中國粉體網(wǎng)訊 近日,駐馬店市生態(tài)環(huán)境局驛城分局對河南協(xié)鑫硅基新材料公司3萬噸/年高純度石英硅料項目(電子級)環(huán)評受理情況進行了公示,。項目總投資70000萬元,,建設3 萬噸/年高純石英硅料(電子級),其中為檢驗產(chǎn)品質量,,項目設置有石英坩堝試驗線,。
項目產(chǎn)品方案
項目廠房內設置原料暫存區(qū)、礦石預處理區(qū)及石英坩堝試驗線,,成品暫存庫,、檢驗室、電磁磁選,、高溫氯化區(qū),、烤砂區(qū)、純水制備,、儲罐區(qū),、酸洗區(qū),、浮選區(qū)、焙燒水淬及制砂,、篩分區(qū)等,,其中,高純石英硅料(電子級)生產(chǎn)工藝流程為礦石上料,、礦石破碎,、礦石篩分等預處理工序、焙燒水淬,、分選,、制砂、除雜,、一次浮選,、酸洗、二次浮選,、烤砂,、電磁磁選和氯化包裝等。
項目生產(chǎn)工藝流程
項目石英坩堝試驗線采用電弧法生產(chǎn)工藝,。電弧法制石英坩堝主要原理為在真空環(huán)境內電極起電弧產(chǎn)生高溫對石英進行熔制而得到純凈的石英坩堝制品,。本項目設置的石英坩堝試驗線目的為對生產(chǎn)的高純石英砂產(chǎn)品質量進行驗證,通過制作坩堝觀測高純石英砂透明層,、黑點,、氣泡、絮狀物等質量情況,。
半導體行業(yè)是高純石英砂應用較為廣泛的領域,,且對高純石英砂的品質要求極高。高純石英制品是半導體制造過程中重要的耗材,。在半導體行業(yè)中,,以高純石英砂為原料的石英坩堝是用于直拉法生產(chǎn)單晶硅的輔助性耗材,高純石英砂是石英坩堝核心原材料,,其純度顯著影響拉晶效果,。另外,半導體制造過程中所用的石英環(huán),、石英舟,、石英管、石英棒,、石英錠,、石英鐘罩等石英制品,同樣需要以高純石英砂為原材料進行制備,。
其中,,行業(yè)標準SJ/T3328-2016電子產(chǎn)品用高純石英砂標準中規(guī)定了電子產(chǎn)品的技術條件,、分析方法通則、灼燒矢量的測定,、二氧化硅的測定,、鐵的測定、銅的測定,、鉻的測定,、鋁的測定以及鉛的測定。標準適用于電子產(chǎn)品用高純石英砂,,可用于制造半導體石英器件的管,、棒、塊,、板,、片以及坩堝等器件,標準規(guī)定粒徑應在70μm~350μm,,二氧化硅含量和雜質元素含量應該符合下列圖表(表1,,表2)中要求。
據(jù)悉,,河南協(xié)鑫硅基新材料有限公司成立于2024年1月18日,,位于河南駐馬店市驛城區(qū),是協(xié)鑫集團旗下子公司,,協(xié)鑫集團是一家在碳達峰,、碳中和目標引領下,以風光儲氫氨醇等多種形式的新能源,、清潔能源與可再生能源為主體的綠色低碳科技企業(yè),,是成功攻克電子級硅料卡脖子技術,,系統(tǒng)掌握集成電路專用高純電子級多晶硅制備技術,,且規(guī)模大、市占率高的電子級多晶硅生產(chǎn)企業(yè),。在12英寸大硅片,、大晶圓領域,協(xié)鑫具備進口替代技術能級,,是少數(shù)的“中國芯”原材料制造商之一,。
參考來源:
駐馬店市驛城區(qū)人民政府、協(xié)鑫集團官網(wǎng)
行業(yè)標準SJ/T3328-2016電子產(chǎn)品用高純石英砂
蔣雪松.高純石英砂制備及浮選機理研究
(中國粉體網(wǎng)編輯整理/初末)
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