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浙江森永光電與您相約江蘇,!2025第三代半導(dǎo)體SiC晶體生長(zhǎng)及晶圓加工技術(shù)研討會(huì)


來(lái)源:中國(guó)粉體網(wǎng) 粉享匯   粉享匯

[導(dǎo)讀]  2025第三代半導(dǎo)體SiC晶體生長(zhǎng)技術(shù)交流會(huì),8月21日相約江蘇·蘇州

隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展,,半導(dǎo)體材料的革新速度也進(jìn)一步加快,。當(dāng)前,碳化硅作為第三代半導(dǎo)體材料的典型代表,,在新能源汽車,、光伏、儲(chǔ)能等新興領(lǐng)域正快速滲透,,已成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的前沿和制高點(diǎn)。同時(shí),,我國(guó)“十四五”規(guī)劃已將碳化硅半導(dǎo)體納入重點(diǎn)支持領(lǐng)域,,碳化硅半導(dǎo)體將在我國(guó)5G基站建設(shè)、特高壓,、城際高速鐵路和城市軌道交通,、新能源汽車充電樁、大數(shù)據(jù)中心等新基建領(lǐng)域發(fā)揮重要作用,。


近年來(lái),,我國(guó)在SiC材料領(lǐng)域取得了顯著進(jìn)展,但與國(guó)際先進(jìn)水平相比,,在晶體生長(zhǎng)技術(shù),、晶圓加工技術(shù)等方面仍存在一定差距,。SiC晶體生長(zhǎng)過程中面臨著晶體缺陷控制,、生長(zhǎng)速率提升、晶體質(zhì)量穩(wěn)定性等難題;晶圓加工方面,則存在加工精度不足、良品率低,、加工成本較高等挑戰(zhàn),。在當(dāng)前倡導(dǎo)節(jié)能減排的大趨勢(shì)下,,快速穩(wěn)定地突破碳化硅單晶尺寸和質(zhì)量等關(guān)鍵問題,才能夠更好地占據(jù)未來(lái)碳化硅市場(chǎng),。


在此背景下,中國(guó)粉體網(wǎng)將于2025年8月21日江蘇·蘇州舉辦第三代半導(dǎo)體SiC晶體生長(zhǎng)及晶圓加工技術(shù)研討會(huì),,大會(huì)將匯聚國(guó)內(nèi)行業(yè)專家,、學(xué)者,、技術(shù)人員、企業(yè)界代表圍繞晶體生長(zhǎng)工藝、關(guān)鍵原材料,、生長(zhǎng)設(shè)備及應(yīng)用、碳化硅晶片切、磨、拋技術(shù)等方面展開演講交流。浙江森永光電設(shè)備有限公司作為參展單位邀請(qǐng)您共同出席,。




浙江森永光電設(shè)備有限公司致力于高精密平坦化研磨拋光技術(shù)的研究與應(yīng)用,生產(chǎn)制造一系列高品質(zhì)精密單雙面研磨,、拋光機(jī)械,。


應(yīng)用領(lǐng)域


產(chǎn)品廣泛適用于LED藍(lán)寶石襯底、電子材料(硅片,、鍺片等),、陶瓷基片、光學(xué)玻璃,、石英晶體,、液晶顯示、記憶硬盤以及其它半導(dǎo)體材料等非金屬和金屬硬脆易碎薄形精密零件的研磨和拋光,。經(jīng)過單,、雙面精密研磨和拋光后可輕易使工件達(dá)到平坦度0.3 um,平行度1 um,厚度差1 um,面粗度0.01um以下的精密程度,,可滿足半導(dǎo)體芯片制造、高精密陶瓷零部件,、精密光學(xué)零部件以及精密機(jī)械配件的生產(chǎn)加工需要,。


客戶評(píng)價(jià)


在眾多客戶的關(guān)心與支持下浙江森永光電設(shè)備有限公司發(fā)展迅速,憑借過硬的產(chǎn)品品質(zhì)與雄厚的技術(shù)力量贏得了市場(chǎng)的認(rèn)可和客戶的信賴,。產(chǎn)品在半導(dǎo)體,、藍(lán)寶石、壓電晶體等行業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用并得到了客戶的一致好評(píng)和信任,。


