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加厚,!加大!天岳先進(jìn)公布8英寸碳化硅襯底最新技術(shù)


來源:中國粉體網(wǎng)   空青

[導(dǎo)讀]  天岳先進(jìn)公布8英寸碳化硅襯底最新技術(shù)。

中國粉體網(wǎng)訊  2023年6月29日,,天岳先進(jìn)攜8英寸碳化硅襯底最新技術(shù)動(dòng)態(tài)亮相Semicon China展會(huì),,受到高度關(guān)注。公司CTO高超博士在同期舉辦的功率及化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)國際論壇公開了天岳先進(jìn)最新進(jìn)展,。


來源:天岳先進(jìn)


據(jù)介紹,,在產(chǎn)品方面,,目前天岳先進(jìn)以6英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底為主;產(chǎn)能方面,,上海臨港工廠已于5月3日舉行交付儀式,,公司預(yù)計(jì)隨著公司技術(shù)的快速提升,將盡早實(shí)現(xiàn)臨港工廠第一階段30萬片的產(chǎn)能目標(biāo),。通過自主擴(kuò)徑技術(shù)制備的高品質(zhì)8英寸產(chǎn)品,,目前也已經(jīng)具備產(chǎn)業(yè)化能力。


碳化硅的本身特性決定了其單晶生長難度較大,,目前比較主流的方法有物理氣相傳輸法(PVT法),、液相法以及高溫氣相化學(xué)沉積法等。其中,,液相法生長碳化硅晶體由于更接近熱力學(xué)平衡條件,,有望生長質(zhì)量很好的碳化硅晶體,相比于PVT法生長碳化硅,,液相法具有位錯(cuò)密度低,、易于實(shí)現(xiàn)擴(kuò)徑、可以獲得P型晶體等優(yōu)點(diǎn),,另外,,成本上的降低也是液相法的一大優(yōu)勢(shì)。


近日,,天岳先進(jìn)采用液相法制備出了低缺陷的8英寸晶體,通過熱場(chǎng),、溶液設(shè)計(jì)和工藝創(chuàng)新突破了碳化硅單晶高質(zhì)量生長界面控制和缺陷控制難題,,尚屬業(yè)內(nèi)首創(chuàng)



除了產(chǎn)品尺寸,,在大尺寸單晶高效制備方面,,天岳先進(jìn)采用最新技術(shù)制備的晶體厚度已突破 60mm,這對(duì)提升產(chǎn)能具有重要的意義,,該技術(shù)也是天岳先進(jìn)重點(diǎn)布局的技術(shù)方向之一,。


在新能源汽車、光伏,、儲(chǔ)能等市場(chǎng)持續(xù)推動(dòng)下,,今年以來,國際半導(dǎo)體巨頭紛紛聯(lián)手國產(chǎn)碳化硅襯底,、材料等環(huán)節(jié)巨頭,,進(jìn)軍8英寸碳化硅。據(jù)悉,,8英寸的面積較6英寸增加了約78%,,同等條件下從8英寸襯底切出的芯片數(shù)將提升近90%,,可將單位綜合成本降低50%。


今年5月份,,天岳先進(jìn)與英飛凌簽訂一項(xiàng)新的晶圓和晶錠供應(yīng)協(xié)議,,根據(jù)該協(xié)議,天岳先進(jìn)將為英飛凌供應(yīng)用于制造碳化硅半導(dǎo)體的高質(zhì)量并且有競爭力的6英寸碳化硅襯底和晶棒,,第一階段將側(cè)重于6英寸碳化硅材料,,但天岳先進(jìn)也將助力英飛凌向8英寸碳化硅晶圓過渡。值得一提的是,,天岳先進(jìn)的供應(yīng)量預(yù)計(jì)將占到英飛凌長期需求量的兩位數(shù)份額,。


此外,博世集團(tuán)也與天岳先進(jìn)簽署了戰(zhàn)略合作長期協(xié)議,,以鎖定芯片制造關(guān)鍵材料碳化硅襯底的需求,。


隨著全球能源電氣化、低碳化的發(fā)展趨勢(shì),,碳化硅半導(dǎo)體材料和器件將發(fā)揮越來越重要的作用,,天岳先進(jìn)表示,公司看好行業(yè)長遠(yuǎn)發(fā)展?jié)摿�,,并努力做好技術(shù)突破和產(chǎn)能提升,,繼續(xù)引領(lǐng)發(fā)展,提升公司的長遠(yuǎn)價(jià)值,。


來源:天岳先進(jìn),、IT之家、中國經(jīng)營網(wǎng)


(中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青)

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作者:空青

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