中國粉體網(wǎng)訊 隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更小線寬,、更高集成度發(fā)展,，第三代半導(dǎo)體材料（碳化硅、氮化鎵等）的廣泛應(yīng)用對(duì)精密加工技術(shù)提出了前所未有的挑戰(zhàn),。這些材料的莫氏硬度普遍超過9級(jí),，傳統(tǒng)磨料在加工過程中面臨效率低、表面損傷層厚,、加工一致性差等難題,。
金剛石擁有極高的硬度、很低的摩擦系數(shù),，并且熱導(dǎo)率高、透光波段較廣,、半導(dǎo)體性能優(yōu)異,、傳聲速率以及化學(xué)惰性高，使得其在超硬材料刀具,、耐磨潤滑涂層,、高溫高頻電子元器散熱、高性能半導(dǎo)體,、高透波率光學(xué)窗口以及聲學(xué)傳感器等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,。
為了滿足當(dāng)下材料高、精,、尖的需求,，金剛石顆粒的研究朝著越來越細(xì)的方向發(fā)展。超細(xì)金剛石（Ultra-Fine Diamond,，簡稱“UFD”）兼有金剛石本身特性和超細(xì)優(yōu)勢(shì),，因其超硬性、良好的生物相容性,、優(yōu)異的耐蝕性以及高表面活性與比表面積被廣泛應(yīng)用于切削加工,、生物醫(yī)療和超級(jí)電容器等領(lǐng)域。超細(xì)金剛石也憑借其10級(jí)莫氏硬度,、優(yōu)異的耐磨性及化學(xué)穩(wěn)定性,，成為突破第三代半導(dǎo)體材料加工瓶頸的關(guān)鍵。
元素六是人造金剛石和碳化鎢超硬材料的設(shè)計(jì),、開發(fā)和生產(chǎn)的全球領(lǐng)導(dǎo)者,。作為全球超硬材料領(lǐng)域的技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者，E6憑借70余年的合成金剛石研發(fā)經(jīng)驗(yàn),，推出突破性MicronTM UFDTM 超細(xì)金剛石解決方案,，持續(xù)推動(dòng)半導(dǎo)體制造工藝革新,。
E6創(chuàng)新開發(fā)的離心分級(jí)技術(shù)實(shí)現(xiàn)0.02μm級(jí)D50粒徑精準(zhǔn)控制，配合表面功能化處理工藝,，有效解決超細(xì)金剛石團(tuán)聚難題,，確保粒徑分布偏差<±5%。通過優(yōu)化顆粒形狀與表面化學(xué)特性,，產(chǎn)品在硅,、碳化硅、氮化鎵等關(guān)鍵半導(dǎo)體材料的研磨,，拋光,，切割加工中展現(xiàn)卓越性能：12英寸硅片減薄工藝中，D3.5μ磨料配合專有潤滑劑可實(shí)現(xiàn)Ra<0.5nm 的超鏡面效果,；針對(duì)第三代半導(dǎo)體材料,，特殊設(shè)計(jì)的納米金剛石懸浮液在保持材料去除速率的同時(shí)，顯著提升表面完整性,。
E6位于愛爾蘭香農(nóng)的智能化生產(chǎn)基地配備全自動(dòng)化檢測(cè)系統(tǒng),，可提供從0.1μ到10μ的全系列產(chǎn)品定制服務(wù)。目前已為全球Top 10半導(dǎo)體制造商定制23款專用磨料,，成功突破多項(xiàng)工藝瓶頸,。E6憑借覆蓋合成、分級(jí),、改性的全產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)優(yōu)勢(shì),，持續(xù)為客戶提供高一致性、高可靠性的精密加工解決方案,，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向更高精度時(shí)代,。
研磨拋光技術(shù)在集成電路芯片的制作中具有重要作用，針對(duì)高端研磨拋光相關(guān)的技術(shù),、材料,、設(shè)備、市場等方面的問題,，中國粉體網(wǎng)將于2025年4月16日在河南鄭州舉辦2025第二屆高端研磨拋光材料技術(shù)大會(huì),。屆時(shí)，元素六亞洲戰(zhàn)略業(yè)務(wù)總監(jiān)秦景霞將作題為《超細(xì)金剛石材料助力半導(dǎo)體精密加工升級(jí)》的報(bào)告,。
專家簡介：
秦景霞,，畢業(yè)于湖南大學(xué)機(jī)械設(shè)計(jì)制造及其自動(dòng)化專業(yè)，深耕于金剛石,，立方氮化硼,，硬質(zhì)合金等超硬材料的各種工業(yè)應(yīng)用以及前沿應(yīng)用十余年，立足國際領(lǐng)先品牌平臺(tái)，借力中國超硬材料制品行業(yè)的產(chǎn)業(yè)集群優(yōu)勢(shì),，熟知相關(guān)產(chǎn)品的各類傳統(tǒng)應(yīng)用,、前沿應(yīng)用，及各行業(yè)發(fā)展的脈動(dòng)趨勢(shì),。
參考來源：
[1] 元素六官網(wǎng)
[2] 黃曉龍,，Si低溫?zé)峤饣罨ò渤?xì)金剛石及性能研究
[3] 張潤川，金剛石動(dòng)摩擦拋光用拋光盤的制備與拋光性能研究
（中國粉體網(wǎng)編輯整理/山林）
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