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3D打印成為高端需求應用的重要生產(chǎn)工具

目前和未來的空間和航天領(lǐng)域的光學儀器因為技術(shù)和成本方面的需求,，結(jié)構(gòu)將趨向于高度一體化,。零部件的高復雜性使得增材制造(AM)成為一種顛覆性的生產(chǎn)方式。此外,，隨著性能要求的提高,，光學系統(tǒng)將變得越來越強大，這就要求開發(fā)新的制造工藝,，以保證預期的性能,。半導體工業(yè)是另一個對陶瓷材料要求很高且具有挑戰(zhàn)性的重要領(lǐng)域,。

這些產(chǎn)品的整體制造工藝流程都非常有挑戰(zhàn)性，需要使用特殊的化學,、熱和電子性能的材料,，陶瓷材料成為了最好的選擇。此外,，對靈活和復雜形狀的需求,，使3D打印成為便捷地應對措施,。因此,，航天和電子應用很可能是3D打印陶瓷技術(shù)零件未來10年最重要的應用方向，預計到2030年底將達到約7.64億美元,。

空間應用光學儀器的增材制造

空間應用光學儀器的主要技術(shù)特點是：

• 視線穩(wěn)定性

• 抗惡劣機械和熱環(huán)境的強度

• 作為任務組件的高光學性能

陶瓷材料可以滿足這些需求,，是因為它們具有特殊的機械性能（剛度、強度,、穩(wěn)定性）,。但陶瓷產(chǎn)品往往受到傳統(tǒng)制造方法的限制，限制其使用在大型和小應力零件,。然而,，空間應用對優(yōu)化的大型光學儀器的需求越來越迫切，例如：衛(wèi)星反射鏡必須盡可能輕,，只有增材制造才能優(yōu)化這些新反射鏡的設(shè)計和生產(chǎn),。

圖1：燒結(jié)后的衛(wèi)星鏡，在CERAMAKER C3600 Ultimate打印機上打印,，僅需13小時即可

為了滿足日益增長的需求,，3DCERAM 開發(fā)了C3600 Ultimate 3D打印機，其打印平臺為600 mm x 600 mm x 300 mm（長x寬x高）,，是目前市場上最大的立體光刻打印機,。

使用C3600 Ultimate 3D打印機生產(chǎn)光學零件具有許多優(yōu)點，例如：

• 縮短交付周期：光學零件的傳統(tǒng)制造工藝由6個步驟組成（毛坯的生產(chǎn)-通過機械加工輕量化-研磨-拋光-涂層-表面集成）,。3D打印可以避免機械加工和研磨步驟

• 節(jié)省陶瓷材料：通常90%的坯料重量都是通過機械加工去除的,，因此會產(chǎn)生過多的廢料，并且有很高的裂紋風險

• 顛覆性設(shè)計：可以考慮更復雜的設(shè)計以及減重設(shè)計

• 功能集成：如內(nèi)部通道,、電氣軌道和饋線

• 打印大尺寸零件：如圖2

圖2：直徑為500mm的衛(wèi)星鏡,，采用封閉式結(jié)構(gòu)，在C3600打印機上用不到1天的時間打印完成

3DCERAM工藝能夠簡化和減少制造過程,。這為發(fā)展冷卻光學系統(tǒng),、有源光學系統(tǒng)或自由曲面光學系統(tǒng)開辟了一條新途徑。3D打印的成形功能也提高了集成/粘合工藝質(zhì)量,，具有更高的精度,。因此,，通過CERAMAKER C3600打印機，現(xiàn)在可以生產(chǎn)“定制”的大型陶瓷光學基板,，從而降低制造過程中的風險,。不僅如此，新的反射鏡設(shè)計還包括可減輕重量的半封閉結(jié)構(gòu)和集成界面的探索（圖2）,。

3DCERAM工藝也為下一代儀器開辟了新的前景：

• 具有集成功能的緊湊型解決方案（隔熱器,、冷卻通道等）

• 機械和熱界面的限制

• 將光學功能集成在結(jié)構(gòu)裝置中

3DCERAM C3600 Ultimate打印機現(xiàn)在能夠滿足航天工業(yè)中生產(chǎn)一系列適應最惡劣環(huán)境的大型復雜光學基板或結(jié)構(gòu)件。

電 子 應 用

近年來,，半導體制造廠開發(fā)了越來越復雜的工藝,，需要特殊的設(shè)備來滿足他們的需求。此外,，市場對微電路容量的需求日益增長,，導致越來越多使用直徑為1-12英寸（25-300毫米）的硅晶片，并開發(fā)設(shè)備來處理它們以獲得所需的沉積物,。

