中國(guó)粉體網(wǎng)訊  近日,，國(guó)投創(chuàng)業(yè)完成對(duì)國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體電子陶瓷與精密零部件領(lǐng)軍企業(yè)無(wú)錫海古德新技術(shù)有限公司（以下簡(jiǎn)稱“海古德”）的領(lǐng)投。此次投資旨在推動(dòng)高端半導(dǎo)體材料和設(shè)備精密零部件自主創(chuàng)新,，加速實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代。

海古德是一家集高端半導(dǎo)體電子陶瓷及精密零部件的設(shè)計(jì),、研發(fā),、生產(chǎn)與銷售為一體的現(xiàn)代化高新技術(shù)企業(yè)，核心產(chǎn)品包括陶瓷靜電卡盤(pán),、陶瓷基板,、精密陶瓷部件等。

海古德產(chǎn)品系列

精密陶瓷部件：半導(dǎo)體設(shè)備中關(guān)鍵部件

精密陶瓷部件是使用氧化鋁陶瓷,、氮化鋁陶瓷,、碳化硅陶瓷等先進(jìn)陶瓷材料經(jīng)精密加工后制造的半導(dǎo)體設(shè)備零部件。先進(jìn)陶瓷材料在強(qiáng)度,、精度,、電學(xué)性能和耐腐蝕性等方面的優(yōu)異表現(xiàn)，能滿足真空,、高溫等特殊環(huán)境下的半導(dǎo)體制造復(fù)雜性能要求,。

精密陶瓷零部件廣泛應(yīng)用于光刻,、刻蝕、薄膜沉積離子注入,、CMP等多個(gè)半導(dǎo)體制造關(guān)鍵流程的核心設(shè)備中,，如軸承、導(dǎo)軌,、內(nèi)襯,、靜電吸盤(pán)、機(jī)械搬運(yùn)臂等,。尤其是在設(shè)備腔體內(nèi)部,，發(fā)揮支撐、保護(hù),、導(dǎo)流等功能,。

在高端光刻機(jī)中，為實(shí)現(xiàn)高制程精度,，需要廣泛采用具有良好的功能復(fù)合性,、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性、熱穩(wěn)定性,、尺寸精度的陶瓷零部件,，如E-chuck、Vacumm-chuck,、Block,、磁鋼骨架水冷板、反射鏡,、導(dǎo)軌等,，這些關(guān)鍵部件一般選用碳化硅陶瓷材料。

在刻蝕設(shè)備中,，采用陶瓷材料制作的部件主要有窗視鏡,，氣體分散盤(pán)，噴嘴,，絕緣環(huán),，蓋板，聚焦環(huán)和靜電吸盤(pán)等,。隨著芯片特征尺寸的減小和鹵素類等離子體能量的逐漸提高,，刻蝕機(jī)工藝腔和腔體內(nèi)部件的耐等離子體刻蝕性能變得越來(lái)越重要。

海古德：持續(xù)擴(kuò)展泛半導(dǎo)體先進(jìn)陶瓷材料體系

海古德核心業(yè)務(wù)聚焦于氮化鋁,、氮化硅和碳化硅三大前沿材料,，憑借深厚的技術(shù)底蘊(yùn)與創(chuàng)新能力，公司成功研發(fā)出高性能氮化鋁陶瓷基板、高性能氮化硅陶瓷基板,、靜電卡盤(pán),、加熱盤(pán)、全陶瓷加熱器,、高純碳化硅精密陶瓷件等一系列半導(dǎo)體核心封裝材料和關(guān)鍵零部件,，目前已在多家半導(dǎo)體設(shè)備制造企業(yè)實(shí)現(xiàn)批量化供應(yīng)，為國(guó)內(nèi)企業(yè)提供了穩(wěn)定可靠的國(guó)產(chǎn)替代方案,。

據(jù)了解,，2023年，海古德功率半導(dǎo)體（一期）項(xiàng)目竣工,，該項(xiàng)目由無(wú)錫海古德投資50億元?jiǎng)?chuàng)建江蘇海古德半導(dǎo)體科技公司,，新上六條流延線及排膠線，新購(gòu)燒結(jié)爐,、研磨機(jī),、激光粒度分析儀、氣相色譜儀等進(jìn)口設(shè)備,，年產(chǎn)氮化鋁基板720萬(wàn)片,，氮化硅基板300萬(wàn)片。

海古德團(tuán)隊(duì)在高性能電子陶瓷材料行業(yè)深耕多年,，積累了豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)專長(zhǎng),，在粉體配方、流延,、成型,、燒結(jié)等關(guān)鍵生產(chǎn)環(huán)節(jié)，形成了深厚的工藝沉淀和持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新能力,，構(gòu)建了全方位的核心競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),。

借助本次投資，海古德將持續(xù)拓展泛半導(dǎo)體先進(jìn)陶瓷材料體系及應(yīng)用領(lǐng)域,，致力于為客戶提供更加全面,、優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品系列，不斷加大研發(fā)投入,，深化技術(shù)創(chuàng)新，全力提升產(chǎn)品性能與服務(wù)質(zhì)量,，以契合高端半導(dǎo)體電子陶瓷與精密零部件的日益增長(zhǎng)且不斷升級(jí)的市場(chǎng)需求,。通過(guò)本輪投資，國(guó)投創(chuàng)業(yè)將支持海古德擴(kuò)大半導(dǎo)體陶瓷零部件產(chǎn)能,，加快高端半導(dǎo)體陶瓷和半導(dǎo)體核心陶瓷零部件的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程,。

來(lái)源：國(guó)投創(chuàng)業(yè)、東臺(tái)高新區(qū)、粉體網(wǎng)

（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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