中國(guó)粉體網(wǎng)訊 隨著新能源汽車、5G、人工智能,、物聯(lián)網(wǎng)等行業(yè)的蓬勃發(fā)展，以碳化硅、氮化鎵為代表的第三代寬禁帶半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)規(guī)模不斷擴(kuò)大,，先進(jìn)陶瓷在半導(dǎo)體行業(yè)將迎來(lái)更大的應(yīng)用市場(chǎng)。
從第一屆半導(dǎo)體行業(yè)用陶瓷材料技術(shù)研討會(huì)組委會(huì)獲悉,，本屆會(huì)議將于2022年7月13日在濟(jì)南舉辦,。三責(zé)（上海）新材料科技有限公司作為參展單位邀請(qǐng)您共同出席。
三責(zé)（上海）新材料科技有限公司成立于2014年,，公司管理總部位于上海,， 研發(fā)基地和生產(chǎn)工廠位于江蘇省南通開(kāi)發(fā)區(qū)。
公司致力于碳化硅陶瓷研發(fā),、生產(chǎn),、銷售和工程應(yīng)用，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于精細(xì)化工和制藥,、環(huán)保工程,、航空航天、石油化工,、新能源材料,、電子玻璃、微電子和半導(dǎo)體,、光學(xué),、高溫工業(yè)窯爐等領(lǐng)域。
公司擁有核心材料自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),，強(qiáng)勁的新產(chǎn)品,、新應(yīng)用開(kāi)發(fā)能力，為各領(lǐng)域客戶提供優(yōu)質(zhì)實(shí)用的高性能碳化硅陶瓷解決方案,，推動(dòng)高性能碳化硅陶瓷在節(jié)能環(huán)保和精密制造的應(yīng)用,。
產(chǎn)品展示
1、碳化硅三角支架
2,、碳化硅機(jī)械手臂
Coresic® SP碳化硅機(jī)械手臂經(jīng)等靜壓工藝成型,、高溫?zé)Y(jié)而成�,？筛鶕�(jù)用戶設(shè)計(jì)圖紙要求進(jìn)行外形尺寸,，厚度尺寸和形狀進(jìn)行精加工,，以滿足用戶的具體使用要求。
典型應(yīng)用
用于半導(dǎo)體各制程中晶圓的傳輸,。
特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)
具有精確的尺寸和熱穩(wěn)定性
高比剛度和出色的熱均勻性,，長(zhǎng)期使用不易彎曲變形；
具有光滑的表面,，耐磨性佳,，從而安全地處理晶片而不產(chǎn)生顆粒污染。
Coresic® SP碳化硅電阻率在106-108Ω,、無(wú)磁性,，符合抗ESD的規(guī)范要求；可以防止靜電在晶片表面積聚,。
良好的導(dǎo)熱性,、低膨脹系數(shù)。
規(guī)格型號(hào)
可以根據(jù)客戶的圖紙,，加工不同形狀和尺寸的手臂,。
3、碳化硅真空吸盤
Coresic® SP碳化硅真空吸盤經(jīng)等靜壓工藝成型,、高溫?zé)Y(jié)而成,。可根據(jù)用戶設(shè)計(jì)圖紙要求進(jìn)行外形尺寸,，厚度尺寸和形狀進(jìn)行精加工,，以滿足用戶的具體使用要求。
典型應(yīng)用
在半導(dǎo)體制造中,，將極薄的晶圓放置在碳化硅真空吸盤上,，連接真空發(fā)生器，利用真空吸力使晶圓固定,。
應(yīng)用于光刻,、刻蝕、激光處理,、晶圓檢測(cè)等制程,。
特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)
具有精確的尺寸和熱穩(wěn)定性
良好的導(dǎo)熱性、低膨脹系數(shù)和均溫性能
極高的耐磨性和表面光潔度,，孔徑細(xì)小且分布均勻,，對(duì)晶圓各區(qū)域可以均勻吸附
具有優(yōu)秀的耐酸堿腐蝕性能
耐電漿沖擊性
規(guī)格型號(hào)
可以根據(jù)客戶的圖紙定制加工。
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會(huì)務(wù)組
聯(lián)系人：孔經(jīng)理
電話：13661095071（同微信）
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