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碳化硅單晶生長方面取得重大進展


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    近日,,中科院物理所陳小龍研究員領導的科研小組在碳化硅(SiC) 晶體生長方面取得了重大進展,。他們在自行研制的高溫生長爐上,,解決了物理氣相傳輸法中生長SiC晶體的一些關鍵物理化學問題,,成功地生長出了直徑為2英寸的SiC晶體,,其X-射線衍射搖擺曲線達到2弧分,,微管密度已少于100個/平方厘米(10×10平方毫米樣品),,這些表征SiC 晶體質量的重要參數指標超過了目前Cree公司的部分商品的指標,,為SiC 單晶的國產化奠定了基礎,。
    目前,國際上只有少數幾個國家的幾個公司和大學掌握了SiC體晶體的生長技術,,其中美國的Cree公司處于領先地位,。SiC晶片的價格極其昂貴,我國目前所需的SiC晶體全部依賴進口,。以碳化硅(SiC)及GaN為代表的寬禁帶材料,,是繼Si和GaAs之后的第三代半導體。與Si相比,, SiC具有寬禁帶(Si的2~3倍),、高熱導率 (Si的3.3倍)、高擊穿場強(Si的10倍),、高飽和電子漂移速率(Si 的2.5倍),、化學性能穩(wěn)定、高硬度、抗磨損以及高鍵合能等優(yōu)點,。所以,,SiC特別適合于制造高溫、高頻,、高功率,、抗輻射、抗腐蝕的電子器件,。SiC器件可用于航天,、通訊、海洋勘探,、地震預報,、石油鉆井、機械加工,、汽車電子化等重要領域,。此外,六方SiC與GaN晶格和熱膨脹相匹配,,是制造高亮度GaN發(fā)光和激光二極管的理想襯底材料,。此項科研成果得到了中國科學院知識創(chuàng)新工程、國家基金委,、國家“863”計劃以及國家預先研究基金等的支持,。
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