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路新春，華海清科股份有限公司董事長,，清華大學(xué)機(jī)械工程系首席研究員,。長期從事納米摩擦學(xué)、納米制造理論與技術(shù)研究,，是我國最早開展納米摩擦學(xué)研究的科研人員之一,。帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)建立了我國自主的集成電路化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)體系，研制出系列化學(xué)機(jī)械拋光裝備并批量應(yīng)用于集成電路大生產(chǎn)線,，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)與可持續(xù)發(fā)展作出了突出貢獻(xiàn),。榮獲國家技術(shù)發(fā)明獎一等獎（2023年，排名一）,、國家自然科學(xué)獎二等獎（2018年,，排名三）、國家科技進(jìn)步獎二等獎（2008年,，排名二）,、集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新突出貢獻(xiàn)獎。

研究方向：

微納制造：納米或亞納米精度表面制造是納米科技的重要領(lǐng)域，研究對象包括納米精度表面制造的原理,、工藝及裝備,，涉及到機(jī)械、材料,、力學(xué),、化學(xué)、物理等多學(xué)科交叉,。

表面界面微/納摩擦學(xué)理論和應(yīng)用：納米摩擦學(xué)是傳統(tǒng)摩擦學(xué)的延伸,，研究對象包括納米表面界面的微納米摩擦學(xué)行為與機(jī)理，納米間隙潤滑規(guī)律等,。

目前,，累計(jì)獲已授權(quán)發(fā)明專利超過100項(xiàng)，發(fā)表論文80余篇,。

潛心研發(fā),，解決集成電路制造中拋光裝備“卡脖子”問題

化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）是光刻等集成電路制造工藝進(jìn)行的前提和保障，裝備長期被國外壟斷,。清華大學(xué)高端裝備界面科學(xué)與技術(shù)全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室路新春教授和雒建斌院士團(tuán)隊(duì)“集成電路化學(xué)機(jī)械拋光關(guān)鍵技術(shù)與裝備”項(xiàng)目揭示了拋光過程流場運(yùn)動規(guī)律和晶圓全局壓力調(diào)控機(jī)制,，首創(chuàng)直線運(yùn)動式新型拋光單元，發(fā)明了雙面噴淋清洗與表面張力梯度輔助豎直旋轉(zhuǎn)干燥技術(shù),，建立了亞納米膜厚測量與摩擦力終點(diǎn)檢測技術(shù),，發(fā)明了模塊化柔性布局整機(jī)架構(gòu)。該項(xiàng)目突破了國外專利壁壘,，為芯片制造提供了全系列CMP裝備,，經(jīng)濟(jì)社會效益顯著，對我國高端芯片制造自主可控起到重要支撐作用,。

不斷突破,，Versatile-GP300解決先進(jìn)IC制造超精密減薄“卡脖子”問題

12英寸超精密晶圓減薄機(jī)是集成電路制造不可或缺的關(guān)鍵裝備。該裝備復(fù)雜程度高,、技術(shù)攻關(guān)難度大且市場準(zhǔn)入門檻高,，長期被國外廠商高度壟斷，國內(nèi)市場嚴(yán)重依賴進(jìn)口,。為了突破減薄裝備領(lǐng)域技術(shù)瓶頸,，路新春教授帶領(lǐng)華海清科利用其在化學(xué)機(jī)械拋光領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)，不斷探索和開拓新方向,，集中力量開展超精密減薄理論與技術(shù)研究，攻克晶圓背面超精密磨削,、平整度智能控制,、表面損傷及缺陷控制系列核心技術(shù)，研制出首臺用于12英寸3D IC制造、先進(jìn)封裝等領(lǐng)域晶圓超精密減薄機(jī),，解決該領(lǐng)域“卡脖子”問題,。

二十余年如一日，支撐我國集成電路裝備產(chǎn)學(xué)研發(fā)展

面向國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展布局,，路新春教授團(tuán)隊(duì)自2000年起開展化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）基礎(chǔ)研究,，承擔(dān)國家重大科技攻關(guān)任務(wù)十余項(xiàng)，成功孵化華海清科并研制出我國第一臺12英寸“干進(jìn)干出”CMP裝備及系列產(chǎn)品,，整體技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平,，實(shí)現(xiàn)28nm工藝量產(chǎn)，并具備14-7nm工藝拓展能力,，創(chuàng)造了多項(xiàng)國產(chǎn)裝備紀(jì)錄,。公司累計(jì)超過110余臺設(shè)備應(yīng)用于先進(jìn)集成電路制造大生產(chǎn)線，市占率,、進(jìn)口替代率均位居國產(chǎn)IC裝備前列,，系列成果填補(bǔ)了國內(nèi)空白，打破了國際巨頭壟斷,，實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)拋光裝備的批量產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用,。

路新春教授團(tuán)隊(duì)堅(jiān)持認(rèn)為，大學(xué)在解決當(dāng)前出現(xiàn)的關(guān)鍵核心技術(shù)“卡脖子”問題上應(yīng)當(dāng)大有作為,，且以產(chǎn)業(yè)報(bào)國為己任,，積極推進(jìn)科研成果轉(zhuǎn)化，實(shí)現(xiàn)基礎(chǔ)研究和產(chǎn)業(yè)需求縱向貫通,。

參考來源：

清華大學(xué)官網(wǎng),，高端裝備界面科學(xué)與技術(shù)全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/山林）

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