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洛陽中硅高科純度99.999999999%電子級(jí)多晶硅中試成功


來源:洛陽網(wǎng)

[導(dǎo)讀]  去年以來,,龍門實(shí)驗(yàn)室牽頭聯(lián)合中硅高科和麥斯克公司,打通電子級(jí)多晶硅制備和應(yīng)用等多個(gè)環(huán)節(jié),,逐步突破超低金屬雜質(zhì)控制等核心關(guān)鍵技術(shù),。

中國粉體網(wǎng)訊  一塊塊散發(fā)金屬光澤的深灰色電子級(jí)多晶硅,,在洛陽中硅高科技有限公司多晶硅制備車間新鮮出爐,,它們的目的地,,是麥斯克電子材料股份有限公司等下游集成電路企業(yè),。


“龍門實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合企業(yè)推進(jìn)的重大項(xiàng)目‘先進(jìn)硅基光電功能材料’前不久已中試成功,,標(biāo)志著實(shí)驗(yàn)路線正式得到工藝驗(yàn)證,。”在龍門實(shí)驗(yàn)室,,智能裝備先進(jìn)材料科創(chuàng)中心主任潘昆明難掩心中激動(dòng),。


中硅高科,誕生中國第一條規(guī)�,;a(chǎn)多晶硅生產(chǎn)線的地方,,如今在與龍門實(shí)驗(yàn)室的“共舞”中,找到了創(chuàng)新突圍新的方向——電子級(jí)多晶硅,。


來源:洛陽網(wǎng)


電子級(jí)多晶硅是制造半導(dǎo)體芯片的原材料,,被稱為電子信息產(chǎn)業(yè)的“糧食”。以電子級(jí)多晶硅為原材料制造的硅片,,經(jīng)過后期的打磨,、拋光、蝕刻,、光刻,、封裝等環(huán)節(jié),變身一顆顆高附加值的芯片,,嵌入到手機(jī),、電腦、汽車等終端產(chǎn)品中,。


潘昆明介紹,,相比起光伏級(jí)多晶硅99.9999999%,,也就是9N的純度,電子級(jí)多晶硅的純度要求高達(dá)11N,,是前者的100倍,。“打個(gè)比喻,,就好像在國際標(biāo)準(zhǔn)泳池里最多摻一滴墨水,,再多純度就不合格了�,!迸死ッ髡f,。


復(fù)雜技術(shù)壁壘下,世界電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)企業(yè)主要集中在美,、日,、德三國。我國半導(dǎo)體硅片制造用的電子級(jí)多晶硅95%以上依賴進(jìn)口,。突破電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)技術(shù),對(duì)于保障我國集成電路產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略安全意義重大,。


去年以來,,龍門實(shí)驗(yàn)室牽頭聯(lián)合中硅高科和麥斯克公司,打通電子級(jí)多晶硅制備和應(yīng)用等多個(gè)環(huán)節(jié),,逐步突破超低金屬雜質(zhì)控制等核心關(guān)鍵技術(shù),。


在項(xiàng)目推進(jìn)過程中,龍門實(shí)驗(yàn)室充分發(fā)揮自身基礎(chǔ)研究優(yōu)勢,,為研發(fā)提供化學(xué),、分子動(dòng)力學(xué)等方面的分析和模擬�,!拔覀兺ㄟ^理論推導(dǎo)和計(jì)算模擬,,使得數(shù)以百計(jì)的工藝組合效果在電腦上精確推導(dǎo),大大減少企業(yè)在生產(chǎn)線上試錯(cuò)的成本,,提高了研發(fā)的質(zhì)效,。”潘昆明說,。


自去年3月揭牌以來,,龍門實(shí)驗(yàn)室既向上緊盯國家戰(zhàn)略需求,聚焦河南“十大戰(zhàn)略”,,又向下扎根本地市場,,充分發(fā)揮洛陽十大產(chǎn)業(yè)集群優(yōu)勢,凝練了“先進(jìn)硅基光電功能材料”等6個(gè)重大項(xiàng)目,,涵蓋農(nóng)機(jī)裝備,、光電元器件、電子化工材料等領(lǐng)域。這些項(xiàng)目技術(shù)需求均來自中信重工,、中國一拖等洛陽重點(diǎn)企業(yè),,科研成果直接服務(wù)于企業(yè)發(fā)展,實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新鏈與產(chǎn)業(yè)鏈的“無縫對(duì)接”,。


“未來,,我們將持續(xù)推進(jìn)6個(gè)重大項(xiàng)目,力爭年底前取得一批標(biāo)志性科研成果,,助力洛陽‘風(fēng)口’產(chǎn)業(yè)發(fā)展以及國家高水平科技自立自強(qiáng),。”中國工程院院士,、龍門實(shí)驗(yàn)室主任樊會(huì)濤語氣堅(jiān)定地說,。


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