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合成高純石英砂,,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上又一短板,!


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[導(dǎo)讀]  半導(dǎo)體用合成高純石英砂技術(shù)進(jìn)展和產(chǎn)業(yè)化

中國(guó)粉體網(wǎng)訊  高純石英砂按雜質(zhì)含量及用途可分為光伏級(jí),、半導(dǎo)體級(jí)產(chǎn)品,。半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用對(duì)Li、Na,、K,、Fe、B等元素含量極為敏感,,根據(jù)應(yīng)用的不同,,對(duì)金屬雜質(zhì)含量要求不同。隨著半導(dǎo)體技術(shù)要求的提高,,對(duì)高純石英砂的要求也不斷提升,。而天然石英礦受本身伴生物質(zhì)、生長(zhǎng)環(huán)境的影響,,純度幾乎到天花板,,因此以化學(xué)合成工藝制備高純石英砂,被認(rèn)為是未來(lái)技術(shù)發(fā)展的主要方向之一,。



合成石英砂以硅或含硅化合物為原料,,通過(guò)化學(xué)反應(yīng)制備二氧化硅,再經(jīng)過(guò)提純,、焙燒,、篩分等工藝,,得到高純石英砂。日本三菱化學(xué)突破了合成砂技術(shù),,所生產(chǎn)的超高純合成砂金屬雜質(zhì)總量小于1ppm,,成功應(yīng)用于高端市場(chǎng),對(duì)國(guó)內(nèi)有進(jìn)口限制,。受限于合成成本,、設(shè)備材質(zhì)、生產(chǎn)周期,、產(chǎn)品穩(wěn)定性等因素,,國(guó)內(nèi)廠家大多處于研發(fā)、小試,、中試階段,,未見(jiàn)大批量規(guī)模化生產(chǎn),。

半導(dǎo)體與光伏行業(yè)所用石英制品類(lèi)型基本一致,,但在純度、表面顆粒物,、尺寸精度等方面要求更為苛刻,,最高級(jí)別純度要求近6N,且需通過(guò)半導(dǎo)體設(shè)備廠商的認(rèn)證,,合成石英砂可滿(mǎn)足此純度要求,。據(jù)悉,中建材衢州金格蘭石英有限公司制備的合成石英砂攻克了氣泡難題,,其金屬雜質(zhì)含量小于1ppm,,能夠滿(mǎn)足石英砣、石英坩堝的熔制需求,。

2025年4月23-24日,,由中國(guó)粉體網(wǎng)、中粉會(huì)展主辦的“2025全國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)用高純石英材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會(huì)”將在江蘇南京召開(kāi),,屆時(shí)來(lái)自中建材衢州金格蘭石英有限公司的教授級(jí)高工,、副總經(jīng)理花寧將做題為《半導(dǎo)體用合成高純石英砂技術(shù)進(jìn)展和產(chǎn)業(yè)化》的報(bào)告。



花寧,,教授級(jí)高工,。從事石英砂、石英材料及制品研發(fā)和制備工作10余年,,研制出高純不透明石英玻璃,、高純合成石英砂、高精度石英玻璃制品等產(chǎn)品。主持或參與多項(xiàng)國(guó)家和省級(jí)科研項(xiàng)目,,其中包括:國(guó)家項(xiàng)目6項(xiàng),省級(jí)項(xiàng)目5項(xiàng),。獲得科技獎(jiǎng)5項(xiàng),,發(fā)表論文10余篇,授權(quán)發(fā)明專(zhuān)利20余項(xiàng),,制定國(guó)家和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)10余項(xiàng),。

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作者:平安

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