中國粉體網(wǎng)訊 隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展,材料創(chuàng)新成為突破性能瓶頸的關(guān)鍵,。金剛石憑借其卓越的硬度,、導(dǎo)熱性及潛在的半導(dǎo)體特性,在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的多個(gè)環(huán)節(jié)中已展現(xiàn)出巨大的發(fā)展?jié)摿蛻?yīng)用價(jià)值,。其中,,金剛石微粉作為磨拋料,以其超精密加工能力,,顯著提升了半導(dǎo)體晶片的表面質(zhì)量和生產(chǎn)效率,,成為半導(dǎo)體制造不可或缺的一環(huán)。
從2024半導(dǎo)體行業(yè)用金剛石材料技術(shù)大會(huì)組委會(huì)獲悉,,本屆會(huì)議將于2024年12月24日在鄭州舉辦,。北京中科美安科技有限公司作為參展單位邀請(qǐng)您共同出席。
北京中科美安科技有限公司
公司以⼤連化學(xué)物理研究所為技術(shù)依托,,研發(fā)系列⾦屬鈀復(fù)合膜超純氫⽓純化器,,⽤于制取超⾼純氫⽓。
實(shí)現(xiàn)6N ~ 9N ~ 12N超⾼純度,,滿⾜半導(dǎo)體,、多晶硅、⼈造鉆⽯加⼯,、航天,、軍⼯、⽯油化⼯等領(lǐng)域?qū)Τ?#12220;純氫⽓的需求,。
20年深度積累核⼼技術(shù)
來自中科院⼤連化物所,,20年研發(fā)積累,獨(dú)家超薄⾦屬鈀復(fù)合膜技術(shù),⾼質(zhì)量實(shí)現(xiàn)氫提純能⼒,。獲得國家發(fā)明專利兩項(xiàng),。全國第⼀,全球TOP3,。
相⽐PSA,,化學(xué)吸附技術(shù),鈀膜是實(shí)現(xiàn)氫⽓超⾼純化的最佳⽅案,。
⾦屬鈀能以溶解-擴(kuò)散的⽅式選擇性透過氫⽓,,簡單來講,只有氫⽓能透過鈀膜,,其他⽓體都透不過去,,因此分離氫⽓的純度能達(dá)到8個(gè)9以上。上世紀(jì)70年代就已經(jīng)被⽤于為半導(dǎo)體⾏業(yè)提供超純氫,。但⽬前國內(nèi)市場上主要是進(jìn)⼝的鈀管產(chǎn)品,,厚度⾄少在15微⽶以上,價(jià)格昂貴,,⽽且其透氫量很低,,裝置投資和分離能耗很⾼,制氫成本和制氫規(guī)模⽆法滿⾜未來規(guī)�,;瘧�(yīng)⽤的需求,。將⾦屬鈀膜負(fù)載在多孔⽀撐體的表⾯,可以制備⾦屬鈀復(fù)合膜,,厚度可以降低到5微⽶左右,,制備廉價(jià)的⾦屬鈀復(fù)合膜,同傳統(tǒng)鈀管相⽐,,其貴⾦屬⽤量降低10倍,,并且可以獲得更⼤的透氫量,使裝置投資和純化成本⼤幅度降低,,具有明顯的技術(shù)經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢,。
量產(chǎn)能⼒
突破超薄不銹鋼鈀膜制備瓶頸,達(dá)到DOE2015指標(biāo)國際上率先攻克制備難題并批量⽣產(chǎn),,成品率>90%,;
多孔不銹鋼底膜制備突破國外壟斷,成本下降90%,;
綜合成本相較國際解決⽅案降低95%,。
已交付使⽤
• 北京冬奧會(huì)液態(tài)陽光加氫站(李燦院⼠項(xiàng)⽬)50kg/天;
• H公司產(chǎn)線60臺(tái)應(yīng)⽤,,7N ~ 10N 純度;
• 某⼈造鉆⽯企業(yè),40臺(tái)應(yīng)⽤,,7N ~ 10N 純度,;
• 四川某多晶硅產(chǎn)線應(yīng)⽤,7N純度,,200Nm³/h流速
產(chǎn)品型號(hào)列表
適配于⼩流量場景下的鈀膜氫⽓純化解決⽅案,。
同時(shí)還具備超⼤流量和12N級(jí)氫純化⽅案:
最⾼純度可達(dá)12N;
最⾼流量可達(dá)800Nm³
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會(huì)務(wù)組
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