經(jīng)營(yíng)理念


公司始終伋小岸栽憊じ涸�,、对企业负责、峨E緇岣涸稹鋇木謚跡岢幀耙勻宋盡⒊閑判艘�,、科技词[隆鋇木砟�,,蛻痒|鶉危Υ蔥攏τ肟突е浯罱崾黨志玫暮獻(xiàn)髕教�,,实现双方的韩I(xiàn)鞴糙A,。



產(chǎn)品介紹


1、6B/6.4B高精度雙面研磨/拋光機(jī)



主要部件


軸承:NSK/THK

電機(jī)減速機(jī):臺(tái)灣東元+自制高精密蝸輪蝸桿減速機(jī)

氣動(dòng)  元件: SMC+CKD

可編程控制器PLC:三菱

變頻器:三菱

人機(jī)界面:三菱

鑄件: 灰鑄鐵HT300

齒輪:齒輪鋼鍛打成型,,插齒后齒面高頻淬火,,最后磨齒加工

機(jī)座:整體鑄造底座

中心軸:鍛造一體軸


設(shè)備參數(shù)

雙面研磨/拋光機(jī)

名       稱:6B/6.4B高精度雙面研磨/拋光機(jī)

機(jī)械尺寸:長(zhǎng)1150㎜×寬900㎜×高2170.5㎜

機(jī)械重量:1025KG


參數(shù)表

加工參數(shù)



機(jī)型
5B-5L/P6B-5L/P6.4B-9L/P
定盤尺寸研磨(mm)Φ380xΦ220xt25Φ148xt25Φ238xt25
拋光(mm)Φ210xt25Φ135xt25Φ238xt25
游星輪參數(shù)模數(shù)DP12DP12M2
齒數(shù)Z50Z66Z50
節(jié)圓(mm)100.15139.7100
驅(qū)動(dòng)方式3馬達(dá)...
游星輪張數(shù)
559
最大加工直徑(mm)
8710580
最大加工厚度(mm)
464646



其他參數(shù)



齒圈可使用電氣按鈕自動(dòng)升序動(dòng)力

輸入: 3相380V 50HZ  電流容量: 30A 

主回路:3相380V50H   控制回路: 110V

加工壓力

最低工作壓力: 5KG(50N)

標(biāo)準(zhǔn)最高工作壓力: 80KG ( 800N何根據(jù)使用要求拓展

壓力控制方式:精密稱重傳感器+PLC+電控比例閥實(shí)現(xiàn)壓力的閉環(huán)反饋控制,對(duì)壓力實(shí)時(shí)監(jiān)控、實(shí)時(shí)校準(zhǔn),保證壓力的精準(zhǔn)和穩(wěn)定,。

轉(zhuǎn)速

下定盤: 1 ~ 45RPM    上定盤: 1 ~ 15RPM

中心齒: 1 ~ 20RPM    環(huán)齒圈: 1 ~ 16RPM

水源

15MPa 20L /Min

使用環(huán)境

●15~35。C

●濕度:: 85%以嚇,污水凝結(jié); 

● 空氣質(zhì)量:無(wú)腐蝕性,、無(wú)可燃性,、有害性氣體、無(wú)污染物灰塵等等

氣源

0.5~0.6MPa 75L /Min

排液波紋管

內(nèi)徑Φ60


產(chǎn)品特點(diǎn)

 

國(guó)內(nèi)首家采用3-Motor驅(qū)動(dòng)方式即上下定盤,、齒圈,、中心齒電機(jī)均可以獨(dú)立控制,在不改變齒圈,、中心齒運(yùn)轉(zhuǎn)方向的情況下輕松實(shí)現(xiàn)游星輪正反轉(zhuǎn),實(shí)現(xiàn)游星輪正反轉(zhuǎn)可以穩(wěn)定地加工工件從而實(shí)現(xiàn)定盤自適應(yīng)修盤.亦可中心齒單獨(dú)逆轉(zhuǎn)修盤,。

 

3-Motor運(yùn)動(dòng)方式使動(dòng)力源更加分散,機(jī)器更加平穩(wěn)、噪音更小,、精度更高;游星輪運(yùn)轉(zhuǎn)的適應(yīng)性提高,游星輪的磨耗也能減少到最低限度,,大大延長(zhǎng)游星輪的使用壽命。

 

機(jī)器可由CPU自行分配上定盤下定盤,、中心齒,、齒圈的轉(zhuǎn)速,也可以操作人員按照自己的計(jì)算和經(jīng)驗(yàn)單獨(dú)為上下定盤,、中心齒,、齒圈設(shè)定合適的轉(zhuǎn)速,可方便操作人員更好地設(shè)計(jì)工件的自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)軌跡,設(shè)定任意的自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)比,達(dá)到最佳的加工條件和最優(yōu)的加工結(jié)果,。

