近日,，中科院物理所陳小龍研究員領(lǐng)導(dǎo)的科研小組在碳化硅(SiC) 晶體生長方面取得了重大進(jìn)展。他們在自行研制的高溫生長爐上,，解決了物理氣相傳輸法中生長SiC晶體的一些關(guān)鍵物理化學(xué)問題,，成功地生長出了直徑為2英寸的SiC晶體，其X-射線衍射搖擺曲線達(dá)到2弧分,，微管密度已少于100個／平方厘米(10×10平方毫米樣品),，這些表征SiC 晶體質(zhì)量的重要參數(shù)指標(biāo)超過了目前Cree公司的部分商品的指標(biāo)，為SiC 單晶的國產(chǎn)化奠定了基礎(chǔ),。
    目前,，國際上只有少數(shù)幾個國家的幾個公司和大學(xué)掌握了SiC體晶體的生長技術(shù)，其中美國的Cree公司處于領(lǐng)先地位,。SiC晶片的價格極其昂貴,，我國目前所需的SiC晶體全部依賴進(jìn)口。以碳化硅(SiC)及GaN為代表的寬禁帶材料,，是繼Si和GaAs之后的第三代半導(dǎo)體,。與Si相比， SiC具有寬禁帶(Si的2～3倍),、高熱導(dǎo)率 (Si的3.3倍),、高擊穿場強(qiáng)(Si的10倍)、高飽和電子漂移速率(Si 的2.5倍),、化學(xué)性能穩(wěn)定,、高硬度、抗磨損以及高鍵合能等優(yōu)點,。所以，SiC特別適合于制造高溫,、高頻,、高功率、抗輻射,、抗腐蝕的電子器件,。SiC器件可用于航天、通訊,、海洋勘探,、地震預(yù)報、石油鉆井、機(jī)械加工,、汽車電子化等重要領(lǐng)域,。此外，六方SiC與GaN晶格和熱膨脹相匹配,，是制造高亮度GaN發(fā)光和激光二極管的理想襯底材料,。此項科研成果得到了中國科學(xué)院知識創(chuàng)新工程、國家基金委,、國家“863”計劃以及國家預(yù)先研究基金等的支持,。