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【原創(chuàng)】速覽:半導(dǎo)體石英坩堝基礎(chǔ)指南


來源:中國粉體網(wǎng)   星耀

[導(dǎo)讀]  半導(dǎo)體級石英坩堝具有純度高,、質(zhì)量穩(wěn)定,、耐溫性強(qiáng)、節(jié)約能源等優(yōu)點,,主要用于生長半導(dǎo)體單晶硅,,用于制造集成電路,、微電子器件等,是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展中重要器具,。

中國粉體網(wǎng)訊  石英坩堝是拉制大直徑單晶硅棒的消耗性器皿,,對拉晶質(zhì)量有著重要影響。主要應(yīng)用于光伏和半導(dǎo)體領(lǐng)域,。


 

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按應(yīng)用,,石英坩堝可分為兩大類:半導(dǎo)體(電子級)石英坩堝,、光伏(太陽能級)石英坩堝。


本文主要介紹半導(dǎo)體石英坩堝,。


半導(dǎo)體石英坩堝特點


石英坩堝為半透明狀,,可分為外層(不透明層)、中內(nèi)層(真空透明層),。外層(不透明層)是高密度區(qū)域,,內(nèi)部含有大量氣泡,被稱為氣泡復(fù)合層,,其受熱均勻,,保溫效果好;中內(nèi)層是3-5mm的透明層,,均勻致密,、表面光滑,可以增強(qiáng)坩堝的強(qiáng)度(抗形變),,降低內(nèi)表面的溫度(防失透),,被稱為氣泡空乏層。


 


半導(dǎo)體石英坩堝一般采用合成石英作為內(nèi)層,,天然石英作為外層,,內(nèi)外層之間有一層過渡層,以提高坩堝的強(qiáng)度和穩(wěn)定性,。


半導(dǎo)體石英坩堝對純度要求更高,,一般要求SiO2純度大于99.998%,雜質(zhì)含量低于10ppm,,氣液包裹體含量低于100ppm,。


半導(dǎo)體級石英坩堝具有純度高、質(zhì)量穩(wěn)定,、耐溫性強(qiáng),、節(jié)約能源等優(yōu)點,主要用于生長半導(dǎo)體單晶硅,,用于制造集成電路,、微電子器件等,是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展中重要器具,。


石英坩堝行業(yè)受其下游應(yīng)用領(lǐng)域的發(fā)展影響較大,。隨著半導(dǎo)體制程的不斷縮小,芯片制造工藝對半導(dǎo)體硅片缺陷容忍度不斷降低,,尤其是在邏輯,、存儲等高端 IC 芯片的制備過程中,對于半導(dǎo)體坩堝的潔凈度及均一性提出更為嚴(yán)苛的要求(高純半導(dǎo)體合成石英坩堝內(nèi)層要求 8N 以上的純度),。


半導(dǎo)體石英坩堝行業(yè)現(xiàn)狀


半導(dǎo)體石英坩堝行業(yè)壁壘較高,行業(yè)集中度高,。關(guān)于半導(dǎo)體石英坩堝產(chǎn)品,目前全球市場被外資企業(yè)主導(dǎo),,全球半導(dǎo)體石英坩堝前三大生產(chǎn)廠商美國 Momentive(其收購了 CoorsTek 的石英坩堝業(yè)務(wù)),、日本 SUMCO JSQ、日本 Shin-Etsu Quartz 占據(jù)了市場 85%的份額,,其中 Shin-Etsu Quartz、SUMCO JSQ 分別所屬的集團(tuán) Shin-Etsu,、SUMCO 又是排名全球前二的半導(dǎo)體硅片供應(yīng)商,,與國內(nèi)半導(dǎo)體硅片產(chǎn)業(yè)有直接的競爭關(guān)系,,如競爭關(guān)系加劇,其可能會對國內(nèi)半導(dǎo)體硅片產(chǎn)業(yè)實施半導(dǎo)體石英坩堝的限制供應(yīng),,對于國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展極其不利,。


從需求端來看,,2022年中國境內(nèi)半導(dǎo)體石英坩堝需求量占全球需求總量的15.93%。隨著中國半導(dǎo)體硅片產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,,中國境內(nèi)半導(dǎo)體石英坩堝市場需求也將快速上升,,據(jù)中金企信預(yù)測,,2027年中國境內(nèi)半導(dǎo)體坩堝市場規(guī)模有望從2022年的2.9億元增長至11億元,年復(fù)合增長率30.6%,。


 


在半導(dǎo)體石英坩堝領(lǐng)域,,國外半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)逐漸轉(zhuǎn)移至國內(nèi),,隨著新能源車、智能電網(wǎng),、自動駕駛,、人工智能的發(fā)展,8 英寸及 12 英寸半導(dǎo)體硅片出貨量持續(xù)增長,,我國半導(dǎo)體硅片供應(yīng)商開始加碼大硅片產(chǎn)能布局,,對半導(dǎo)體石英坩堝的需求持續(xù)增加,預(yù)計至 2027 年,,全球半導(dǎo)體石英坩堝市場規(guī)模將擴(kuò)大至 29.5 億人民幣,期間年復(fù)合增長率為 10.1%,。目前,,國內(nèi)個別企業(yè)開展了 32 英寸半導(dǎo)體級石英坩堝的研發(fā)工作并具備量產(chǎn)能力,。


 


半導(dǎo)體石英坩堝發(fā)展態(tài)勢


石英坩堝是半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)中重要的輔料,隨著國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,,半導(dǎo)體級石英坩堝市場需求持續(xù)攀升,。


①隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向中國轉(zhuǎn)移,,國產(chǎn)半導(dǎo)體石英坩堝市場占有率有望提升。


在國家政策的扶持下,,我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的建設(shè)力度持續(xù)加強(qiáng),,進(jìn)而有力帶動產(chǎn)業(yè)鏈上游石英坩堝需求的增長,。未來隨著半導(dǎo)體領(lǐng)域國產(chǎn)替代進(jìn)程的推進(jìn),國產(chǎn)石英坩堝在半導(dǎo)體領(lǐng)域的市場占有率將得到進(jìn)一步提升,。


②隨下游半導(dǎo)體硅片行業(yè)尺寸日趨大型化,,大尺寸高純度半導(dǎo)體石英坩堝將占據(jù)主流


目前,,國際半導(dǎo)體硅片出貨以12英寸硅片為主,我國半導(dǎo)體硅片供應(yīng)商也開始加碼大硅片產(chǎn)能布局,,近期國內(nèi)主要半導(dǎo)體硅片企業(yè)有將大硅片(12英寸)產(chǎn)能翻倍的計劃,。


下游半導(dǎo)體硅片行業(yè)尺寸日趨大型化加大了對大尺寸高純度半導(dǎo)體石英坩堝的需求,�,?紤]國際貿(mào)易爭端帶來的技術(shù)封鎖風(fēng)險,我國半導(dǎo)體硅片企業(yè)對國產(chǎn)半導(dǎo)體石英坩堝有更加緊迫性的需求,。


參考來源:

中金企信國際咨詢《2024年全球與中國半導(dǎo)體坩堝行業(yè)主要企業(yè)占有率及排名分析預(yù)測》

思瀚研究院《半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及半導(dǎo)體石英坩堝行業(yè)發(fā)展情況》

歐晶科技官網(wǎng)、年報

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(中國粉體網(wǎng)編輯整理/星耀)

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