中國粉體網(wǎng)訊 高純石英材料制品作為光伏及半導體等領域不可或缺的基礎性材料,,其重要性不斷凸顯,。2025年3月27日,由中國粉體網(wǎng)主辦的2025第三屆集成電路及光伏用高純石英材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會在江蘇東海隆重召開,,會議期間我們與中建材衢州金格蘭石英有限公司的副總經(jīng)理花寧,,就半導體用高純石英材料等問題進行了探討交流。
中國粉體網(wǎng):花總,,首先請您介紹一下中建材衢州金格蘭石英有限公司,,其主要產(chǎn)品和性能特點是怎樣的?
花總:中建材衢州金格蘭石英有限公司(簡稱“金格蘭”)前身是中國建筑材料科學研究總院全資子公司,,于2013年在浙江衢州開始一期,、二期建設,2022年完成三期建設,,2024年開始籌劃四期建設,。金格蘭是“國家高新技術企業(yè)”,、“國家專精特新小巨人企業(yè)”,、“浙江省科技型企業(yè)”,專業(yè)從事石英玻璃材料及制品研發(fā),、生產(chǎn),、測試和銷售的國家高新技術企業(yè),具有完整的石英玻璃冷、熱加工生產(chǎn)線,,可規(guī)�,;a(chǎn)各類石英玻璃及制品。
公司主營高純天然石英砂,、合成石英砂,、石英砣、不透明石英砣,、石英玻璃制品(石英棒,、管、片,、舟,、燈)等產(chǎn)品。公司不透明石英玻璃,、高純合成石英砂,、合成石英管等系列產(chǎn)品,入選首批次新材料,,技術水平達到國際先進水平,,廣泛用于半導體、光伏,、光通訊,、光學等。其中高純合成石英砂根據(jù)應用不同,,分為雜質(zhì)含量<1ppm和<3ppm兩類產(chǎn)品,,均可用于熔制石英玻璃、石英坩堝,。
中國粉體網(wǎng):在半導體制程中,,具體會應用到哪些高純石英材料,其各自的功能和作用是什么,?
花總:半導體制程中,,會用到大量石英制品,如石英坩堝,,用于單晶硅拉制,;石英環(huán)主要應用于半導體硅片刻蝕等工藝;石英法蘭是石英玻璃擴散管的配套材料,,起連接作用,;高精度石英玻璃基片是光掩模基板的重要基礎材料,;石英玻璃擴散管可將半導體中擴散或離子注入,;石英舟、石英支架等在多個工藝中作為單晶硅片的承載器具。
中國粉體網(wǎng):在半導體集成電路與芯片制造中,,石英玻璃材料對其原料高純石英砂的要求是怎樣的,?
花總:純度要求高,金屬雜質(zhì)(如Li,、Na,、K等)需小于1ppm,部分先進制程要求<0.1ppm,,非金屬雜質(zhì)(如B,、P)需低于0.1ppm,防止摻雜干擾半導體電性能,。對影響性能的Cu,、Fe也有不同要求。在半導體集成電路與芯片制造中不同工序?qū)兌纫灿胁煌蟆?/p>
中國粉體網(wǎng):半導體行業(yè),、光伏行業(yè)以及光纖行業(yè),,對石英材料性能指標要求有何不同?
花總:從純度,、氣泡和穩(wěn)定性來說,,半導體行業(yè)對石英材料性能指標要求更高,光伏行業(yè)和光纖行業(yè)相近,。光纖行業(yè)用石英玻璃主要在高溫工藝,,所以光纖行業(yè)對石英材料的耐溫性更受關注,進而對石英玻璃的熔制工藝有潛在要求,。
中國粉體網(wǎng):您認為,,與國外龍頭企業(yè)相比,我國半導體石英制品還存在哪些短板,?如何突破,?
花總:我國半導體石英制品加工短板在于大型化和高精度,目前我國半導體石英制品集中8寸及8寸以下,,在12寸及以上占有率偏低,。主要受制于加工裝備和技術工藝。推動國產(chǎn)設備的高端化和精密化,,或者引入國外高端裝備,。構建“石英材料-石英制品-半導體設備”產(chǎn)業(yè)鏈,推進與國內(nèi)半導體設備廠商深入合作,,推動半導體石英制品的國產(chǎn)化,,進而加快我國半導體石英制品的突破。
中國粉體網(wǎng):您認為半導體用高純石英材料行業(yè)的市場現(xiàn)狀和發(fā)展前景如何,?
花總:2024年全球半導體用高純石英材料市場規(guī)模達58億美元,,年復合增長率(CAGR)約12.3%,預計2030年將突破110億美元,。EUV光刻機需求激增(每臺需高純石英透鏡3-5噸),;全球晶圓廠擴產(chǎn)(2025年新增12座12英寸廠,中國占8座),,石英部件(反應腔,、晶舟)需求同步上升。海外龍頭企業(yè)主導高端市場,,控制6N級合成石英和EUV光刻透鏡技術,。國內(nèi)企業(yè)市占率從2020年的5%提升至2025年的15%,但產(chǎn)品集中于中低端(4N-5N級),。全球90%高純石英砂產(chǎn)自美國,、挪威,國內(nèi)提純技術落后,。精密加工設備存在禁運風險,,制約國產(chǎn)石英部件良率。
關于半導體用高純石英材料的發(fā)展前景,,在技術方面:超高純與合成石英普及,,推動國產(chǎn)替代。政策方面,,國家大基金三期(2024年啟動)定向投資高純材料項目,,單筆額度超50億元。工信部《半導體材料高質(zhì)量發(fā)展行動計劃》將石英列為“核心攻關材料”,,目標2030年國產(chǎn)化率超60%,。國際競爭加劇,美國《芯片與科學法案》限制石英技術對華出口,,倒逼國內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈自主化,。
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