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圣華特瓷:破技術枷鎖,,讓國產(chǎn)氧化鋁在半導體領域大放異彩


來源:圣華特瓷(北京)科技有限公司

半導體行業(yè)作為現(xiàn)代科技的基石,,被譽為“工業(yè)糧食”,,盡管會經(jīng)歷周期性波動,,但長期規(guī)模呈穩(wěn)步上升趨勢,。據(jù)WSTS預測,2024年全球半導體市場將同比增長19.0%,,達到6270億美元,。集成電路產(chǎn)業(yè)鏈涵蓋設備、材料,、設計,、制造及封測等環(huán)節(jié),其中設計和制造是利潤核心,。行業(yè)特點包括硅周期與經(jīng)濟周期的疊加,、下游應用的持續(xù)迭代以及“牛鞭效應”導致的供需失衡。技術發(fā)展動力主要來自“摩爾定律”和“安迪-比爾定律”,,同時政策支持也是重要的外部驅(qū)動力,,如中國的大基金扶持政策。

 

高純氧化鋁粉體因其良好的化學穩(wěn)定性,、耐高溫,、強度大、絕緣性能好且耐磨性好,,而被普遍應用在電子,、催化、半導體和航空航天等領域,。

 

例如,,在半導體刻蝕設備中,刻蝕機腔室材料作為晶圓污染的主要來源,等離子刻蝕對其影響程度決定了晶圓的良率,、質(zhì)量,、刻蝕工藝的穩(wěn)定性等等。因此,,研究和開發(fā)出一種極其耐刻蝕腔體材料成為半導體集成產(chǎn)業(yè)以及等離子刻蝕技術中一項極具挑戰(zhàn)的任務,。當前,主要采用高純Al2O3涂層或Al2O3陶瓷作為刻蝕腔體和腔體內(nèi)部件的防護材料,。除了腔體以外,,等離子體設備的氣體噴嘴,氣體分配盤和固定晶圓的固定環(huán)等也需用到高純氧化鋁陶瓷,。再例如在晶圓拋光工藝中,,氧化鋁陶瓷可被廣泛應用于拋光板、拋光磨墊校正平臺,、真空吸盤等,。

 

然而,作為半導體產(chǎn)業(yè)的重要支撐材料之一,,對氧化鋁材料的技術研發(fā)和突破在我國仍較薄弱,,國產(chǎn)高端氧化鋁材料市場占有率僅有 3%-5%。圣華特瓷(北京)科技有限公司(以下簡稱“圣華特瓷”)自成立之初就投入大量資金,、人力對a相高純納米氧化鋁粉體進行研發(fā),,致力于解決我國在氧化鋁新材料領域的“卡脖子”問題。

目前,,圣華特瓷已實現(xiàn)年產(chǎn)各類高純度納米級a-氧化鋁粉體產(chǎn)品超300噸,,建設研發(fā)中心1個,生產(chǎn)基地2個,。公司產(chǎn)品已應用于半導體CMP拋光,、陶瓷靜電卡盤制造、陶瓷電子基板制造,、復合材料制造等領域,,產(chǎn)品品質(zhì)獲得國內(nèi)多家相關領域龍頭企業(yè)與科研機構認可。

 

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圣華特瓷可按客戶需求生產(chǎn)各種規(guī)格指標產(chǎn)品,,并確保質(zhì)量過硬,,供貨穩(wěn)定。

 

SHTC-201高純納米級氧化鋁微粉

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SHTC-301高純納米級氧化鋁微粉

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【產(chǎn)品特性】

 

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* MgO為添加劑,,不作為Al2O3中的雜質(zhì)計算,。

**未添加助焊劑,樣品在29.4MPa(300kg/cm2),1100℃下燒結,。

 

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低溫燒結高強度氧化鋁粉體

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【產(chǎn)品特點】本產(chǎn)品在較低溫度下燒結即可實現(xiàn)高強度,、高密度,,適用于對產(chǎn)品機械強度、耐磨性有較高要求的行業(yè)領域,。

【適用領域】電子陶瓷基板,、半導體結構件等領域。

 

高純納米氧化鋁材料是圣華陶瓷推出的新產(chǎn)品,,在半導體行業(yè)中發(fā)揮著重要作用,。

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【產(chǎn)品特性】

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結語

圣華特瓷深耕納米氧化鋁領域,以自主創(chuàng)新打破技術壁壘,,推出多款高純度,、高性能粉體及陶瓷產(chǎn)品,助力半導體設備與工藝升級,。公司以穩(wěn)定供應,、定制化服務及卓越品質(zhì)為基石,誠邀產(chǎn)業(yè)鏈伙伴攜手合作,,共拓國產(chǎn)高端材料新篇章,!歡迎垂詢,共創(chuàng)價值,。

 

參考來源:

[1] 陳雪誼等.高純氧化鋁粉體可控綠色合成及其吸附性能研究

[2] 半導體產(chǎn)業(yè)報告.大國博弈下的半導體產(chǎn)業(yè):發(fā)展趨勢與變革

[3] 粉體網(wǎng).高純氧化鋁陶瓷:四大領域的關鍵‘瓷’器,,盡顯“純凈”魅力

[4] 圣華特瓷(北京)科技有限公司官網(wǎng)、粉體網(wǎng)企業(yè)展臺

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