中國粉體網(wǎng)訊  2月23日,，江蘇南通市自然資源和規(guī)劃局發(fā)布，南通三責精密陶瓷有限公司半導體設備用高精度結構陶瓷產(chǎn)業(yè)化項目建設工程規(guī)劃許可證批后公布,。

南通三責精密陶瓷有限公司成立于2017年,，研發(fā)和管理總部位于上海。公司主攻五大市場應用：精細化工耐腐蝕換熱/反應部件,，顯示玻璃制造用精密陶瓷部件,，泛半導體用高精度碳化硅部件、新能源鋰離子電池正級材料設備用陶瓷部件以及軍工碳化硅陶瓷產(chǎn)品,。

公司不斷的加大研發(fā)投入,，對半導體用高純碳化硅材料進行了布局，同時開發(fā)了3D打印,、注射成型,、凝膠注模成型、高壓注漿成型等各種先進成型工藝,，并逐步拓展到反應燒結,、液相燒結,、重結晶燒結碳化硅材料的制備研究，成為碳化硅陶瓷行業(yè)隱形冠軍,。

此前,，該公司的先進半導體設備用高純高精碳化硅陶瓷關鍵部件的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目被列入“2023年南通市重大科技成果轉化計劃項目擬立項項目名單”。

SiC陶瓷材料往往表現(xiàn)出優(yōu)異的高溫強度,、耐腐蝕,、高硬度和導熱性能，成為應用最廣泛的結構陶瓷材料之一,。在半導體領域,，碳化硅材料零部件具備密度高、熱傳導率高,、彎曲強度大,、彈性模數(shù)大等特性，能夠適應晶圓外延,、刻蝕等制造環(huán)節(jié)的強腐蝕性,、超高溫的惡劣反應環(huán)境，因此廣泛應用于外延生長設備,、刻蝕設備,、氧化/擴散/退火設備等主要半導體設備。

來源：南通市自然資源和規(guī)劃局,、南通市新材料產(chǎn)業(yè)商會

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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