中國粉體網(wǎng)訊  近日,，東海生態(tài)環(huán)境局對江蘇太平洋石英股份有限公司半導(dǎo)體石英材料系列項(xiàng)目（三期）環(huán)境影響評價(jià)受理情況進(jìn)行了公示,。

據(jù)悉,，江蘇太平洋石英股份有限公司決定利用東�,？h獨(dú)特的石英資源優(yōu)勢和公司先進(jìn)的生產(chǎn)技術(shù),，擴(kuò)大現(xiàn)有產(chǎn)能，新上6萬噸高純石英砂生產(chǎn)線,、15萬噸半導(dǎo)體級高純石英砂深加工生產(chǎn)線,、5000噸半導(dǎo)體石英制品生產(chǎn)線和80噸半導(dǎo)體石英鑄錠生產(chǎn)線，酸洗過程中產(chǎn)生的氟硅酸及污水預(yù)處理過程產(chǎn)生氟硅酸鈉為該項(xiàng)目的副產(chǎn)品,，滿足國內(nèi)外生產(chǎn)對高純石英砂的產(chǎn)品需求,，進(jìn)而參與國際競爭。項(xiàng)目總占地面積約250畝,，預(yù)計(jì)投資320000萬元,，新建生產(chǎn)車間、倉儲及輔助建筑約12萬平方米,，購置生產(chǎn),、檢驗(yàn)包裝及公輔共計(jì)943臺(套)設(shè)備,，建設(shè)半導(dǎo)體石英材料系列項(xiàng)目(三期)。

項(xiàng)目主體工程及產(chǎn)品方案表

產(chǎn)品走向圖(單位：t/a)

據(jù)環(huán)評報(bào)告顯示,，本項(xiàng)目生產(chǎn)的高純度石英材料主要用于光電,、光伏、半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè),，半導(dǎo)體級高純石英砂主要用于光伏和半導(dǎo)體行業(yè),。

高純石英砂

 高純石英砂生產(chǎn)工藝流程 

清洗揀選：進(jìn)廠粗制石英塊通過傳送帶經(jīng)循環(huán)水池噴水進(jìn)行清洗，同時(shí)人工對石英塊將不同規(guī)格尺寸進(jìn)行揀選,，根據(jù)揀選后的石英石,，分批次投加入后續(xù)工段處理；

破碎：通過輸送帶將揀選后粗制石英塊送入棒磨機(jī),，經(jīng)棒磨機(jī)破碎成產(chǎn)品需要尺寸,，破碎過程添加少量循環(huán)水，會有少量粉塵廢氣產(chǎn)生,。

篩分：破碎后的石英砂經(jīng)輸送帶送入高頻篩篩分,，經(jīng)高頻篩篩分，去除其中大尺寸破碎不完全的石英塊,，本項(xiàng)目篩分物料全程在循環(huán)水中進(jìn)行,，過程無廢氣產(chǎn)生。

磁選：篩分后得到的物料粒度范圍40~200目,，經(jīng)輸送帶送入廠區(qū)磁選機(jī)進(jìn)行磁選,，初步去除石英砂中的含鐵雜質(zhì)。磁選全程在循環(huán)水中進(jìn)行,，過程無廢氣產(chǎn)生,。

浮選：浮選采用多臺浮選機(jī)串聯(lián)，其中浮選劑,、硫酸,、配好的氫氟酸和水按照一定的比例進(jìn)行浮選，本項(xiàng)目浮選采用多臺串聯(lián)工藝(前面部分浮選機(jī)投加新鮮水,，后面浮選機(jī)全部投加純化水),，浮選藥劑能夠選擇性的吸附在欲選的物質(zhì)顆粒表面上，使其疏水性增強(qiáng),，提高可浮性,，并牢固地粘附在氣泡上而上浮，達(dá)到去除雜質(zhì)的作用,。經(jīng)壓濾后得到粒度范圍40~200目,，含濕率5%的浮選石英砂，最終浮選藥劑位于溶液上層,，和浮選雜質(zhì)一起進(jìn)入廢水中,。

二次磁選：為了進(jìn)一步去除石英砂中的含鐵雜質(zhì),，將浮選后的石英砂烘干，通過電加熱烘干機(jī)烘干溫度約600℃,，后進(jìn)行干式磁選,。烘干、磁選過程會有粉塵廢氣產(chǎn)生,。

酸洗,、水洗：為了保證產(chǎn)品質(zhì)量，將浮選過后的石英砂再一次進(jìn)行酸洗,，用于去除經(jīng)破碎后,，碎石內(nèi)部的雜物、水銹等,，最大限度的去除石英顆粒里面的雜質(zhì)，酸泡完畢后,，過濾石英砂,，再經(jīng)純水多次水洗，直至清洗干凈,，整個(gè)酸洗,、水洗過程在酸洗設(shè)備中進(jìn)行，有效減少酸性氣體的揮發(fā),，且不與外界接觸,，避免雜質(zhì)的引入，此工序主要目的為去除石英砂成分中的金屬氧化物,，提高石英砂純度,。

其中浮選和酸洗涉及到的反應(yīng)方程式：

SiO₂+6HF=H₂SiF₆+2H₂O

Al₂O₃+6HF=2AlF₃↓+3H₂O

Fe₂O₃+12HF=2H₃FeF₆+3H₂O

Al₂O₃+3H₂SO₄=Al₂(SO₄)₃+3H₂O

Fe₂O₃+3H₂SO₄=Fe2(SO₄)₃+3H₂O

烘干：水洗過后的石英砂粒度范圍40~200目，含濕率8%,，先經(jīng)過預(yù)烘干去除大部分水份后再進(jìn)行包裝前的精烘,，通過電加熱回轉(zhuǎn)圓筒烘干機(jī)烘干溫度約 600℃，進(jìn)一步去除石英砂表面的水分,，減少石英砂的含水率,，提高石英砂的質(zhì)量。

