中國(guó)粉體網(wǎng)訊 最近,,韓媒爆出猛料——SK集團(tuán)聯(lián)手三星電子,、Above Semiconductor搞了個(gè)國(guó)家級(jí)大項(xiàng)目“SiC·GaN功率半導(dǎo)體”,!更狠的是,,董事長(zhǎng)崔泰源直接放話:“今年就要量產(chǎn)8英寸碳化硅襯底,!”
好家伙,,韓國(guó)在碳化硅領(lǐng)域這是要“彎道超車(chē)”的節(jié)奏�,�,!
韓國(guó)砸錢(qián)史:鈔能力全開(kāi),!
SiC作為一種高性能的半導(dǎo)體材料,,具有耐高溫、高電壓,、高頻率等優(yōu)異特性,,在新能源汽車(chē),、智能電網(wǎng),、航空航天等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景,。
事實(shí)上,,韓國(guó)一直較為重視碳化硅乃至整個(gè)第三代半導(dǎo)體的發(fā)展。早在2000年韓國(guó)便制訂了GaN開(kāi)發(fā)計(jì)劃,,政府在2004~2008年投入4.72億美元,企業(yè)投入7.36億美元以支持韓國(guó)進(jìn)行光電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展,,使韓國(guó)成為亞洲最大的光電子器件生產(chǎn)國(guó),。
2010—2012年間韓國(guó)投入約4500萬(wàn)美金以推動(dòng)MOCVD機(jī)臺(tái)實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化,、引進(jìn)制程自動(dòng)化系統(tǒng)并開(kāi)發(fā)高速封裝,、監(jiān)測(cè)設(shè)備,。
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2017年,韓國(guó)產(chǎn)業(yè)通商資源部(MOTIE)舉辦研討會(huì),,為了強(qiáng)化系統(tǒng)半導(dǎo)體的競(jìng)爭(zhēng)力,產(chǎn),、官、學(xué)三界聯(lián)手投資4645億韓元(4.15億美元),,開(kāi)發(fā)低能源、超輕量和超高速的半導(dǎo)體芯片,。這當(dāng)中1326億韓元用于開(kāi)發(fā)先進(jìn)超輕量傳感器,837億韓元投入低耗能的SiC功率半導(dǎo)體,,47億韓元投資超高速存儲(chǔ)器和系統(tǒng)整合設(shè)計(jì)技術(shù),。
同時(shí),韓國(guó)宣布啟動(dòng)“X-bandGaN半導(dǎo)體集成電路”國(guó)產(chǎn)化課題,。韓國(guó)無(wú)線通信設(shè)備半導(dǎo)體企業(yè)RFHIC(艾爾福)被選定為課題牽頭企業(yè),,SKSiltron將參與SiC基板/GaN樹(shù)脂的制作,LIGnex1負(fù)責(zé)系統(tǒng)的驗(yàn)證,,韓國(guó)電子通信研究院(ETRI)的半導(dǎo)體工廠將被用來(lái)進(jìn)行GaNMMIC的制作,。
2019年7月,韓國(guó)政府宣布,,為支援半導(dǎo)體材料以及設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化,,每年將提供1兆韓元(約合8.5億美元)的預(yù)算。
2021年4月,,韓國(guó)政府發(fā)布了先進(jìn)功率半導(dǎo)體研發(fā)和產(chǎn)能提升計(jì)劃,,將專(zhuān)注于SiC、GaN和氧化鎵三種材料的應(yīng)用技術(shù),。該計(jì)劃提出,,到2022年,,韓國(guó)政府將注資60億韓元(3499萬(wàn)人民幣),,用于建設(shè)基礎(chǔ)設(shè)施,與晶圓廠一起設(shè)立6至8英寸的制程,。
2022年2月,,韓國(guó)媒體報(bào)道將在當(dāng)年韓國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)投資總額中,用1.3萬(wàn)億韓元(合計(jì)約69億人民幣)用于專(zhuān)注于芯片設(shè)計(jì)和碳化硅化合物半導(dǎo)體的中小企業(yè),。另外1.8萬(wàn)億韓元(合計(jì)95.3億人民幣)用于專(zhuān)注于原材料,、零部件、設(shè)備和半導(dǎo)體后處理的中小企業(yè),。
