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王占國院士:半導(dǎo)體材料將走向“納米化”


來源:中國科學(xué)報(bào)

標(biāo)簽納米
半導(dǎo)體照明5年后進(jìn)入千家萬戶,、上百位的密碼幾秒鐘就計(jì)算出來,、人類進(jìn)入變幻莫測(cè)的量子世界……日前,,在中國科技館數(shù)百位參加科學(xué)講壇的聽眾前,,中科院院士、中科院半導(dǎo)體研究所研究員王占國展示了半導(dǎo)體材料的驚人魅力,。

    半導(dǎo)體是介于導(dǎo)體和絕緣體之間的材料,。自1947年12月23日正式發(fā)明后,在家電,、通信,、網(wǎng)絡(luò)、航空,、航天,、國防等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,給電子工業(yè)帶來革命性的影響,。2010年,,全球半導(dǎo)體市場(chǎng)達(dá)到2983億美元,拉動(dòng)上萬億美元的電子產(chǎn)品市場(chǎng),。

    伴隨著半導(dǎo)體市場(chǎng)的壯大,,半導(dǎo)體材料也不斷獲得突破。王占國介紹,,一般將鍺和硅稱為第一代半導(dǎo)體材料,。將砷化鎵、磷化銦等稱為第二代半導(dǎo)體材料,,而將寬禁帶的碳化硅,、氮化鎵和金剛石等稱為第三代半導(dǎo)體材料,。

    第一代材料中,,12英寸單晶硅已經(jīng)大規(guī)模生產(chǎn),18英寸單晶硅已在實(shí)驗(yàn)室研制成功,,全球每年集成電路中的硅用量大約2萬噸,。多晶硅方面,由于國內(nèi)產(chǎn)品純度不夠,,我國集成電路所用硅片基本靠進(jìn)口,。2011年,我國多晶硅產(chǎn)量為5萬噸,。

    硅基微電子技術(shù)方面,,國際上8英寸已經(jīng)廣泛用于大規(guī)模集成電路,我國現(xiàn)有5~12英寸集成電路線約38條,。

    在工藝水平上,,國際上12英寸45納米工藝也投入工業(yè)生產(chǎn),預(yù)計(jì)2016年開發(fā)出16納米工藝,。但我國還停留在0.18微米,、90納米,、65納米水平上,只有少數(shù)企業(yè)擁有45納米工藝,。

    “到2015年,,我國將擁有多條45~90納米的8英寸、12英寸生產(chǎn)線,。2022年進(jìn)入國際前列,。”王占國表示,。

    不過隨著集成度提高,,硅晶片會(huì)遇到很多困難,例如芯片功耗急劇增加,,極有可能將硅片融掉,。

    國際上預(yù)計(jì),2022年將達(dá)到“極限”尺寸——10納米,。因此,,硅基微電子技術(shù)最終將無法滿足人類對(duì)信息量不斷增長(zhǎng)的需求。人們目前開始把希望放在發(fā)展新型半導(dǎo)體材料和開發(fā)新技術(shù)上,。

    王占國介紹,,以砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)等為代表的第二代半導(dǎo)體材料不斷向硅提出挑戰(zhàn),。它可以提高器件和電路的速度,,以及解決由于集成度的提高帶來的功耗增加而出現(xiàn)的問題。

    GaAs,、InP等材料被廣泛應(yīng)用于衛(wèi)星通訊,、移動(dòng)通訊、光通信,、GPS導(dǎo)航等領(lǐng)域,。直徑為2、4,、6英寸的GaAs已經(jīng)得到商業(yè)化應(yīng)用,,8英寸的也已經(jīng)在實(shí)驗(yàn)室研制成功。

    王占國說,,氮化鎵,、碳化硅、氧化鋅等為代表的第三代半導(dǎo)體材料也發(fā)展很快,,這些材料都是寬帶隙半導(dǎo)體材料,。它具有禁帶寬度大、擊穿電壓高,、熱導(dǎo)率大,、電子飽和漂移速度快,、介電常數(shù)小等特征,能夠在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,。

    例如在半導(dǎo)體白光照明方面,,王占國預(yù)計(jì),到2015年,,我國將開發(fā)出150lm/W的半導(dǎo)體照明燈,,電壓只需要3~4伏,非常安全和節(jié)能,。

    王占國認(rèn)為,,半導(dǎo)體材料發(fā)展的趨勢(shì)是由三維體材料向低維材料方向發(fā)展。目前,,基于GaAs和InP基的低維材料已經(jīng)發(fā)展得很成熟,,廣泛地應(yīng)用于光通信、移動(dòng)通訊,、微波通訊的領(lǐng)域,。

    實(shí)際上,這些低維半導(dǎo)體材料亦即納米材料,。王占國表示,,半導(dǎo)體納米科學(xué)技術(shù)的應(yīng)用,將從原子,、分子,、納米尺度水平上,控制和制造功能強(qiáng)大,、性能優(yōu)越的人工微結(jié)構(gòu)材料和基于它們的器件和電器,、電路,極有可能觸發(fā)新的技術(shù)革命,,使人類進(jìn)入變幻莫測(cè)的量子世界,。
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