上海微系統(tǒng)所石墨烯團(tuán)隊(duì)自2011年開始開展了六方氮化硼襯底上外延生長(zhǎng)石墨烯單晶以及其性能表征的工作,,并取得了一系列的成果。他們?cè)谇捌谡莆帐┬魏丝刂疲–arbon, 50, 329 (2012))、確定單晶和襯底的取向關(guān)系(Scientific Reports, 3, 2666, (2013))的基礎(chǔ)上,,以乙炔為碳源,創(chuàng)新性地引入硅烷作為催化劑,,通過化學(xué)氣相外延的方法制備晶疇尺寸超過20微米的石墨烯單晶,,生長(zhǎng)速率較之前的文獻(xiàn)報(bào)道提高了兩個(gè)數(shù)量級(jí),超過90%的石墨烯單晶與氮化硼襯底嚴(yán)格取向,,呈現(xiàn)由莫瑞條紋引起的~14nm的二維超晶格結(jié)構(gòu),,制備的石墨烯的典型室溫霍爾遷移率超過20,000 cm2/V·s。
石墨烯以其優(yōu)異的電學(xué)性能,、出眾的熱導(dǎo)率以及卓越的力學(xué)性能等而被人們普遍認(rèn)為是為后硅CMOS時(shí)代延續(xù)摩爾定律的最有競(jìng)爭(zhēng)力電子材料,。然而石墨烯的電學(xué)性質(zhì)受到襯底的影響很大,,電荷雜質(zhì)和聲子散射會(huì)使石墨烯的電學(xué)性能極大地下降。研究表明,,六方氮化硼由于其表面原子級(jí)平整,、無懸掛鍵、優(yōu)異的絕緣性能等優(yōu)勢(shì),,成為石墨烯電子器件的絕佳襯底,。在六角氮化硼表面通過化學(xué)氣相沉積方法直接生長(zhǎng)石墨烯單晶,可以避免因物理轉(zhuǎn)移所帶來的介面污染和破損缺陷,,為其在集成電路領(lǐng)域的深入應(yīng)用提供材料基礎(chǔ),。然而,由于襯底缺乏催化能力,,在六角氮化硼這類電介質(zhì)表面直接生長(zhǎng)石墨烯單晶一直是橫亙?cè)谡麄(gè)石墨烯研究領(lǐng)域的一項(xiàng)巨大難題,。該項(xiàng)研究提出的氣態(tài)催化方法已經(jīng)申請(qǐng)專利,可以為在介質(zhì)襯底上制備高質(zhì)量石墨烯單晶薄膜提供全新的思路和技術(shù)方案,。
該項(xiàng)工作得到了科技部重大專項(xiàng),、中國(guó)科學(xué)院和上海市科委相關(guān)研究計(jì)劃的資助。