中國粉體網(wǎng)訊 近日,,露笑科技發(fā)布投資者關(guān)系活動(dòng)記錄表,,其中透露了合肥碳化硅項(xiàng)目新動(dòng)態(tài),。 2020年8月8日、2020年9月15日,,露笑科技分別與合肥市長豐縣人民政府,、安徽長豐雙鳳經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)管理委員會(huì)簽署《合肥市長豐縣與露笑科技股份有限公司共同投資建設(shè)第三代功率半導(dǎo)體(碳化硅)產(chǎn)業(yè)園的戰(zhàn)略合作框架協(xié)議》和《長豐縣招商引資項(xiàng)目投資合作協(xié)議》。
據(jù)悉,,露笑科技將與合肥市長豐縣人民政府在合肥市長豐縣共同投資建設(shè)第三代功率半導(dǎo)體(碳化硅)產(chǎn)業(yè)園,,包括但不限于碳化硅等第三代半導(dǎo)體的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目包括碳化硅晶體生長、襯底制作,、外延生長等的研發(fā)生產(chǎn),,項(xiàng)目投資總規(guī)模預(yù)計(jì)100億元。
露笑科技表示,,2021年6月25日,,露笑科技與合肥北城、長豐四面體,、合肥長豐產(chǎn)業(yè)投促創(chuàng)業(yè)投資基金合伙企業(yè)(有限合伙)(合肥產(chǎn)投作為主導(dǎo))四方簽訂了增資協(xié)議,。目前碳化硅襯底片已送樣并檢測通過,合肥露笑的生產(chǎn)設(shè)備已進(jìn)入安裝調(diào)試階段,。
露笑科技還表示,,合肥投資的碳化硅工廠已全面掌握6英寸導(dǎo)電型碳化硅晶體生長工藝參數(shù)之間的各種耦合關(guān)系,確定了各工藝參數(shù)的優(yōu)值,,中試線生長成品率達(dá)到40%,,具備了可重復(fù)、可批量生長碳化硅晶體的設(shè)備以及技術(shù)條件,。其中露笑科技提供100%國產(chǎn)化的晶體生長設(shè)備,,目前已根據(jù)工藝的改進(jìn),對長晶爐進(jìn)行了三代優(yōu)化,,完成了設(shè)備定型,。
這次合肥項(xiàng)目一期100臺(tái)設(shè)備已經(jīng)完成出廠調(diào)試,預(yù)計(jì)7月底在合肥工廠完成安裝調(diào)試,。襯底片已通過多家第三方單位的測試,,已達(dá)到了P 級標(biāo)準(zhǔn)。隨著襯底加工設(shè)備,、清洗設(shè)備,、測試設(shè)備等的逐步到位,以及加工工藝的進(jìn)一步優(yōu)化,,合肥工廠9月份可實(shí)現(xiàn)6英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底片的小批量試生產(chǎn),。
(中國粉體網(wǎng)編輯整理/山川)
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