中國粉體網(wǎng)訊 為確保制程關鍵材料「氫氟酸」穩(wěn)定供應并友善環(huán)境,，臺積電宣布,，已攜手供應商以磷肥廢料替代螢石，在不影響原有制程品質的前提下成功產(chǎn)制氫氟酸,。

電子級氫氟酸主要應用于半導體制造過程的清洗和刻蝕等工序，它的純度和潔凈度對集成電路的良品率,、電性能及可靠性都有著十分重要的影響,。依據(jù)金屬雜質含量和液體中顆粒數(shù)目，電子級氫氟酸分為：EL,、UP,、UP-S、UP-SS,、UP-SSS等級別5個級別,，其中UP-SSS級別（相當于SEMIG5質量標準，金屬雜質要求≤10ppt）的氫氟酸純度最高,，是12寸晶圓及更高規(guī)格的電子半導體產(chǎn)品制造環(huán)節(jié)必須用到的關鍵材料,。

氫氟酸生產(chǎn)通常以螢石為原料，由于生產(chǎn)困難且精煉工藝復雜,，要在生產(chǎn)過程中實現(xiàn)顯著的碳減排十分困難,。據(jù)了解，為了促進可持續(xù)發(fā)展,，臺積電自2021年以來一直與供應商合作,，評估氫氟酸替代原材料的可行性。為使質量符合半導體工藝標準,，臺積電不僅在來料階段提前指導供應商提供質量保證證書(CoA),，更協(xié)助供應商開發(fā)獨立的生產(chǎn)線進行測試。經(jīng)過反復調整,，臺積電對工藝進行優(yōu)化,，確保后續(xù)生產(chǎn)質量處于良好狀態(tài)。

臺積電與供應商合作,，利用磷肥廢料生產(chǎn)氫氟酸

截至2023年2月,，臺積電有兩家晶圓廠已應用這種環(huán)保氫氟酸，既減少了螢石的使用量,，二氧化碳排放量也成功減少了12噸,，現(xiàn)其他臺積電晶圓廠現(xiàn)在也在試生產(chǎn)中。臺積電預計在所有晶圓廠引入這種環(huán)保氫氟酸后,，可減少12萬噸以上的二氧化碳排放量,，相當于58個臺北大安森林公園一年的二氧化碳吸附能力,。

參考來源：DIGITIMES科技網(wǎng)、多氟多等

(中國粉體網(wǎng)編輯整理/昧光)

注：圖片非商業(yè)用途,，存在侵權告知刪除!