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昭和電工決定啟動6英寸碳化硅單晶片的量產(chǎn)


來源:中國粉體網(wǎng)   山川

[導讀]  據(jù)昭和電工官網(wǎng)消息,,公司已開始大規(guī)模生產(chǎn)直徑為6英寸(150毫米)的碳化硅單晶片。

中國粉體網(wǎng)訊  據(jù)昭和電工官網(wǎng)消息,,公司已開始大規(guī)模生產(chǎn)直徑為6英寸(150毫米)的碳化硅單晶片,,用作SiC外延晶片的襯底材料,以加工并安裝到SiC基功率半導體(SiC功率半導體)中,。



圖片來源:昭和電工官網(wǎng)

 

碳化硅是第三代化合物半導體的典型代表,,具有耐高溫、耐高壓,、高頻率,、大功率等優(yōu)勢,廣泛應用于電力電子與射頻等下游,。碳化硅材料相比硅基材料具有寬禁帶,、電子飽和漂移速率高、熱導系數(shù)高和熔點高等優(yōu)勢,,可有效突破傳統(tǒng)硅基半導體器件及其材料的物理極限,,作為襯底開發(fā)出更適應高溫、高壓,、高頻率和大功率等條件的半導體器件,,廣泛應用于新能源車、光伏及射頻領域,。半導體器件不能直接制作在碳化硅襯底上,,需要先在襯底上生長氮化鎵或碳化硅外延層,得到外延片,,再在外延片上制作適用于射頻或電子電力領域的器件,。

 

昭和電工作為SiC外延片的獨立供應商,一直為功率器件制造商提供一流的SiC外延片,,在全球市場占有率較高,。昭和電工從2012年至2019年,先后6次擴大碳化硅外延片產(chǎn)能,。2012年9月,,昭和電工將4英寸碳化硅外延片的產(chǎn)能提高了2.5倍,達到每月1500片,,并宣布將加快6英寸碳化硅外延片的開發(fā),。2016年6月,昭和電工繼續(xù)擴大碳化硅外延片產(chǎn)能,,并開始批量生產(chǎn)HGE(High Grade Epitaxy),,月產(chǎn)3000片。2017年9月和2018年1月,,昭和電工又進行了兩次擴產(chǎn),。2018年7月,,昭和電工進一步擴大其產(chǎn)能,將HGE產(chǎn)能從每月5000片增加到每月7000片,。2019年2月,,昭和電工又將碳化硅外延片產(chǎn)能增加到每月9000片。去年9月,,昭和電工宣布與ROHM簽訂了功率半導體用SiC外延片的多年長期供應合同,。

 

圖片來源:昭和電工官網(wǎng)

 

在襯底方面,昭和電工一直在考慮自主生產(chǎn)SiC單晶片,。2010年至2015年,,作為“未來電力電子技術研發(fā)合作伙伴關系”的成員,昭和電工參與了由經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)部和新能源與工業(yè)技術發(fā)展組織(NEDO)主辦和委托的“新型半導體電力電子項目實現(xiàn)低碳排放”,。此外,,2018年,昭和電工接管了新日鐵住友金屬集團(當前的新日鐵集團)的SiC晶圓相關資產(chǎn),,并從那時起一直在開發(fā)大規(guī)模生產(chǎn)SiC晶圓的技術,。

 

這一次,昭和電工決定啟動6英寸SiC晶片的內(nèi)部批量生產(chǎn),。據(jù)其稱,,目前多家客戶采用了由他們內(nèi)部生產(chǎn)的6英寸SiC晶片制成的SiC外延晶片。另一方面,,昭和電工將繼續(xù)從其合作伙伴處購買SiC晶片,,以應對電力半導體對SiC外延晶片的快速增長需求,。因此,,昭和電工將使SiC晶片的來源多樣化,從而為SiC外延晶片建立穩(wěn)定的供應鏈,。

 

參考來源:昭和電工官網(wǎng),、中金研究


(中國粉體網(wǎng)編輯整理/山川)

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