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不同雜質(zhì)元素對(duì)高純石英產(chǎn)品質(zhì)量有何影響,?


來(lái)源:中國(guó)粉體網(wǎng)   平安

[導(dǎo)讀]  堿金屬,、過(guò)渡金屬,、硼鋁,、非金屬元素對(duì)高純石英質(zhì)量的影響

中國(guó)粉體網(wǎng)訊  雜質(zhì)元素對(duì)高純石英產(chǎn)品的質(zhì)量影響很大,,堿金屬、過(guò)渡金屬,、Al及B等元素含量是高純石英原料的關(guān)鍵指標(biāo),。雜質(zhì)元素的含量要求根據(jù)制備的石英玻璃用途不同而不同,但總的趨勢(shì)是越低越好,。



光伏用高純石英砂各雜質(zhì)元素含量要求(單位:微克每克)


堿金屬元素


石英砂中的堿金屬元素主要包括鋰(Li),、鈉(Na)、鉀(K)元素,。這些元素在石英中易擴(kuò)散,,化學(xué)性活潑,比較容易去除,但是它們危害很大,,這些元素在高溫下起著助熔劑的作用,,使高溫玻璃出現(xiàn)失透,高溫變形等不良現(xiàn)象,,對(duì)析晶起著催化作用,,影響石英制品的熱穩(wěn)定性,還會(huì)影響石英玻璃的光學(xué)特性與熱學(xué)特性,,降低半導(dǎo)體壽命,,石英玻璃的介電系數(shù)和介電損失都會(huì)增大,而石英制品光的傳播速度和機(jī)械強(qiáng)度又都會(huì)降低,。

降低堿金屬元素的含量有利于提高高純石英坩堝的軟化點(diǎn),,增強(qiáng)石英坩堝的抗變形性,提高單晶的成品率,。IOTA標(biāo)準(zhǔn)砂要求堿金屬元素總和2.4×10-6,,用于工藝管、硅片處理,、石英塊,、提單晶硅用的半導(dǎo)體坩堝所需高純石英要求其總和1.4×10-6,CZ型坩堝要求其總和0.5×10-6,,而用于12英寸或更大尺寸硅片所需超高純石英砂要求其總和0.08×10-6,。

過(guò)渡金屬元素

石英砂中摻雜的過(guò)渡金屬元素主要有鐵(Fe)、鋅(Zn),、銅(Cu),、鉻(Cr)、錳(Mn),、鎳(Ni)等元素,,這些元素對(duì)石英制品的影響很大,微量的元素溶入硅熔體就能阻止導(dǎo)電性,,對(duì)儀器的預(yù)見(jiàn)性和可靠性都起著負(fù)面作用,,對(duì)石英制品客觀的影響就是產(chǎn)生色斑,或者引起高溫變色,,降低光透過(guò)率,。

在光纖應(yīng)用中,會(huì)引起微觀不均勻,、增加光纖損耗,,甚至導(dǎo)致信號(hào)失真,但在半導(dǎo)體應(yīng)用中,,產(chǎn)品中微小含量的過(guò)渡金屬元素可以促進(jìn)結(jié)晶生長(zhǎng),。

硼鋁元素

硼元素(B)在石英砂中的含量與石英礦的地質(zhì)有直接的關(guān)系,,B離子可以進(jìn)入硅酸鹽分子的骨架,產(chǎn)生很強(qiáng)的化學(xué)鍵,,而不是僅在含硼礦物中,。B元素的超標(biāo)對(duì)單晶硅的拉制有致命的影響,1x10-6的B就可以使單晶硅的電阻大幅度降低,。高純石英坩堝對(duì)B要求高,,要求B元素含量<0.04×10-6

鋁元素(Al)在石英砂中主要存在于長(zhǎng)石,、粘土及云母等雜質(zhì)礦物中,。是石英砂中含量最多的雜質(zhì)元素,Al可以進(jìn)入Si-O四面體結(jié)構(gòu)骨架中,,將硅取代,,形成Al-O結(jié)構(gòu),Al3+取代Si4+后,,為了平衡電荷,,選用堿金屬元素甚至過(guò)渡金屬元素來(lái)補(bǔ)償電荷。而進(jìn)入Si-O骨架的Al將不易除去,。Al對(duì)半導(dǎo)體的影響不大,,但是對(duì)于電光源用的石英玻璃有很大影響,由于AI在一定條件下可以使石英制品有色,,對(duì)光譜通過(guò)率有影響,,進(jìn)而影響光效。IOTA標(biāo)準(zhǔn)砂要求Al元素含量(12~18)×10-6,。

非金屬元素

石英砂中的非金屬元素主要由氧(O),、氫(H)、氮(N)等元素,。氧的主體是SiO2,,其他則以H2O、N2,、O2的形式存在,。SiO2中的Si-O鍵斷裂會(huì)產(chǎn)生缺陷,這些缺陷會(huì)與OH或者H結(jié)合形成SiH或者SiOH基團(tuán),,羥基是一種雜質(zhì)缺陷,,同時(shí)又是一種網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)缺陷,。

羥基對(duì)石英及石英玻璃的性能都有很大影響,,首先,羥基的存在降低了石英的化學(xué)穩(wěn)定性,。其次,,羥基使石英結(jié)構(gòu)的疏松度增加,,密度減小,結(jié)合力下降,,聲音在石英玻璃中的傳播速度也將減小,。羥基還能降低石英的粘度,低溫時(shí)羥基的存在會(huì)使粘度降低得更明顯,。此外,,羥基還影響電子產(chǎn)品的純度,降低石英的軟化溫度,,促進(jìn)析出晶體,,降低石英的折射率,影響石英玻璃的光學(xué)均勻性,。

參考資料

張海啟等:高純石英中雜質(zhì)特征及深度化學(xué)提純技術(shù)研究進(jìn)展,,中國(guó)地質(zhì)科學(xué)院鄭州礦產(chǎn)綜合利用研究所

徐雯雯:高純石英粉制備工藝研究,中國(guó)海洋大學(xué)

(中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/平安)

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作者:平安

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