中國(guó)粉體網(wǎng)訊 隨著大規(guī)模集成電路以及半導(dǎo)體等領(lǐng)域的高速發(fā)展,，以及電子產(chǎn)品小型化,、便攜化的趨勢(shì)，電子產(chǎn)品的“大腦”芯片制造工藝尺寸持續(xù)縮小,，晶體管密度指數(shù)式增長(zhǎng),，如此高密度晶體管以及幾納米的間距使得熱量更易在芯片內(nèi)堆積，造成電子產(chǎn)品過(guò)熱降頻,、甚至死機(jī),，嚴(yán)重危害產(chǎn)品及數(shù)據(jù)安全，因此對(duì)材料散熱性能提出了越來(lái)越高的要求,。
憑借加工工藝成熟,、摩擦系數(shù)低、散熱效果顯著等優(yōu)勢(shì),，以金剛石為典型代表的碳基材料成為當(dāng)前研究的熱點(diǎn)領(lǐng)域,。金剛石是碳的穩(wěn)定的單質(zhì)晶體，是碳在自然狀態(tài)下的同素異形體,，碳原子通過(guò)sp3雜化成鍵,，相互連接形成正八面體晶胞的立方面心晶體。金剛石的熱導(dǎo)率高,，是銅熱導(dǎo)率的五倍多,，與其他高熱導(dǎo)性能的材料相比，其較低的熱膨脹系數(shù),，使得金剛石具有較大的功率承載能力,，也使得金剛石成為較為理想的散熱材料,。
金剛石材料可滿足多種熱學(xué)應(yīng)用，然而生長(zhǎng)速率較低,，能耗較大,，相比傳統(tǒng)銅基散熱材料制備成本高，效益低下,，限制了金剛石散熱材料的廣泛應(yīng)用,，只能小規(guī)模的應(yīng)用于電子元?dú)饧⒋蠊β拾雽?dǎo)體器件和集成電路等具有高附加值的電子零件的散熱中,。因此如何提高金剛石膜的生長(zhǎng)速度和膜質(zhì)量（熱導(dǎo)率）,，以及如何有效降低制備設(shè)備能耗以及制造成本成為金剛石散熱材料大規(guī)模應(yīng)用亟待解決的實(shí)際工程問(wèn)題。
經(jīng)過(guò)近幾十年來(lái)的極速發(fā)展,，各種化學(xué)氣相法（CVD）技術(shù)已被用于生長(zhǎng)金剛石薄膜,。化學(xué)氣相法可以分為熱絲化學(xué)氣相沉積(HFCVD),、微波等離子體化學(xué)氣相沉積(MPCVD),、直流等離子體噴射化學(xué)氣相沉積(DPJCVD)等，MPCVD適用于合成高檔多晶和單晶金剛石薄膜,，生長(zhǎng)速度相對(duì)較高,，但成本較高，尤其是大面積生長(zhǎng),。DPJCVD開(kāi)發(fā)主要是為了實(shí)現(xiàn)極高的生長(zhǎng)速率但薄膜質(zhì)量和大面積生長(zhǎng)受到限制,。HFCVD是大面積生長(zhǎng)的最佳選擇，因?yàn)橹挥袛U(kuò)大真空反應(yīng)器和燈絲排列才能擴(kuò)大有效生長(zhǎng)面積,。
5月29日,，中國(guó)粉體網(wǎng)將在南京舉辦2024高導(dǎo)熱材料與應(yīng)用技術(shù)大會(huì)，組委會(huì)有幸邀請(qǐng)到河南飛孟金剛石股份有限公司的銷售售后總監(jiān)李波現(xiàn)場(chǎng)作題為《金剛石在導(dǎo)熱材料中以及CVD金剛石在半導(dǎo)體中的應(yīng)用》的報(bào)告,。屆時(shí),，李總將圍繞“CVD金剛石的生產(chǎn)過(guò)程”、“CVD金剛石導(dǎo)熱的應(yīng)用場(chǎng)景”,、“CVD金剛石的市場(chǎng)”等方面展開(kāi)詳細(xì)報(bào)告,。
（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/山川）
注：圖片非商業(yè)用途，存在侵權(quán)告知?jiǎng)h除
