中國粉體網(wǎng)訊  以光刻機,、刻蝕機為代表的半導體關鍵裝備是現(xiàn)代技術高度集成的產(chǎn)物，其設計和制造過程均能體現(xiàn)出包括材料,、機械加工等在內(nèi)的諸多相關科學領域的最高水平。例如,，對于材料而言,，半導體制造關鍵裝備要求零部件材料具有輕質(zhì)高強、高導熱系數(shù)和低熱膨脹系數(shù)等特點,，且致密均勻無缺陷,。其中，精密陶瓷就是最具代表性半導體精密部件材料,。

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研究機構(gòu)TECHCET于近期預測,，作為半導體制造設備耗材的陶瓷部件市場規(guī)�,？赡茉�2022年達到23億美元，同比增長15%,。該機構(gòu)指出,，陶瓷部件市場受到半導體設備需求的有力拉動，氧化鋁,、氮化鋁,、氧化釔等材料的精密陶瓷部件目前被應用于熱處理、蝕刻,、外延等各類工藝設備,。

在晶圓制造過程中的刻蝕機中，等離子體通過物理作用和化學反應會對設備器件表面造成嚴重腐蝕,，一方面縮短部件的使用壽命,，降低設備的使用性能，另一方面腐蝕過程中產(chǎn)生的反應產(chǎn)物會出現(xiàn)揮發(fā)和脫落的現(xiàn)象,，在工藝腔內(nèi)產(chǎn)生雜質(zhì)顆粒,，影響腔室的潔凈度。

刻蝕機腔體,，圖片來源：日本京瓷

隨著芯片特征尺寸的減小和鹵素類等離子體能量的逐漸提高,，刻蝕機工藝腔和腔體內(nèi)部件的耐等離子體刻蝕性能變得越來越重要。相對于有機和金屬材料,，陶瓷材料一般都具有較好的耐物理和化學腐蝕性能以及很高的工作溫度,，因而在半導體工業(yè)中，多種陶瓷材料已成為刻蝕設備核心部件制造材料,。

那么問題來了,，刻蝕機中具體會涉及到哪些陶瓷部件？這些部件對陶瓷材料有何性能要求,？

2023年3月9-10日,，中國粉體網(wǎng)將在江西萍鄉(xiāng)舉辦“2022第五屆新型陶瓷技術與產(chǎn)業(yè)高峰論壇”，我們有幸邀請到江蘇大學喬冠軍教授作題為《信息產(chǎn)業(yè)鏈中的幾種陶瓷部件》的報告,。喬冠軍教授將在報告中重點介紹芯片制程設備等離子刻蝕腔體用關鍵陶瓷部件,，以及電容式陶瓷壓力傳感器和激光能量計等若干前端元器件對陶瓷材料的要求和面臨的挑戰(zhàn)，并針對結(jié)構(gòu)陶瓷如何走向高端化和功能化應用談一些體會和認識,。

專家介紹：

喬冠軍,，教授，博士生導師,，江蘇大學材料學院院長,，中國機械工程學會工程陶瓷專業(yè)委員會副理事長，江蘇省材料學會副理事長,。主要從事多功能材料與器件研究,，研究工作注重以應用需求為導向,，將新材料研究、器件設計研發(fā)和產(chǎn)品應用緊密結(jié)合,。入選首批教育部新世紀人才支持計劃、獲國務院政府特殊津貼,、科技部中青年科技創(chuàng)新領軍人才計劃,、新世紀百千萬人才工程國家級人選、第二批“萬人計劃”科技創(chuàng)新領軍人才,、江蘇省“333人才工程”第一層次中青年首席科學家等,。

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/山川）

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