中國粉體網(wǎng)訊 最近,，韓媒爆出猛料——SK集團(tuán)聯(lián)手三星電子,、Above Semiconductor搞了個國家級大項(xiàng)目“SiC·GaN功率半導(dǎo)體”,！更狠的是,，董事長崔泰源直接放話：“今年就要量產(chǎn)8英寸碳化硅襯底！”
好家伙,，韓國在碳化硅領(lǐng)域這是要“彎道超車”的節(jié)奏�,。�
韓國砸錢史：鈔能力全開,！
SiC作為一種高性能的半導(dǎo)體材料,，具有耐高溫、高電壓、高頻率等優(yōu)異特性,，在新能源汽車,、智能電網(wǎng)、航空航天等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景,。
事實(shí)上,，韓國一直較為重視碳化硅乃至整個第三代半導(dǎo)體的發(fā)展。早在2000年韓國便制訂了GaN開發(fā)計劃,，政府在2004~2008年投入4.72億美元,，企業(yè)投入7.36億美元以支持韓國進(jìn)行光電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展，使韓國成為亞洲最大的光電子器件生產(chǎn)國,。
2010—2012年間韓國投入約4500萬美金以推動MOCVD機(jī)臺實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化,、引進(jìn)制程自動化系統(tǒng)并開發(fā)高速封裝、監(jiān)測設(shè)備,。
圖片來源：pexels
2017年,，韓國產(chǎn)業(yè)通商資源部（MOTIE）舉辦研討會，為了強(qiáng)化系統(tǒng)半導(dǎo)體的競爭力,，產(chǎn),、官、學(xué)三界聯(lián)手投資4645億韓元（4.15億美元）,，開發(fā)低能源,、超輕量和超高速的半導(dǎo)體芯片。這當(dāng)中1326億韓元用于開發(fā)先進(jìn)超輕量傳感器,，837億韓元投入低耗能的SiC功率半導(dǎo)體,，47億韓元投資超高速存儲器和系統(tǒng)整合設(shè)計技術(shù)。
同時,，韓國宣布啟動“X-bandGaN半導(dǎo)體集成電路”國產(chǎn)化課題,。韓國無線通信設(shè)備半導(dǎo)體企業(yè)RFHIC（艾爾福）被選定為課題牽頭企業(yè)，SKSiltron將參與SiC基板/GaN樹脂的制作,，LIGnex1負(fù)責(zé)系統(tǒng)的驗(yàn)證,，韓國電子通信研究院(ETRI)的半導(dǎo)體工廠將被用來進(jìn)行GaNMMIC的制作。
2019年7月,，韓國政府宣布,，為支援半導(dǎo)體材料以及設(shè)備的國產(chǎn)化，每年將提供1兆韓元（約合8.5億美元）的預(yù)算,。
2021年4月,，韓國政府發(fā)布了先進(jìn)功率半導(dǎo)體研發(fā)和產(chǎn)能提升計劃，將專注于SiC,、GaN和氧化鎵三種材料的應(yīng)用技術(shù),。該計劃提出,，到2022年，韓國政府將注資60億韓元（3499萬人民幣）,，用于建設(shè)基礎(chǔ)設(shè)施,，與晶圓廠一起設(shè)立6至8英寸的制程。
2022年2月,，韓國媒體報道將在當(dāng)年韓國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)投資總額中,，用1.3萬億韓元（合計約69億人民幣）用于專注于芯片設(shè)計和碳化硅化合物半導(dǎo)體的中小企業(yè)。另外1.8萬億韓元（合計95.3億人民幣）用于專注于原材料,、零部件,、設(shè)備和半導(dǎo)體后處理的中小企業(yè)。
2022年4月,，韓國推出其由國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè),、大學(xué)、研究所等組成的“新一代晶體工程部”,。以開發(fā)新一代功率半導(dǎo)體,，應(yīng)對碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)和氧化鎵(Ga203)等快速增長的全球功率半導(dǎo)體市場,。其中,，LXSemicon、SKsiltron,、HanaMaterials,、STI等30家功率半導(dǎo)體公司將參與材料、零件,、設(shè)備的功率半導(dǎo)體開發(fā),。