2022年4月,,韓國(guó)推出其由國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)、大學(xué),、研究所等組成的“新一代晶體工程部”,。以開(kāi)發(fā)新一代功率半導(dǎo)體,應(yīng)對(duì)碳化硅(SiC),、氮化鎵(GaN)和氧化鎵(Ga203)等快速增長(zhǎng)的全球功率半導(dǎo)體市場(chǎng),。其中,,LXSemicon、SKsiltron,、HanaMaterials、STI等30家功率半導(dǎo)體公司將參與材料,、零件,、設(shè)備的功率半導(dǎo)體開(kāi)發(fā)。
2024年,,韓國(guó)貿(mào)易,、工業(yè)和能源部宣布投資約5.22億人民幣,在釜山建設(shè)一座8英寸SiC功率半導(dǎo)體示范基地,。這一舉措將極大地加強(qiáng)韓國(guó)在SiC等化合物功率半導(dǎo)體領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn)能力,,為韓國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的升級(jí)換代提供有力支撐,。此外,,韓國(guó)產(chǎn)業(yè)技術(shù)規(guī)劃和評(píng)估研究院(KITIE)還計(jì)劃投資約7.23億人民幣,用于支持SiC及GaN等化合物功率半導(dǎo)體的先進(jìn)技術(shù)開(kāi)發(fā)項(xiàng)目,。
全產(chǎn)業(yè)鏈制造已見(jiàn)雛形
SiC的產(chǎn)業(yè)鏈主要由單晶襯底,、外延,、器件、制造和封測(cè)等環(huán)節(jié)構(gòu)成,。近幾年韓國(guó)的SiC產(chǎn)業(yè)布局速度也在加快,,從襯底、外延,、器件到模組的SiC全產(chǎn)業(yè)鏈條正在逐漸完善,,各個(gè)環(huán)節(jié)產(chǎn)線都正在建設(shè)當(dāng)中。
設(shè)備及原料方面,,韓國(guó)的STI是一家主要研發(fā)半導(dǎo)體石英玻璃電爐,、SiC半導(dǎo)體生長(zhǎng)爐等設(shè)備的設(shè)備公司。目前STI自主研發(fā)了SiC PVT生長(zhǎng)爐,,成功的開(kāi)發(fā)出純度為99.9998%的5N級(jí)錠粉,,實(shí)現(xiàn)了韓國(guó)關(guān)鍵半導(dǎo)體材料碳化硅(SiC)錠粉的本地化。
其襯底企業(yè)有SK Siltron,、Senic等,。SK Siltron是韓國(guó)的主要的SiC襯底廠家。2021年2月,,SK Siltron宣布已開(kāi)始生產(chǎn)少量的碳化硅襯底晶片,。2019年9月SK Siltron以28.5億人民幣收購(gòu)了杜邦SiC晶圓事業(yè)部,。2021年下半年,SK Siltron還買(mǎi)了另一家工廠,,該工廠將生產(chǎn)碳化硅晶圓的基礎(chǔ)材料,,即錠和晶圓。SK Siltron CSS還于2022年11月與美國(guó)射頻半導(dǎo)體公司Kobo,、今年1月與德國(guó)英飛凌簽署了長(zhǎng)期SiC晶圓供應(yīng)合同,。此外,SK還收購(gòu)了一家高壓MOSFET技術(shù)的公司Powertechnix,,SK成為擁有SiC全產(chǎn)業(yè)鏈的廠商,。
2023年,上面提到的設(shè)備及原料供應(yīng)商ST也宣布將在釜山市建設(shè)一個(gè)年產(chǎn)3萬(wàn)片SiC晶圓的新工廠,,以支持韓國(guó)車(chē)規(guī)SiC的本土供應(yīng),。2024年8月,另一家材料及晶圓企業(yè)Nano CMS宣布,,公司新碳化硅(SiC)材料加工廠已竣工,,并于當(dāng)月開(kāi)始全面運(yùn)營(yíng),該企業(yè)碳化硅顆粒,、碳化硅晶錠和6英寸導(dǎo)電型碳化硅晶圓。
外延方面,,除了SK Siltron外,,韓國(guó)還有Arche、LX Semicon等廠商,。Arche是韓國(guó)首個(gè)宣布量產(chǎn)SiC外延片的廠商,。
SiC生產(chǎn)材料方面,韓國(guó)有HANAMaterials,、SKC Solmics等幾個(gè)企業(yè),。器件方面除了SK Siltron,還有TRinno Technology公司,。
看得出來(lái),,尤其是近幾年,韓國(guó)向碳化硅發(fā)起了猛攻,,并已經(jīng)完成碳化硅全產(chǎn)業(yè)鏈的初步建設(shè),。此外,韓國(guó)擁有現(xiàn)代汽車(chē),、三星電子,、LG電子等全球汽車(chē)、家電企業(yè),,在應(yīng)用方面也給予了其極大的信心,。
參考來(lái)源:全球半導(dǎo)體觀察,、行家說(shuō)三代半、今日半導(dǎo)體,、電力電子網(wǎng),、中國(guó)粉體網(wǎng)
(中國(guó)粉體網(wǎng)/山川)
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