Marketwire 2011年5月26日加利福尼亞州圣何塞和澳大利亞布里斯班消息 SPP Process Technology Systems(PTS)和澳大利亞格里菲斯大學(xué)簽署聯(lián)合開發(fā)協(xié)議，共同開發(fā)硅上碳化硅技術(shù),。
為期三年的合作協(xié)議旨在商業(yè)化硅上碳化硅(SiC-On-Si)技術(shù),，為L(zhǎng)ED、功率器件和MEMS器件增添可行的半導(dǎo)體材料。
面向半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)提供等離子刻蝕,、沉積和熱處理設(shè)備的領(lǐng)先制造商SPP Process Technology Systems (SPTS) 與澳大利亞格里菲斯大學(xué)今天宣布簽署了一項(xiàng)致力于硅上碳化硅(SiC-On-Si)技術(shù)商業(yè)化的聯(lián)合開發(fā)協(xié)議(JDA),。硅上碳化硅襯底在迅速發(fā)展的發(fā)光二極管(LED)、微電機(jī)系統(tǒng)(MEMS)和功率器件市場(chǎng)有廣泛的用途,。
碳化硅是生長(zhǎng)制造LED所用的GaN薄膜的重要襯底,。碳化硅具有更好的抗輻射能力、機(jī)械強(qiáng)度和熱特性,，因此也成為MEMS器件所使用的硅的替代材料,，使之更適合惡劣環(huán)境。此外,，碳化硅還被用于生產(chǎn)針對(duì)大功率,、高頻率應(yīng)用的半導(dǎo)體器件，在這方面碳化硅的電特性顯著優(yōu)于普通硅,。格里菲斯大學(xué)昆士蘭微米和納米技術(shù)中心(QMNC)下屬的昆士蘭微技術(shù)研究所(QMF)開發(fā)的新技術(shù)已經(jīng)證明能夠直接在低成本硅晶圓上生長(zhǎng)結(jié)晶碳化硅,。通過這項(xiàng)聯(lián)合開發(fā)協(xié)議，SPTS將負(fù)責(zé)為這項(xiàng)技術(shù)的商業(yè)化開發(fā)熱處理和設(shè)備技術(shù),。
硅上碳化硅器件所需的三項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)是：碳化硅淀積,、蝕刻和氧化。QMNC在所有這些領(lǐng)域進(jìn)行了面向商業(yè)化的研究,。QMNC的運(yùn)營(yíng)總監(jiān)Alan Iacopi表示：“聯(lián)合開發(fā)協(xié)議有助于把碳化硅淀積工藝技術(shù)轉(zhuǎn)化為器件研究和開發(fā)活動(dòng),，并通過對(duì)最大300毫米直徑硅晶圓的成批加工為批量生產(chǎn)提供途徑。SPTS在熱處理上的實(shí)力使他們成為有吸引力的合作伙伴,�,！� QMNC項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、副主任Sima Dimitrijev同意這個(gè)觀點(diǎn),，他表示：“聯(lián)合開發(fā)協(xié)議是我們碳化硅研究成果商業(yè)化的重要一步,，特別是與SPTS這樣有著全球影響力的合作伙伴合作�,！�
SPTS總裁兼首席執(zhí)行官William Johnson表示：“作為向MEMS,、LED和功率器件市場(chǎng)提供固定設(shè)備的市場(chǎng)領(lǐng)先者，SPTS始終關(guān)注前沿開發(fā)機(jī)會(huì),。我們很高興有機(jī)會(huì)與格里菲斯大學(xué)的優(yōu)秀研究人員合作,，商業(yè)化硅上碳化硅技術(shù)。為這一合作提供生產(chǎn)技術(shù),，幫助開發(fā)和提供新材料加工技術(shù),，這是我們的一個(gè)重要的企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略。聯(lián)合開發(fā)協(xié)議將進(jìn)一步增強(qiáng)我們所服務(wù)市場(chǎng)的產(chǎn)品組合,，將有助于擴(kuò)大我們的客戶群,。”
關(guān)于SPP Process Technology Systems
SPP Process Technology Systems 成立于2009年10月，是由Surface Technology Systems和收購(gòu)的Aviza Technology資產(chǎn)合并而成,。公司是Sumitomo Precision Products Co., Ltd.的全資子公司,，面向全球半導(dǎo)體行業(yè)和相關(guān)市場(chǎng)設(shè)計(jì)、制造,、銷售和支持高級(jí)半導(dǎo)體資本設(shè)備和工藝技術(shù),。這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于各類細(xì)分市場(chǎng)，包括研發(fā),、數(shù)據(jù)存儲(chǔ),、MEMS與納米技術(shù)、先進(jìn)3D封裝,、LED及通信電源集成電路,。
關(guān)于QMNC 和QMF
昆士蘭微米和納米技術(shù)中心(The Queensland Micro- and Nanotechnology Centre)是格里菲斯大學(xué)的一個(gè)科學(xué)工程研究中心，重點(diǎn)研究開發(fā)智能凈化系統(tǒng)所必須解決的微米和納米技術(shù)問題,。中心擁有材料開發(fā),、傳感、微電子工程與微米技術(shù)以及凝聚態(tài)基本理論專業(yè)人才,，涉及物理,、化學(xué)、應(yīng)用數(shù)學(xué)和工程等學(xué)科,。昆士蘭微米技術(shù)研究所(The Queensland Microtechnology Facility)隸屬于QMNC,，致力于實(shí)現(xiàn)硅上碳化硅技術(shù)的商業(yè)化。它是昆士蘭州政府和澳大利亞國(guó)家制造研究所(National Fabrication Facility)出資建立的,，擁有大型硅晶圓加工處理能力,，支持用于機(jī)械和半導(dǎo)體器件的硅上碳化硅材料的開發(fā)。