包裝入庫：烘干后的高純石英砂粒度范圍40~200目,，通過烘干機(jī)出料口管道,，直接進(jìn)入包裝桶或者噸包袋進(jìn)行包裝，入庫,。

半導(dǎo)體級高純石英砂

半導(dǎo)體級高純石英砂生產(chǎn)工藝流程

半導(dǎo)體石英制品

半導(dǎo)體級石英制品生產(chǎn)工藝流程圖

投料：半導(dǎo)體級石英砂經(jīng)上料電梯提升至樓頂加料平臺進(jìn)入連熔爐進(jìn)料斗,。

熔融：石英砂經(jīng)下料管進(jìn)入鎢坩堝，通冷卻水,，為防止氧氣進(jìn)入連熔坩堝使鎢坩堝氧化,，通入保護(hù)氣氮?dú)夂蜌錃�,，送電加溫�?100~2300℃時(shí)，人工調(diào)整出料臺的成型器,，待流體流出,。

成型：啟動成型機(jī)，人工引料至成型機(jī)成型,，成型機(jī)將石英管向下部牽引,，途中經(jīng)自然冷卻。

割管：將石英管,、石英管棒經(jīng)用切割機(jī),、打磨機(jī)等設(shè)備加工成要求的規(guī)格尺寸，加工設(shè)備用水沖洗冷卻抑塵,，切割過程中會產(chǎn)生極少量粉塵,、切割碎屑。

酸洗,、純水沖洗,、烘干：把加工成型的石英管及器件放入盛有12%的氫氟酸(25%氫氟酸+水)酸洗槽中酸洗，酸洗槽中酸液循環(huán)使用,，定期補(bǔ)充,，無廢酸液產(chǎn)生。該工序有氟化氫廢氣產(chǎn)生,。酸洗過后的產(chǎn)品,，表面附著少量酸液，放入清洗槽用高純水清洗,，去除表面附著的酸液,，此工序產(chǎn)生含氟廢水。清洗過后的產(chǎn)品,，經(jīng)廠區(qū)烘干系統(tǒng)烘干,，烘干系統(tǒng)采用電加熱，去除產(chǎn)品表面的殘留水分,，在烘干過程中會產(chǎn)生少量水蒸氣,。

脫羥：半導(dǎo)體級石英制品是在氮?dú)饧皻錃獗Ｗo(hù)的鎢發(fā)熱體電爐中連續(xù)熔制而成。由于氫氣廉價(jià),、且保護(hù)發(fā)熱體和鎢坩堝的效果好,，但用氫氣作保護(hù)氣體會使石英制品中的羥基含量增高，羥基是石英制品各種微觀缺陷中最主要的結(jié)構(gòu)缺陷,，所以此類石英制品需經(jīng)脫羥處理,。

脫羥設(shè)備采用高真空脫羥爐，真空度10Pa,，溫度1100℃,，在高真空條件下進(jìn)行脫羥,，不需要添加其他原料，爐中氣氛幾乎沒有水分,，造成有利的脫羥條件,，加大羥基的擴(kuò)散速率。

切割：割管后的石英管,、石英管棒進(jìn)行二次精加工,，對石英管進(jìn)行打孔切割，加工設(shè)備用水沖洗冷卻抑塵,，切割過程中會產(chǎn)生極少量粉塵,、切割碎屑、邊角料,。

酸洗,、純水沖洗、烘干：把加工成型的石英管及器件放入盛有12%的氫氟酸(25%氫氟酸+水)酸洗槽中酸洗,，酸洗槽中酸液循環(huán)使用,，定期補(bǔ)充，無廢酸液產(chǎn)生,。該工序有氟化氫廢氣產(chǎn)生。酸洗過后的產(chǎn)品,，表面附著少量酸液,，放入清洗槽用高純水清洗，去除表面附著的酸液,，此工序產(chǎn)生含氟廢水,。清洗過后的產(chǎn)品，經(jīng)廠區(qū)烘干系統(tǒng)烘干,，烘干系統(tǒng)采用電加熱,，去除產(chǎn)品表面的殘留水分，在烘干過程中會產(chǎn)生少量水蒸氣,。

深加工：為消除石英產(chǎn)品內(nèi)應(yīng)力，提高光學(xué)均勻性，將烘干后產(chǎn)品送入退火爐深加工,，退火爐采用電加熱,。部分需要再次塑形的管(棒)材用氧氣噴槍燒熔后進(jìn)行塑形深加工。

檢驗(yàn),、包裝：使用儀器對石英爐管,、石英器件成品進(jìn)行打標(biāo)，檢驗(yàn),，檢驗(yàn)合格后打包入庫待售,。

半導(dǎo)體石英鑄錠

半導(dǎo)體級石英鑄錠生產(chǎn)工藝流程圖

將半導(dǎo)體級高純石英砂,，在投料間由投料機(jī)把高純石英砂投料至鎢鉬坩堝內(nèi)，運(yùn)輸至石英玻璃鑄錠爐生產(chǎn)系統(tǒng)裝爐,，通電升溫,，溫度升高至2000℃，熔融鑄錠12天左右,，降溫,，把石英錠從石英鎢鉬坩堝中取出來。自然冷卻至室溫,，然后切割成客戶需要的規(guī)格尺寸,，純水清洗，自然晾干,，檢驗(yàn)既得成品,、包裝入庫。

參考來源：

連云港市生態(tài)環(huán)境局,、石英股份半導(dǎo)體石英材料系列項(xiàng)目(三期)環(huán)評公示

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/初末）

注：圖片非商業(yè)用途,，存在侵權(quán)告知?jiǎng)h除！