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立昂微拋光片產(chǎn)能合計(jì)可達(dá)117萬片/月,!


來源:中國(guó)粉體網(wǎng)   山林

[導(dǎo)讀]  杭州立昂微電子股份有限公司6英寸拋光片(含襯底片)產(chǎn)能60萬片/月,、8英寸拋光片(含襯底片)產(chǎn)能57萬片/月,。

中國(guó)粉體網(wǎng)訊  近日,,投資者就立昂微三大板塊的最新產(chǎn)能問題向立昂微提問,,公司表示,公司在第三季度業(yè)績(jī)說明會(huì)上回復(fù)的產(chǎn)能規(guī)劃,,均按照當(dāng)時(shí)回復(fù)的規(guī)劃進(jìn)度正常建設(shè),,目前6英寸拋光片(含襯底片)產(chǎn)能60萬片/月、8英寸拋光片(含襯底片)產(chǎn)能57萬片/月,。


化學(xué)機(jī)械拋光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)作為一種工業(yè)上實(shí)現(xiàn)超精密機(jī)械加工的技術(shù),,因其能夠完美地兼顧全局平坦化、材料表面缺陷及使用可靠性,,而廣泛應(yīng)用于精密光學(xué),、航空航天、信息技術(shù)等領(lǐng)域,。


 

CMP工藝

來源:王林,,拋光墊微觀接觸對(duì)化學(xué)機(jī)械拋光材料去除的影響及其跨尺度建模方法


拋光墊又稱拋光皮、拋光布,、拋光片,化學(xué)機(jī)械拋光中決定表面質(zhì)量的重要輔料,。CMP過程中化學(xué)作用進(jìn)行表面侵蝕軟化,,機(jī)械作用進(jìn)行材料磨除,在這個(gè)過程中拋光墊主要起到兩方面的作用,,既承載化學(xué)拋光液及反應(yīng)產(chǎn)物,,又傳遞加工載荷,保證拋光過程的平穩(wěn)進(jìn)行,,因此拋光墊的微形貌變化和局部的變質(zhì)會(huì)直接影響磨粒和拋光液對(duì)加工材料的效果,。所以,,合理地選擇和使用拋光墊,對(duì)控制和優(yōu)化化學(xué)機(jī)械拋光過程及實(shí)現(xiàn)高效,、高質(zhì)量加工具有重要的意義,。


杭州立昂微電子股份有限公司是2002年3月在杭州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)注冊(cè)成立的專注于集成電路用半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體功率芯片,、集成電路芯片設(shè)計(jì),、開發(fā)、制造,、銷售的高新技術(shù)企業(yè),,創(chuàng)始人為我國(guó)半導(dǎo)體材料學(xué)科開拓者闕端麟院士。公司于2020年9月11日在上海證券交易所主板A股掛牌上市,,擁有杭州,、寧波、衢州,、嘉興,、海寧五大經(jīng)營(yíng)基地,下轄杭州立昂東芯微電子有限公司,、海寧立昂東芯微電子有限公司,、浙江金瑞泓科技股份有限公司、金瑞泓科技(衢州)有限公司,、金瑞泓微電子(衢州)有限公司,、金瑞泓微電子(嘉興)有限公司、杭州立昂半導(dǎo)體技術(shù)有限公司,、衢州金瑞泓半導(dǎo)體科技有限公司八家子公司,。公司建有浙江省重點(diǎn)企業(yè)研究院——“浙江省立昂微波射頻集成電路企業(yè)研究院”、金瑞泓院士工作站,、金瑞泓博士后企業(yè)工作站,。


 來源:立昂微官網(wǎng)


2022年,其子公司浙江金瑞泓科技股份有限公司就已全面拉通6英寸硅拋光片月產(chǎn)15萬片的生產(chǎn)線,,并有效提升產(chǎn)能,,新增6英寸硅拋光片月產(chǎn)15萬片的產(chǎn)能。目前,,公司除實(shí)現(xiàn)6英寸拋光片(含襯底片)產(chǎn)能60萬片/月,、8英寸拋光片(含襯底片)產(chǎn)能57萬片/月以外,6-8英寸(兼容)外延片產(chǎn)能已達(dá)70萬片/月,,預(yù)計(jì)2025年3月底前達(dá)到90萬片/月,。


參考來源:

[1] 金融界、合成材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院、鼎龍股份官網(wǎng),、立昂微官網(wǎng)

[2] 許寧等,,CeO2基磨粒在化學(xué)機(jī)械拋光中的研究進(jìn)展

[3] 王林,拋光墊微觀接觸對(duì)化學(xué)機(jī)械拋光材料去除的影響及其跨尺度建模方法

[4] 梁斌等,,CMP拋光墊表面及材料特性對(duì)拋光效果影響的研究進(jìn)展


(中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/山林)

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