中國粉體網(wǎng)訊  中共中央,、國務(wù)院于6月24日上午在北京隆重舉行國家科學(xué)技術(shù)獎勵大會,。

國家科學(xué)技術(shù)獎是為了獎勵在科學(xué)技術(shù)進(jìn)步活動中做出突出貢獻(xiàn)的個人、組織,，調(diào)動科學(xué)技術(shù)工作者的積極性和創(chuàng)造性,，建設(shè)創(chuàng)新型國家和世界科技強(qiáng)國，根據(jù)《中華人民共和國科學(xué)技術(shù)進(jìn)步法》設(shè)立的獎項,。該獎項包括國家最高科學(xué)技術(shù)獎,、國家自然科學(xué)獎、國家技術(shù)發(fā)明獎,、國家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎,、中華人民共和國國際科學(xué)技術(shù)合作獎。

在半導(dǎo)體研磨拋光領(lǐng)域,，“集成電路化學(xué)機(jī)械拋光關(guān)鍵技術(shù)與裝備”項目獲2023年度國家技術(shù)發(fā)明獎一等獎,。“半導(dǎo)體材料高質(zhì)高效磨粒加工關(guān)鍵技術(shù)與應(yīng)用”項目獲2023年度國家科技進(jìn)步獎二等獎,。

項目名稱：集成電路化學(xué)機(jī)械拋光關(guān)鍵技術(shù)與裝備

多重并行整機(jī)架構(gòu)及CMP系列整機(jī)

主要完成人：路新春(清華大學(xué)),、雒建斌(清華大學(xué))、王同慶(清華大學(xué)),、趙德文(清華大學(xué)),、何永勇(清華大學(xué))、劉宇宏(清華大學(xué))

項目簡介：

集成電路裝備是IC產(chǎn)業(yè)的重要支撐,，是保障集成電路產(chǎn)業(yè)安全的基礎(chǔ),。CMP裝備作為集成電路制造五大關(guān)鍵裝備之一，在產(chǎn)業(yè)鏈中不可或缺,，其核心技術(shù)的自主可控至關(guān)重要,。該項目面向國家重大戰(zhàn)略需求，通過技術(shù)創(chuàng)新解決了CMP核心“卡脖子”難題,，形成自主技術(shù)體系,，成功實現(xiàn)整機(jī)全面應(yīng)用與產(chǎn)業(yè)化，打破了國際巨頭在此領(lǐng)域數(shù)十年的壟斷,，支撐未來高端芯片自主可控發(fā)展,。

該項目揭示了拋光過程流場運(yùn)動規(guī)律和晶圓全局壓力調(diào)控機(jī)制，首創(chuàng)直線運(yùn)動式新型拋光單元,，發(fā)明了雙面噴淋清洗與表面張力梯度輔助豎直旋轉(zhuǎn)干燥技術(shù),，建立了亞納米膜厚測量與摩擦力終點檢測技術(shù)，發(fā)明了模塊化柔性布局整機(jī)架構(gòu)。突破了國外專利壁壘,，為芯片制造提供了全系列CMP裝備,，經(jīng)濟(jì)社會效益顯著，對我國高端芯片制造自主可控起到重要支撐作用,。

另據(jù)華海清科官微,，華海清科董事長、首席科學(xué)家路新春作為該項目第一完成人獲得2023年度國家技術(shù)發(fā)明獎一等獎證書,。

項目名稱：半導(dǎo)體材料高質(zhì)高效磨粒加工關(guān)鍵技術(shù)與應(yīng)用

力量鉆石半導(dǎo)體材料切割研磨微粉

主要完成人：徐西鵬,、陳鋒、趙延軍,、王東雪,、郭小偉、王海龍,、李戰(zhàn)偉,、張存升、黃國欽,、祝小威

主要完成單位：鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司,，華僑大學(xué),，青島高測科技股份有限公司,，華天科技(西安)有限公司，鄭州大學(xué),，北京中電科電子裝備有限公司,，河南省力量鉆石股份有限公司

相關(guān)介紹：

據(jù)華僑大學(xué)官微，華僑大學(xué)徐西鵬教授牽頭完成“半導(dǎo)體材料高質(zhì)高效磨粒加工關(guān)鍵技術(shù)與應(yīng)用”項目,。此前,，徐西鵬教授牽頭完成的“石材高效加工用金剛石磨粒工具關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”成果獲2013年度國家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎二等獎。

該項目主要完成單位之一——三磨所在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)加工環(huán)節(jié),，開發(fā)出倒邊,、減薄、切割,、拋光用系列超硬材料制品以及配套用陶瓷盤,、UV膜等產(chǎn)品，具有精度高,、加工效率高,、加工工件表面質(zhì)量好等優(yōu)點，部分產(chǎn)品性能超越國外同類產(chǎn)品,，成功實現(xiàn)國產(chǎn)替代,，成為中國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的重要支撐力量，是中國領(lǐng)先的半導(dǎo)體加工切磨拋系列產(chǎn)品供應(yīng)商、半導(dǎo)體加工切磨拋產(chǎn)品國內(nèi)優(yōu)選品牌,。

參與完成該項目的河南省力量鉆石股份有限公司發(fā)文稱,，本次榮獲國家級科技進(jìn)步獎是在高端超硬材料科技創(chuàng)新方面的又一次突破，解決了高品質(zhì)微細(xì)磨粒（高端金剛石微粉）批量化生產(chǎn)難題,，為我國半導(dǎo)體領(lǐng)域高質(zhì)高效加工解決了關(guān)鍵材料的迫切需求,，有力保障了我國高性能半導(dǎo)體器件自主研發(fā)和產(chǎn)業(yè)鏈安全。

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/平安）

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