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HON-CO2-S/W/VVV系列二氧化碳純化器品牌
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系列 Series | 雜質(zhì) Impurity | 入口 Inlet（ppm） | 出口 Outlet（ppb） |
HON-CO2-S/W/VVV | O2 | ＜3 | ＜1 |
H2 | ＜1 | ＜1 | |
CO | ＜1 | ＜1 | |
CH4 | ＜0.5 | -- | |
H2O | ＜3 | ＜1 | |
揮發(fā)性酸VA | -- | ＜0.005 | |
揮發(fā)性堿VB | -- | ＜0.5 | |
耐熔化合物RC | -- | ＜0.005 | |
可冷凝有機(jī)物Corg | -- | ＜0.15 | |
不凝有機(jī)物Ncorg | -- | ＜1 | |
Flow | 10～3000Nm3/h | ||
工藝介紹：
（1）使用特殊純化材料，通過(guò)物理和化學(xué)吸附方式脫除O2,、CO,、H2O、H2,、揮發(fā)性酸VA,、揮發(fā)性堿VB、耐熔化合物RC,、可冷凝有機(jī)物Corg,、不凝有機(jī)物Ncorg等雜質(zhì)。
（2）吸附反應(yīng)器吸附飽和后可通氫加熱再生,，反復(fù)使用,。
（3）多柱交替吸附、再生,，可連續(xù)供氣,。
應(yīng)用領(lǐng)域：
純化用于半導(dǎo)體應(yīng)用的二氧化碳
氣體行業(yè)
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