中國粉體網(wǎng)訊  半導體封裝材料是一種覆蓋和保護半導體芯片的材料，它在維護器件完整性,、提供電氣連接以及在極端工作條件下保護芯片免受環(huán)境影響方面發(fā)揮著關鍵作用。在半導體封裝材料方面,，主要材料為封裝基板,，占比為33%。

當前,，隨著半導體技術的發(fā)展,，半導體器件沿著大功率化、高頻化,、集成化的方向迅猛發(fā)展,，器件在工作中產(chǎn)生的熱量是引起半導體器件失效的關鍵因素,。因此，封裝基板的主要性能圍繞可靠性和散熱性,，就需要考慮熱力學性能,，要有高熱導率和適當?shù)臒崤蛎浵禂?shù)。在多種半導體封裝材料中,，陶瓷封裝材料因其耐高溫,、良好的化學穩(wěn)定性和電絕緣性而備受青睞。

陶瓷是硬脆性材料,，陶瓷封裝屬于氣密性封裝,，是高可靠度需求的主要封裝技術，目前已經(jīng)投入生產(chǎn)應用的陶瓷基片主要包括氧化鈹（BeO）,、氧化鋁（Al₂O₃）和氮化鋁（AlN）,、氮化硅（Si₃N₄）等等。

Al₂O₃是目前制作和加工技術最成熟的陶瓷基片材料,，雖然其應用最成熟,，但是因其熱導率較低結(jié)和熱膨脹系數(shù)較高兩個特點，決定了Al₂O₃基板并不適合半導體器件大功率的發(fā)展趨勢,；AlN具有優(yōu)秀的導熱性能和與半導體材料相匹配的線膨脹系數(shù),，但其力學性能差且成本較高；Si₃N₄被認為是綜合性能最好的陶瓷基板材料,，雖熱導率不如氮化鋁,，但其抗彎強度、斷裂韌性都可達到氮化鋁的2倍以上,。同時,，氮化硅陶瓷基板的熱膨脹系數(shù)與第三代半導體碳化硅相近，使得其成為碳化硅導熱基板材料的首選,。

綜合來看,，AlN陶瓷基板與Si₃N₄陶瓷基板最具發(fā)展前景。

中國粉體網(wǎng)將于2024年4月25日在江蘇蘇州舉辦“第三屆半導體行業(yè)用陶瓷材料技術研討會暨第三代半導體SiC晶體生長技術交流會”,，屆時,，湖南大學肖漢寧教授帶來題為《半導體封裝用陶瓷材料研究進展》的報告。歡迎報名參會~

來源：

師阿維等：高熱導率材料的發(fā)展和應用

千際投行：2023年半導體材料行業(yè)研究報告

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（中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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