2024年，韓國貿(mào)易,、工業(yè)和能源部宣布投資約5.22億人民幣,，在釜山建設(shè)一座8英寸SiC功率半導(dǎo)體示范基地。這一舉措將極大地加強(qiáng)韓國在SiC等化合物功率半導(dǎo)體領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn)能力,，為韓國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的升級換代提供有力支撐,。此外，韓國產(chǎn)業(yè)技術(shù)規(guī)劃和評估研究院(KITIE)還計劃投資約7.23億人民幣,，用于支持SiC及GaN等化合物功率半導(dǎo)體的先進(jìn)技術(shù)開發(fā)項(xiàng)目,。
全產(chǎn)業(yè)鏈制造已見雛形
SiC的產(chǎn)業(yè)鏈主要由單晶襯底、外延,、器件,、制造和封測等環(huán)節(jié)構(gòu)成,。近幾年韓國的SiC產(chǎn)業(yè)布局速度也在加快,，從襯底,、外延、器件到模組的SiC全產(chǎn)業(yè)鏈條正在逐漸完善,，各個環(huán)節(jié)產(chǎn)線都正在建設(shè)當(dāng)中,。
設(shè)備及原料方面，韓國的STI是一家主要研發(fā)半導(dǎo)體石英玻璃電爐,、SiC半導(dǎo)體生長爐等設(shè)備的設(shè)備公司,。目前STI自主研發(fā)了SiC PVT生長爐，成功的開發(fā)出純度為99.9998%的5N級錠粉,，實(shí)現(xiàn)了韓國關(guān)鍵半導(dǎo)體材料碳化硅(SiC)錠粉的本地化,。
其襯底企業(yè)有SK Siltron、Senic等,。SK Siltron是韓國的主要的SiC襯底廠家,。2021年2月，SK Siltron宣布已開始生產(chǎn)少量的碳化硅襯底晶片,。2019年9月SK Siltron以28.5億人民幣收購了杜邦SiC晶圓事業(yè)部,。2021年下半年，SK Siltron還買了另一家工廠,，該工廠將生產(chǎn)碳化硅晶圓的基礎(chǔ)材料,，即錠和晶圓。SK Siltron CSS還于2022年11月與美國射頻半導(dǎo)體公司Kobo,、今年1月與德國英飛凌簽署了長期SiC晶圓供應(yīng)合同,。此外，SK還收購了一家高壓MOSFET技術(shù)的公司Powertechnix,，SK成為擁有SiC全產(chǎn)業(yè)鏈的廠商,。
2023年，上面提到的設(shè)備及原料供應(yīng)商ST也宣布將在釜山市建設(shè)一個年產(chǎn)3萬片SiC晶圓的新工廠,，以支持韓國車規(guī)SiC的本土供應(yīng),。2024年8月，另一家材料及晶圓企業(yè)Nano CMS宣布,，公司新碳化硅（SiC）材料加工廠已竣工,，并于當(dāng)月開始全面運(yùn)營，該企業(yè)碳化硅顆粒,、碳化硅晶錠和6英寸導(dǎo)電型碳化硅晶圓,。
外延方面，除了SK Siltron外,，韓國還有Arche,、LX Semicon等廠商。Arche是韓國首個宣布量產(chǎn)SiC外延片的廠商,。
SiC生產(chǎn)材料方面,，韓國有HANAMaterials,、SKC Solmics等幾個企業(yè)。器件方面除了SK Siltron,，還有TRinno Technology公司,。
看得出來，尤其是近幾年,，韓國向碳化硅發(fā)起了猛攻,，并已經(jīng)完成碳化硅全產(chǎn)業(yè)鏈的初步建設(shè)。此外,，韓國擁有現(xiàn)代汽車,、三星電子、LG電子等全球汽車,、家電企業(yè),，在應(yīng)用方面也給予了其極大的信心。
參考來源：全球半導(dǎo)體觀察,、行家說三代半,、今日半導(dǎo)體、電力電子網(wǎng),、中國粉體網(wǎng)
（中國粉體網(wǎng)/山川）
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