中國粉體網(wǎng)訊  近日,，據(jù)六方半導體消息,，公司聚焦碳化硅涂層技術(shù),，突破國外技術(shù)壟斷,，實現(xiàn)了碳化硅涂層產(chǎn)品在半導體領(lǐng)域的部分國產(chǎn)替代,。

據(jù)悉,，六方科技創(chuàng)始人,、甬江實驗室熱場材料創(chuàng)新中心主任何少龍博士申報的項目“超高純耐高溫耐腐蝕陶瓷涂層材料研究及應用探索”通過答辯，被納入“尖兵領(lǐng)雁”研發(fā)攻關(guān)計劃,，獲得浙江省重大科創(chuàng)平臺省級財政補助資金2000萬,。

項目主要聚焦碳化硅、碳化鉭,、碳化鎢等超高純度,、耐高溫,、耐腐蝕的陶瓷涂層材料的基礎(chǔ)研究以及產(chǎn)業(yè)化應用，最終將技術(shù)成功轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品,。

半導體涂層材料作為各類芯片上道工藝的關(guān)鍵耗材,，一直以來被國外領(lǐng)先的企業(yè)壟斷，但在全球技術(shù)競爭的大背景下,，該類材料的國產(chǎn)化日益緊迫,。因此，該項目的通過并獲得資助,，對開展先進陶瓷涂層材料具有極大的推動作用,，未來通過實驗室成果轉(zhuǎn)化，為六方科技持續(xù)引領(lǐng)先進涂層技術(shù)奠定堅實基礎(chǔ),。

碳化鉭涂層產(chǎn)品

關(guān)于六方半導體

六方半導體是成立于2018年的半導體涂層材料公司,，以SiC涂層為切入口，并已向TaC涂層,、Solid SiC領(lǐng)域拓展,，主要產(chǎn)品包括應用于LED外延、第三代半導體外延,、光伏領(lǐng)域的SiC涂層材料等,。目前,，公司TaC產(chǎn)品,、晶舟等產(chǎn)品已開始逐步商業(yè)化，Solid SiC等產(chǎn)品處于商業(yè)化起始階段,。該類型產(chǎn)品服務(wù)于快速增長的第三代半導體襯底,、國產(chǎn)化率接近零的集成電路關(guān)鍵工藝領(lǐng)域，增長潛力大,。

來源：六方半導體,、鏈榜

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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