中國粉體網訊 近日,,浙江省經信廳發(fā)布了關于印發(fā)浙江省重點新材料首批次應用示范指導目錄(2022年版)的通知。據中國粉體網小編了解,,該指導目錄中涉及多種石英新材料,。
材料名稱:光纖用高純四氯化硅
性能要求:
所含金屬雜質達到PPb級。
應用領域:電子,、半導體,、光纖預制棒、石英玻璃
材料名稱:半導體級電弧石英坩堝
性能要求:
規(guī)格:14-24英寸,;
內層純度:所有金屬雜質含量<12ppm,;
強度1500度高溫變形率<2%;
壽命可達200小時,。
應用領域:集成電路,、半導體、光伏
材料名稱:制備高純半絕緣碳化硅晶片用石英大管材
性能要求:
OD440-500mm大口徑石英管焊接過程不爆裂,;
兩段管體拼接后,,整管同心度<1mm;
大管對接后內外徑公差保證<±0.25mm,,管子平面度<0.2,,垂直度<0.12。
應用領域:半導體或光伏晶片擴散用石英爐管
材料名稱:光掩�,;逵檬⒉AЩ�
性能要求:
規(guī)格尺寸:8寸及以下;
尺寸精度:達到國際SEMI標準;
材料金屬雜質含量≤2ppm,;
材料氣泡:Ⅰ級,,條紋等級:Ⅰ級,應力雙折射:Ⅰ級,;
光譜透過率:T190-280nm≥80%,。
應用領域:集成電路、半導體
材料名稱:高純石英材料
性能要求:
材料結構穩(wěn)定,,精密機械加工后尺寸精度可達±0.002,,熱加工處理后,應力可以3°以下,;
材料純度含量達到99.999%,;
材料表面不允許有任何有色異物。
應用領域:集成電路制造
材料名稱:低缺陷高平坦度的大尺寸半導體硅晶圓
性能要求:
大尺寸半導體硅晶圓300mm(12英寸),。
應用領域:消費電子,、汽車、5G,、人工智能芯片等
材料名稱:8英寸重摻硅單晶拋光片
性能要求:
晶向<100>,,摻雜元素磷(Ph),電阻率0.0007~0.0014ohm·cm,,氧含量8~18ppma,。
應用領域:集成電路及分立器件領域
材料名稱:先進封裝MUF用20μm cut合成二氧化硅球硅材料
性能要求:
每400顆二氧化硅球中200nm以上內孔球顆數:≦2個;
Uranium/Thorium content(鈾釷含量):≦1ppb,;
最頻值(mode值μm ): 9~11μm,;
Maxim particle size(最大粒徑): ≦20μm。
應用領域:集成電路制造
材料名稱:高純納米硅粉
性能要求:
純度99.999%以上,,粒度控制在100nm以內,。
應用領域:鋰離子電池負極材料、碳硅包覆材料,、新一代電子和量子器件,、生物醫(yī)藥
(中國粉體網編輯整理/平安)
注:圖片非商業(yè)用途,存在侵權告知刪除,!