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從浙江省這一官方文件,,看高科技對石英新材料的性能要求


來源:中國粉體網   平安

[導讀]  從浙江省這一官方文件,,看高科技對石英新材料的性能要求

中國粉體網訊  近日,,浙江省經信廳發(fā)布了關于印發(fā)浙江省重點新材料首批次應用示范指導目錄(2022年版)的通知。據中國粉體網小編了解,,該指導目錄中涉及多種石英新材料,。




材料名稱:光纖用高純四氯化硅

性能要求:

所含金屬雜質達到PPb級。

應用領域:電子,、半導體,、光纖預制棒、石英玻璃

材料名稱:半導體級電弧石英坩堝

性能要求:

規(guī)格:14-24英寸,;

內層純度:所有金屬雜質含量<12ppm,;

強度1500度高溫變形率<2%;

壽命可達200小時,。

應用領域:集成電路,、半導體、光伏

材料名稱:制備高純半絕緣碳化硅晶片用石英大管材

性能要求:

OD440-500mm大口徑石英管焊接過程不爆裂,;

兩段管體拼接后,,整管同心度<1mm;

大管對接后內外徑公差保證<±0.25mm,,管子平面度<0.2,,垂直度<0.12。

應用領域:半導體或光伏晶片擴散用石英爐管

材料名稱:光掩�,;逵檬⒉AЩ�

性能要求:

規(guī)格尺寸:8寸及以下;

尺寸精度:達到國際SEMI標準;

材料金屬雜質含量≤2ppm,;

材料氣泡:Ⅰ級,,條紋等級:Ⅰ級,應力雙折射:Ⅰ級,;

光譜透過率:T190-280nm≥80%,。

應用領域:集成電路、半導體

材料名稱:高純石英材料

性能要求:

材料結構穩(wěn)定,,精密機械加工后尺寸精度可達±0.002,,熱加工處理后,應力可以3°以下,;

材料純度含量達到99.999%,;

材料表面不允許有任何有色異物。

應用領域:集成電路制造

材料名稱:低缺陷高平坦度的大尺寸半導體硅晶圓

性能要求:

大尺寸半導體硅晶圓300mm(12英寸),。

應用領域:消費電子,、汽車、5G,、人工智能芯片等

材料名稱:8英寸重摻硅單晶拋光片

性能要求:

晶向<100>,,摻雜元素磷(Ph),電阻率0.0007~0.0014ohm·cm,,氧含量8~18ppma,。

應用領域:集成電路及分立器件領域

材料名稱:先進封裝MUF用20μm cut合成二氧化硅球硅材料

性能要求:

每400顆二氧化硅球中200nm以上內孔球顆數:≦2個;

Uranium/Thorium content(鈾釷含量):≦1ppb,;

最頻值(mode值μm ): 9~11μm,;

Maxim particle size(最大粒徑): ≦20μm。

應用領域:集成電路制造

材料名稱:高純納米硅粉

性能要求:

純度99.999%以上,,粒度控制在100nm以內,。

應用領域:鋰離子電池負極材料、碳硅包覆材料,、新一代電子和量子器件,、生物醫(yī)藥

(中國粉體網編輯整理/平安)

注:圖片非商業(yè)用途,存在侵權告知刪除,!

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作者:平安

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