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洛陽中硅高科純度99.999999999%電子級多晶硅中試成功


來源:洛陽網(wǎng)

[導(dǎo)讀]  去年以來,,龍門實驗室牽頭聯(lián)合中硅高科和麥斯克公司,,打通電子級多晶硅制備和應(yīng)用等多個環(huán)節(jié),,逐步突破超低金屬雜質(zhì)控制等核心關(guān)鍵技術(shù),。

中國粉體網(wǎng)訊  一塊塊散發(fā)金屬光澤的深灰色電子級多晶硅,在洛陽中硅高科技有限公司多晶硅制備車間新鮮出爐,,它們的目的地,,是麥斯克電子材料股份有限公司等下游集成電路企業(yè)。


“龍門實驗室聯(lián)合企業(yè)推進(jìn)的重大項目‘先進(jìn)硅基光電功能材料’前不久已中試成功,,標(biāo)志著實驗路線正式得到工藝驗證,。”在龍門實驗室,,智能裝備先進(jìn)材料科創(chuàng)中心主任潘昆明難掩心中激動,。


中硅高科,誕生中國第一條規(guī)�,;a(chǎn)多晶硅生產(chǎn)線的地方,,如今在與龍門實驗室的“共舞”中,找到了創(chuàng)新突圍新的方向——電子級多晶硅,。


來源:洛陽網(wǎng)


電子級多晶硅是制造半導(dǎo)體芯片的原材料,,被稱為電子信息產(chǎn)業(yè)的“糧食”。以電子級多晶硅為原材料制造的硅片,,經(jīng)過后期的打磨,、拋光、蝕刻,、光刻,、封裝等環(huán)節(jié),變身一顆顆高附加值的芯片,,嵌入到手機(jī),、電腦、汽車等終端產(chǎn)品中。


潘昆明介紹,,相比起光伏級多晶硅99.9999999%,,也就是9N的純度,電子級多晶硅的純度要求高達(dá)11N,,是前者的100倍,。“打個比喻,,就好像在國際標(biāo)準(zhǔn)泳池里最多摻一滴墨水,,再多純度就不合格了�,!迸死ッ髡f,。


復(fù)雜技術(shù)壁壘下,世界電子級多晶硅生產(chǎn)企業(yè)主要集中在美,、日,、德三國。我國半導(dǎo)體硅片制造用的電子級多晶硅95%以上依賴進(jìn)口,。突破電子級多晶硅生產(chǎn)技術(shù),,對于保障我國集成電路產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略安全意義重大。


去年以來,,龍門實驗室牽頭聯(lián)合中硅高科和麥斯克公司,,打通電子級多晶硅制備和應(yīng)用等多個環(huán)節(jié),逐步突破超低金屬雜質(zhì)控制等核心關(guān)鍵技術(shù),。


在項目推進(jìn)過程中,,龍門實驗室充分發(fā)揮自身基礎(chǔ)研究優(yōu)勢,為研發(fā)提供化學(xué),、分子動力學(xué)等方面的分析和模擬,。“我們通過理論推導(dǎo)和計算模擬,,使得數(shù)以百計的工藝組合效果在電腦上精確推導(dǎo),,大大減少企業(yè)在生產(chǎn)線上試錯的成本,提高了研發(fā)的質(zhì)效,�,!迸死ッ髡f。


自去年3月揭牌以來,,龍門實驗室既向上緊盯國家戰(zhàn)略需求,,聚焦河南“十大戰(zhàn)略”,又向下扎根本地市場,,充分發(fā)揮洛陽十大產(chǎn)業(yè)集群優(yōu)勢,,凝練了“先進(jìn)硅基光電功能材料”等6個重大項目,,涵蓋農(nóng)機(jī)裝備、光電元器件,、電子化工材料等領(lǐng)域,。這些項目技術(shù)需求均來自中信重工、中國一拖等洛陽重點企業(yè),,科研成果直接服務(wù)于企業(yè)發(fā)展,,實現(xiàn)創(chuàng)新鏈與產(chǎn)業(yè)鏈的“無縫對接”。


“未來,,我們將持續(xù)推進(jìn)6個重大項目,,力爭年底前取得一批標(biāo)志性科研成果,助力洛陽‘風(fēng)口’產(chǎn)業(yè)發(fā)展以及國家高水平科技自立自強,�,!敝袊こ淘涸菏俊堥T實驗室主任樊會濤語氣堅定地說,。


(中國粉體網(wǎng)編輯整理/初末)

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