為期三年的合作協(xié)議旨在商業(yè)化硅上碳化硅(SiC-On-Si)技術(shù),，為L(zhǎng)ED、功率器件和MEMS器件增添可行的半導(dǎo)體材料。
面向半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)提供等離子刻蝕,、沉積和熱處理設(shè)備的領(lǐng)先制造商SPP Process Technology Systems (SPTS) 與澳大利亞格里菲斯大學(xué)今天宣布簽署了一項(xiàng)致力于硅上碳化硅(SiC-On-Si)技術(shù)商業(yè)化的聯(lián)合開發(fā)協(xié)議(JDA),。硅上碳化硅襯底在迅速發(fā)展的發(fā)光二極管(LED)、微電機(jī)系統(tǒng)(MEMS)和功率器件市場(chǎng)有廣泛的用途,。
碳化硅是生長(zhǎng)制造LED所用的GaN薄膜的重要襯底,。碳化硅具有更好的抗輻射能力、機(jī)械強(qiáng)度和熱特性,，因此也成為MEMS器件所使用的硅的替代材料,，使之更適合惡劣環(huán)境。此外,，碳化硅還被用于生產(chǎn)針對(duì)大功率,、高頻率應(yīng)用的半導(dǎo)體器件，在這方面碳化硅的電特性顯著優(yōu)于普通硅,。格里菲斯大學(xué)昆士蘭微米和納米技術(shù)中心(QMNC)下屬的昆士蘭微技術(shù)研究所(QMF)開發(fā)的新技術(shù)已經(jīng)證明能夠直接在低成本硅晶圓上生長(zhǎng)結(jié)晶碳化硅,。通過這項(xiàng)聯(lián)合開發(fā)協(xié)議，SPTS將負(fù)責(zé)為這項(xiàng)技術(shù)的商業(yè)化開發(fā)熱處理和設(shè)備技術(shù),。
硅上碳化硅器件所需的三項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)是：碳化硅淀積,、蝕刻和氧化。QMNC在所有這些領(lǐng)域進(jìn)行了面向商業(yè)化的研究,。QMNC的運(yùn)營(yíng)總監(jiān)Alan Iacopi表示：“聯(lián)合開發(fā)協(xié)議有助于把碳化硅淀積工藝技術(shù)轉(zhuǎn)化為器件研究和開發(fā)活動(dòng),，并通過對(duì)最大300毫米直徑硅晶圓的成批加工為批量生產(chǎn)提供途徑。SPTS在熱處理上的實(shí)力使他們成為有吸引力的合作伙伴,�,！� QMNC項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、副主任Sima Dimitrijev同意這個(gè)觀點(diǎn),，他表示：“聯(lián)合開發(fā)協(xié)議是我們碳化硅研究成果商業(yè)化的重要一步,，特別是與SPTS這樣有著全球影響力的合作伙伴合作�,！�
SPTS總裁兼首席執(zhí)行官William Johnson表示：“作為向MEMS,、LED和功率器件市場(chǎng)提供固定設(shè)備的市場(chǎng)領(lǐng)先者，SPTS始終關(guān)注前沿開發(fā)機(jī)會(huì),。我們很高興有機(jī)會(huì)與格里菲斯大學(xué)的優(yōu)秀研究人員合作,，商業(yè)化硅上碳化硅技術(shù)。為這一合作提供生產(chǎn)技術(shù),，幫助開發(fā)和提供新材料加工技術(shù),，這是我們的一個(gè)重要的企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略。聯(lián)合開發(fā)協(xié)議將進(jìn)一步增強(qiáng)我們所服務(wù)市場(chǎng)的產(chǎn)品組合,，將有助于擴(kuò)大我們的客戶群,。”
關(guān)于SPP Process Technology Systems
SPP Process Technology Systems 成立于2009年10月，是由Surface Technology Systems和收購(gòu)的Aviza Technology資產(chǎn)合并而成,。公司是Sumitomo Precision Products Co., Ltd.的全資子公司,，面向全球半導(dǎo)體行業(yè)和相關(guān)市場(chǎng)設(shè)計(jì)、制造,、銷售和支持高級(jí)半導(dǎo)體資本設(shè)備和工藝技術(shù),。這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于各類細(xì)分市場(chǎng)，包括研發(fā),、數(shù)據(jù)存儲(chǔ),、MEMS與納米技術(shù)、先進(jìn)3D封裝,、LED及通信電源集成電路,。
關(guān)于QMNC 和QMF
昆士蘭微米和納米技術(shù)中心(The Queensland Micro- and Nanotechnology Centre)是格里菲斯大學(xué)的一個(gè)科學(xué)工程研究中心，重點(diǎn)研究開發(fā)智能凈化系統(tǒng)所必須解決的微米和納米技術(shù)問題,。中心擁有材料開發(fā),、傳感、微電子工程與微米技術(shù)以及凝聚態(tài)基本理論專業(yè)人才,，涉及物理,、化學(xué)、應(yīng)用數(shù)學(xué)和工程等學(xué)科,。昆士蘭微米技術(shù)研究所(The Queensland Microtechnology Facility)隸屬于QMNC,，致力于實(shí)現(xiàn)硅上碳化硅技術(shù)的商業(yè)化。它是昆士蘭州政府和澳大利亞國(guó)家制造研究所(National Fabrication Facility)出資建立的,，擁有大型硅晶圓加工處理能力,，支持用于機(jī)械和半導(dǎo)體器件的硅上碳化硅材料的開發(fā)。