為了更好地理解陶瓷材料在半導體行業(yè)中的作用,，這里簡要介紹下集成電路芯片制造中所涉及的主要步驟：

• 晶片加工是通過切割由硅或砷化鎵制成的單晶柱來獲得圓形晶片

• 氧化工藝是在晶片表面形成保護膜的必要步驟。

• 光刻工藝用于在晶片上“打印”電路圖案,。

• 蝕刻工藝去除多余的氧化膜,，只留下半導體電路圖

• 薄膜沉積用于在晶片表面形成由交替導電和絕緣薄膜組成的多層結(jié)構(gòu)。

• 互連過程實現(xiàn)電力和信號傳輸,。

• 組裝,、包裝和最終測試

所有這些步驟，都是為了延長設(shè)備壽命并降低運行成本,。除了需要在極其清潔的條件下工作,，使用的多種沉積技術(shù)，如CVD,、PECVD,、ALD；還需要具有特定性能的材料,，以獲得并保持生產(chǎn)這些高性能產(chǎn)品所需的完美條件,。

在陶瓷材料中，需求最多的是：

• 常見氧化物：如氧化鋁,、氧化鋯,、二氧化硅、堇青石,，它們代表了市場的主要部分;但也有附加值較高的氧化物：如三氧化二釔

• 氮化物：氮化鋁和氮化硅

• 碳化物：碳化硅

以下是一些用于半導體行業(yè)的陶瓷零件的例子：

圖3：此大零件在CERAMAKER C3600打印機上的打印時間為21小時49分鐘

• 在晶圓清潔步驟中,，陶瓷材料用于晶圓輸送托盤、卡盤/吸盤（圖3）和機器臂

• 在熱擴散和化學氣相沉積過程中,，輻射管,、晶圓船和氣體引入口等許多部件都是由陶瓷制成的

• 在等離子體蝕刻過程中,，陶瓷被用于腔室、靜電卡盤,、噴嘴和環(huán),。

• 陶瓷也可用作熱處理期間的加熱器

此外，3D打印工藝由于其靈活性和反應性以及打印復雜幾何圖形的可行性,，似乎是生產(chǎn)這些高科技零件的一種具有光明前景的技術(shù)選擇,。

2018年，Alumina Systems 有限公司通過陶瓷3D打印取得了在半導體行業(yè)的巨大成功,。該公司因開發(fā)了一個380毫米直徑的PEALD（等離子體增強原子層沉積）工藝的陶瓷氣體分配環(huán)而獲得了慕尼黑/德國CERAMITEC的最佳組件獎,。由于其巧妙的幾何形狀，該環(huán)可以同時或按順序供應兩種氣體,。PEALD是一種適用于半導體生產(chǎn)的創(chuàng)新工藝,，顯示出技術(shù)的重要提升,，具有巨大的經(jīng)濟潛力,。

圖4：Alumina Systems 首席執(zhí)行官 Holger Wampers博士拿著在CERAMAKER C3600打印機上打印的零件

最初，氧化鋁環(huán)是由許多用玻璃焊料連接的分離件制成的,。但自Alumina Systems公司購得CERAMAKER C3600打印機后,，它可以在一次運行中完全打印出來（圖4）。

3DMIX 漿 料

3DCERAM提供技術(shù)陶瓷的擴展端口,，從氧化鋁,、氧化鋯、堇青石等氧化物,，再到氮化硅,、氮化鋁等非氧化物，用于在CERAMAKER設(shè)備上打印,。3DCERAM的專家會根據(jù)客戶使用CERAMAKER所要獲得的特性,，確定適合于客戶需要的陶瓷配方和工藝參數(shù)。

用于光學和半導體應用的材料的選擇非常重要,，在決定使用哪種陶瓷時需要考慮以下材料特性：

• 機械和熱性能

• 剛度和密度

• 熱膨脹系數(shù)（CTE）

• 耐化學/腐蝕性,。

圖5：應對航天和半導體領(lǐng)域的3DMIX材料的性能

總結(jié)

增材制造為光學和半導體儀器的工業(yè)生產(chǎn)過程帶來了新的可能性，除了節(jié)省時間和減少料損外,，該技術(shù)還具有以下優(yōu)點：

• 創(chuàng)造突破性的設(shè)計

• 提高剛度與質(zhì)量比

• 集成冷卻通道或隔熱器等新功能

• 簡化和優(yōu)化設(shè)計流程

在所有增材制造工藝中,，立體光刻技術(shù)已成為最適合這些應用的工藝，因為它可以在打印質(zhì)量,、空間分辨率和材料特性方面實現(xiàn)最優(yōu)化的結(jié)果,。為了提高其性能和壽命，未來半導體/光學器件的制造過程將變得更快,，甚至更激進,。那么,，特定陶瓷材料的結(jié)合和工業(yè)3D打印機的商業(yè)化是應對這些領(lǐng)域未來挑戰(zhàn)的不可或缺的資產(chǎn)。

----本文節(jié)選自2022年10月《CERAMIC APPLICATIONS》

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/山川）

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