中國粉體網(wǎng)訊 一塊塊散發(fā)金屬光澤的深灰色電子級多晶硅,,在洛陽中硅高科技有限公司多晶硅制備車間新鮮出爐,它們的目的地,,是麥斯克電子材料股份有限公司等下游集成電路企業(yè),。
“龍門實驗室聯(lián)合企業(yè)推進的重大項目‘先進硅基光電功能材料’前不久已中試成功,標志著實驗路線正式得到工藝驗證,�,!痹邶堥T實驗室,智能裝備先進材料科創(chuàng)中心主任潘昆明難掩心中激動,。
中硅高科,,誕生中國第一條規(guī)模化生產(chǎn)多晶硅生產(chǎn)線的地方,,如今在與龍門實驗室的“共舞”中,,找到了創(chuàng)新突圍新的方向——電子級多晶硅。
來源:洛陽網(wǎng)
電子級多晶硅是制造半導體芯片的原材料,,被稱為電子信息產(chǎn)業(yè)的“糧食”,。以電子級多晶硅為原材料制造的硅片,經(jīng)過后期的打磨,、拋光,、蝕刻、光刻,、封裝等環(huán)節(jié),,變身一顆顆高附加值的芯片,嵌入到手機,、電腦,、汽車等終端產(chǎn)品中。
潘昆明介紹,,相比起光伏級多晶硅99.9999999%,,也就是9N的純度,電子級多晶硅的純度要求高達11N,,是前者的100倍,。“打個比喻,,就好像在國際標準泳池里最多摻一滴墨水,,再多純度就不合格了�,!迸死ッ髡f,。
復雜技術壁壘下,世界電子級多晶硅生產(chǎn)企業(yè)主要集中在美,、日,、德三國。我國半導體硅片制造用的電子級多晶硅95%以上依賴進口。突破電子級多晶硅生產(chǎn)技術,,對于保障我國集成電路產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略安全意義重大,。
去年以來,龍門實驗室牽頭聯(lián)合中硅高科和麥斯克公司,,打通電子級多晶硅制備和應用等多個環(huán)節(jié),,逐步突破超低金屬雜質控制等核心關鍵技術。
在項目推進過程中,,龍門實驗室充分發(fā)揮自身基礎研究優(yōu)勢,,為研發(fā)提供化學、分子動力學等方面的分析和模擬,。“我們通過理論推導和計算模擬,,使得數(shù)以百計的工藝組合效果在電腦上精確推導,,大大減少企業(yè)在生產(chǎn)線上試錯的成本,提高了研發(fā)的質效,�,!迸死ッ髡f。
自去年3月揭牌以來,,龍門實驗室既向上緊盯國家戰(zhàn)略需求,,聚焦河南“十大戰(zhàn)略”,又向下扎根本地市場,,充分發(fā)揮洛陽十大產(chǎn)業(yè)集群優(yōu)勢,,凝練了“先進硅基光電功能材料”等6個重大項目,涵蓋農(nóng)機裝備,、光電元器件,、電子化工材料等領域。這些項目技術需求均來自中信重工,、中國一拖等洛陽重點企業(yè),,科研成果直接服務于企業(yè)發(fā)展,實現(xiàn)創(chuàng)新鏈與產(chǎn)業(yè)鏈的“無縫對接”,。
“未來,,我們將持續(xù)推進6個重大項目,力爭年底前取得一批標志性科研成果,,助力洛陽‘風口’產(chǎn)業(yè)發(fā)展以及國家高水平科技自立自強,。”中國工程院院士,、龍門實驗室主任樊會濤語氣堅定地說,。
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