中國粉體網(wǎng)訊  今年一月份,，中信證券發(fā)布了關于國內泛半導體設備精密陶瓷部件及表面技術服務領域的龍頭企業(yè)——蘇州珂瑪材料科技股份有限公司（以下簡稱：珂瑪材料）首次公開發(fā)行股票并上市輔導備案報告,。

珂瑪材料成立于2009年，是一家擁有完全自主知識產(chǎn)權的先進陶瓷材料及技術公司，是國內泛半導體設備用陶瓷部件與表面技術解決方案的領先供應商,。公司開發(fā)了氧化物,、氮化物及碳化物等一系列先進陶瓷材料，建立了較完備的材料體系,，同時圍繞陶瓷材料和部件在泛半導體領域的應用,，開發(fā)了一系列表面技術。

圖片來源：珂瑪材料

歷經(jīng)十余年發(fā)展,，珂瑪材料產(chǎn)品和技術在全球范圍內已得到一千多家客戶的認可和使用,，尤其是得到了下游頭部企業(yè)的廣泛認可。例如,，在泛半導體領域,，主要客戶包括：美國應用材料、北方華創(chuàng),、中微半導體,、拓荊科技、上海微電子,、日本真空（ULVAC）,、中芯國際、華力微電子,、三安光電,、京東方、華星光電,、友達光電等相關行業(yè)知名企業(yè),。

精密陶瓷部件，來源：珂瑪材料

其蘇州二廠致力于研發(fā)和生產(chǎn)應用于泛半導體領域的部件和子系統(tǒng),。例如,，液晶顯示領域的上、下部電極,，半導體領域的靜電卡盤和陶瓷加熱器等,。即將投產(chǎn)的四川子公司將擁有二條全新的分別服務于液晶顯示和半導體的清洗線、先進的陽極氧化產(chǎn)線鋁熔射線以及等離子熱噴涂線,。

在江蘇省科技廳發(fā)布的2021年度省科技成果轉化專項資金立項項目榜單中,，珂瑪材料的“CVD專用絕緣高導熱氮化鋁陶瓷部件與加熱器的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目榜上有名，該項目可以提供CVD 裝備的核心部件,，具有絕緣性好,、熱導率高、耐腐蝕性強,、尺寸大等特點,，可滿足CVD在晶圓鍍膜工藝時的多種嚴苛要求,。

目前國外在集成電路核心裝備用精密陶瓷結構件的研發(fā)和應用方面走在前列的公司有日本京瓷、美國CoorsTek,、德國BERLINERGLAS等,，其中，京瓷和CoorsTek公司占據(jù)了集成電路核心裝備用高端精密陶瓷結構件市場份額的70%,。

上游配套產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展,，已成為我國泛半導體領域尤其是集成電路制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主要短板。相關設備核心零部件主要依賴國外進口,，國產(chǎn)化率相當?shù)�,，嚴重阻礙了我國半導體裝備產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展。珂瑪材料在高端精密結構陶瓷部件領域成功打破了日本,、美國及歐洲等發(fā)達國家在此類核心部件方面的壟斷,，彌補了我國半導體產(chǎn)業(yè)鏈上游配套的缺失，是國內極少數(shù)能夠在此方面同時成為國內外一流半導體設備企業(yè)的核心供應商,。

信息來源：中商網(wǎng),、集微網(wǎng)、珂瑪材料官網(wǎng)

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/山川）

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