中國粉體網(wǎng)訊 石英制品被廣泛應(yīng)用于國民經(jīng)濟(jì)的電子信息,、新能源,、材料制造等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,，在國家高新技術(shù)領(lǐng)域和國防建設(shè)中發(fā)揮著不可替代的作用,、是戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)重要的關(guān)鍵材料之一,。
石英制品在半導(dǎo)體中的應(yīng)用
在半導(dǎo)體集成電路與芯片制造中,，石英坩堝,、石英管、石英舟,、石英支架等各種配件是難以替代的關(guān)鍵材料和制品,，涉及半導(dǎo)體晶圓制造的大部分流程。石英制品在使用過程中直接與硅片或晶圓接觸,，其性能好壞對(duì)下游產(chǎn)品的良品率高低將造成直接影響,。
半導(dǎo)體石英制品及應(yīng)用
石英法蘭：石英法蘭應(yīng)用在單晶硅片擴(kuò)散、氧化,、CVD環(huán)節(jié),，與石英玻璃擴(kuò)散管配套使用，主要起連接作用,。
石英坩堝：石英坩堝主要用于生長單晶硅,，是半導(dǎo)體工業(yè)中不可或缺的容器。其中,，石英坩堝的雜質(zhì)會(huì)影響坩堝的力學(xué)性能,、電阻率分布,、單晶的純度，當(dāng)鋁含量過高時(shí),，單晶純度將會(huì)降低,；當(dāng)鈉、鉀等含量過高時(shí),，石英坩堝的熔點(diǎn)降低,，高溫性能變差，雜質(zhì)過高還會(huì)使得石英坩堝在高溫下生成方石英,，膨脹系數(shù)與體積的改變使得坩堝機(jī)械性能急劇下降,，影響生產(chǎn)進(jìn)行。
光掩膜基板：光掩膜技術(shù)作為半導(dǎo)體技術(shù)中的重要組成部分,，其制作材料包含玻璃基板,、鍍鉻膜層、光刻膠,、光學(xué)膜等,，玻璃基板為主要的原材料。其中,，石英玻璃基板的主體為石英玻璃,，其光學(xué)透過率高，熱膨脹率低,，光譜特性優(yōu)良,，具有較高的硬度和較長的使用壽命，適用于高精度光掩膜基板的制造,。光掩膜基板下游領(lǐng)域包括IC制造,、IC封裝、平面顯示和印制線路板等行業(yè),。
石英鐘罩：石英鐘罩主要用作多晶硅的還原爐罩,。
石英舟及支架：石英玻璃舟及支架是單晶硅片擴(kuò)散、氧化,、CVD沉積,、退火處理等工序中不可缺少的石英玻璃承載器具,。
石英環(huán)：石英環(huán)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片刻蝕工藝,，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)腔體的密閉保護(hù)，防止污染,。
石英玻璃擴(kuò)散管：在半導(dǎo)體用石英制品種類中,，石英擴(kuò)散管是非常重要的石英玻璃制品，用于將半導(dǎo)體雜質(zhì)原子擴(kuò)散,，其純度,、抗高溫的變形性,、幾何尺寸都會(huì)直接影響下游用戶產(chǎn)品的質(zhì)量、成本和生產(chǎn)效率,。
在半導(dǎo)體工藝制程中,，按照工作環(huán)境溫度的不同，可以將石英制品按照高溫工藝和低溫工藝分為兩大類,，高溫工藝包括擴(kuò)散,、氧化等，低溫工藝包括刻蝕,、封裝,、光刻、清洗等,。高溫工藝中,，石英制品需要在千度以上連續(xù)工作數(shù)個(gè)小時(shí)，所以需要石英制品耐高溫,，同時(shí)熱穩(wěn)定性好,，不易變形；石英制品主要成分是二氧化硅,，由于羥基改變了二氧化硅的鍵合結(jié)構(gòu),，降低了材料的熱穩(wěn)定性，造成石英制品的耐溫性能大幅降低,，所以高溫工藝用石英制品需經(jīng)過脫羥處理,。此外，高溫工藝對(duì)石英制品性能要求還包括耐腐蝕,、透光性好,、雜質(zhì)含量低等。低溫工藝的工作溫度相對(duì)較低,，對(duì)石英制品不存在耐高溫要求,，對(duì)石英材料的羥基含量無要求。低溫工藝中,，石英制品的性能要求主要是耐腐蝕,、透光性好、雜質(zhì)含量低,。
綜上,，高純度石英玻璃材料及制品是半導(dǎo)體芯片制程中的關(guān)鍵耗材，在芯片制造過程的擴(kuò)散,、刻蝕等環(huán)節(jié)發(fā)揮著重要作用,。隨著半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)Σ牧闲阅芤蟮奶嵘靶酒叽绲淖兓⒅破沸袠I(yè)迎來了較好的發(fā)展機(jī)遇,，市場(chǎng)需求也將逐漸從中低端向高端延伸,，景氣度有望持續(xù)提升,。
2025年3月27日，由中國粉體網(wǎng)主辦的“2025第三屆集成電路及光伏用高純石英材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會(huì)”將在江蘇東海召開,，來自中建材衢州金格蘭石英有限公司的副總經(jīng)理花寧,，將做題為《半導(dǎo)體制程中高純石英材料制品需求》的報(bào)告。
參考來源：
左政.石英部件在半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用及市場(chǎng)概覽
花寧等.石英玻璃晶圓的加工工藝
（中國粉體網(wǎng)編輯整理/初末）
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