 

齒圈電動(dòng)升降

 

SMC精密電氣比例控制閥+壓力傳感器實(shí)現(xiàn)壓力平穩(wěn)變化,最大可能消除多余的荷重以及額外的沖擊,保護(hù)被加工工件的安全;上定盤落盤和起盤的壓力均可人工手工設(shè)定,最大限度地保護(hù)被加工工件的安全。

 

三菱大尺寸數(shù)字化人機(jī)界面+三菱高品質(zhì)PLC模塊,內(nèi)部可保存20個(gè)20步程序,大大減少了對(duì)操作員工的技術(shù)要求,大幅提高產(chǎn)品合格率,。


2,、ES32B/36B單面拋光機(jī)




設(shè)備參數(shù):?jiǎn)蚊嫜心?拋光機(jī)

名       稱:ES32B/36B單面拋光機(jī)

機(jī)械尺寸:長(zhǎng)1484㎜×寬1250㎜×高2054㎜

機(jī)械重量:2600KG


參數(shù)表

設(shè)備參數(shù)



32B36B

定盤直徑

812.8定盤直徑914
壓力板直徑304.8壓力板直徑360
機(jī)器尺寸1484 x 1250 x 2054機(jī)器尺寸1484x 1250 x 2054
機(jī)器重量2300KG機(jī)器重量2600KG
電源380V/50Hz電源380V/50Hz
馬達(dá)功率7.5KW馬達(dá)功率7.5KW
定盤回轉(zhuǎn)數(shù)0-87RPM/Min定盤回轉(zhuǎn)數(shù)0-87RPM/Min



其他參數(shù)



機(jī)器重量

32B 2300KG ●36B 2600KG驅(qū)動(dòng)電機(jī)

●0.2KWx4 0.8KW PP頭驅(qū)動(dòng)電機(jī)

●7.5KW下定盤驅(qū)動(dòng)電機(jī)

電源380V/50Hz定盤回轉(zhuǎn)數(shù)●0~87RPM
P.P 回轉(zhuǎn)數(shù)0~ 70 RPMP.P 最大壓力●300KG
氣源壓力0.6MPa水源壓力●0.8KG
單次加工數(shù)量

32B

●2"片   單P.P   20片  4P.P  80片

●4"片   單 P.P  5片    4P.P  20片


36B 

●2"片   單P.P   25片  4P.P  100片

●4"片   單P.P   7片    4P.P  28片

●6"片   單P.P   3片    4P.P  12片

使用環(huán)境

15~ 35° C

●濕度: 85%以下,污水凝結(jié);

●空氣質(zhì)量:無(wú)腐蝕性.無(wú)可燃性、有害性氣體,、無(wú)污染物,、灰塵等等


產(chǎn)品特性


4個(gè)P.P盤獨(dú)立控制可四軸同時(shí)加工也可單個(gè)P.P獨(dú)立加工 

 

P.P單頭壓力可達(dá)300Kg(可擴(kuò)展),壓力可在觸摸屏中監(jiān)控和調(diào)整 

 

特制低摩擦空壓氣缸非市售-般氣缸, 氣缸軸粗壯避免偏擺 

 

定盤帶有自動(dòng)水冷機(jī)構(gòu),防止加工物和定盤發(fā)熱,通過恒溫冷水的流動(dòng)實(shí)現(xiàn)定盤溫度的恒定,并可通過紅外溫度傳感器在觸摸屏中監(jiān)控,。

 

4個(gè)P.P盤變頻電機(jī)強(qiáng)制驅(qū)動(dòng), P.P轉(zhuǎn)速可調(diào)

 

4個(gè)P.P盤可以于兩側(cè)分別單獨(dú)操作,也可以在觸摸屏中集中操作

 

4個(gè)P.P盤分別有獨(dú)立穩(wěn)壓系統(tǒng)

 

4個(gè)P.P盤可以實(shí)現(xiàn)“快下降,、緩下降、緩上升,、快上升”

 

P.P著盤壓力可控,保證無(wú)法承受高壓力晶片的加工


會(huì)務(wù)組

聯(lián)系人:段經(jīng)理

電話:13810445572

郵箱:[email protected]




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