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CVD系列真空氣氛管式爐廣泛應(yīng)用于胳,、中,、低溫CVD工藝，例如,；納米粉體的轉(zhuǎn)相,、炭納米管的研制、晶體硅基板鍍膜,、納米氧化鋅結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)等等,；也可適用于金屬材料的擴(kuò)散焊接以及真空或保護(hù)氣氛下熱處理。 采用高純石英管或剛玉管作為內(nèi)爐膛,，可拆卸式的三面密封方式,，具有良好的潔凈度和真空度,；耐火,、保溫材料全部采用先進(jìn)的輕質(zhì)纖維制品，整機(jī)質(zhì)量輕,、能耗低,；加熱元件采用U型硅鋁（炭）棒或原裝竟口電陰絲,；溫控系統(tǒng)采用進(jìn)口多段智能程序溫度控制儀控制,，溫度控制具有良好的穩(wěn)定性,、重復(fù)性,，溫度控制精度高 **溫度可達(dá)1650度,，其他參數(shù)按照用戶提出系列要求來(lái)設(shè)計(jì)。 注：本公司可根據(jù)用戶要求提供各種非標(biāo)設(shè)計(jì)制造,，歡迎來(lái)電咨詢,。