng)主辦的“2025第二屆高端研磨拋光材料技術(shù)大會”在河南鄭州成功舉辦,！大會期間,，中國粉體網(wǎng)邀請到多位業(yè)內(nèi)專家學(xué)者做客“對話”欄目，就高端研磨拋光材料與技術(shù),、研磨拋光裝備及應(yīng)用,、行業(yè)未來發(fā)展等方面進(jìn)行了訪談交流,。本期為您分享的是華僑大學(xué)教授陸靜的專訪,。
華僑大學(xué)教授陸靜
粉體網(wǎng)：陸教授,，請問相比于單晶金剛石，多晶金剛石存在哪些優(yōu)勢,？
陸教授：多晶金剛石相較于單晶金剛石,，其合成工藝更為成熟。目前單晶金剛石的制備尺寸達(dá)到4英寸仍存在技術(shù)難度,，而多晶金剛石6英寸,、8英寸的制備技術(shù)已相對完善。
粉體網(wǎng)：多晶金剛石因高硬度和復(fù)雜表面結(jié)構(gòu)導(dǎo)致加工困難,，您在開發(fā)該技術(shù)過程中遇到的最大技術(shù)瓶頸是什么？
陸教授：多晶金剛石的主要技術(shù)挑戰(zhàn)在于其晶粒粗大和應(yīng)力導(dǎo)致的翹曲問題,。我們在技術(shù)研發(fā)過程中遇到的最大困難是晶圓碎片問題,，目前采用預(yù)處理結(jié)合反應(yīng)磨拋的方式來實現(xiàn)高效高質(zhì)加工。
粉體網(wǎng)：陸教授,，與傳統(tǒng)磨拋技術(shù)相比,，您的新技術(shù)在表面粗糙度、加工效率及成本控制方面有哪些顯著優(yōu)勢,？
陸教授：鑒于多晶金剛石尺寸較大且加工難度高,，傳統(tǒng)加工方式如鑄鐵盤研磨結(jié)合砂漿拋光需要數(shù)天時間。采用激光處理或氧化物輔助反應(yīng)預(yù)處理后,，再配合磨削加工,，可將加工周期縮短至約兩天，同時顯著降低碎片率,。此外,，結(jié)合光催化技術(shù),，可將表面粗糙度控制在0.2nm以下。
粉體網(wǎng)：您本次提出的多晶金剛石晶圓磨拋加工新技術(shù),，能否應(yīng)用到其他的硬脆材料中,？
陸教授：這項技術(shù)具有一定的通用性。對于表面粗糙度較高且存在翹曲問題的材料,，如碳化硅等硬脆材料,，均可參考采用預(yù)處理結(jié)合反應(yīng)磨拋的技術(shù)路線，但需要綜合考慮性價比因素,。
粉體網(wǎng)：陸教授,，就多晶金剛石晶圓的超精密加工來看，目前相關(guān)技術(shù)的推廣存在哪些問題,？對此您有什么建議,？
陸教授：目前多晶金剛石晶圓的生長和制備工藝尚未完全成熟，不同生產(chǎn)廠家的晶圓品質(zhì)存在差異,，需要針對性地調(diào)整工藝參數(shù),。此外，預(yù)處理成本及新型磨拋盤的研發(fā)成本較高,，期待規(guī)�,；a(chǎn)后成本能夠進(jìn)一步優(yōu)化。
（中國粉體網(wǎng)編輯整理/山林）
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