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原料氫:催化重整 (煤,、天然氣、甲醇,、乙醇、二甲醚,、汽油等),;化學(xué)分解化物、氫化物,、甲酸等);電解水
(堿液,、純水),;生物制氫;各種副產(chǎn)氫(氨,、鋁、硼氫(氯堿,、煉化,、石化,、焦化、煤化工等),??蓮V泛用于氫能、半導(dǎo)體芯片,、燒結(jié)爐保護(hù)氣、MOCVD,、人造金剛石(MPCVD),、色譜分析,、冶金等領(lǐng)域,以及氫氣/氦氣分離,、氫同位素(氕氘氚)分離與純化,。
產(chǎn)氫量/ H2 output:1 – 10 m3/h;
純度/ H2 purity:99.99 – 99.9999%;
主要用途/ Main applications:
色譜/ Gas chromatography
燃料電池/ Fuel cell
核能/ Nuclear power
多晶硅/ Polysilicon
電子/ Electronics
冶金/ Metallurgy
可利用的原料氫來(lái)源有:重整制氫(煤,、天然氣、汽油,、柴油,、石腦油、甲醇,、乙醇、二甲醚,、乙醚等);各種副產(chǎn)氫(氯堿,、煉化,、石化,、焦化、煤化工等);化學(xué)分解制氫(氨,、鋁,、硼氫化物,、氫化物、甲酸等);電解(堿液,、純水)制氫等,。
可廣泛用于氫能,、半導(dǎo)體芯片、燒結(jié)爐保護(hù)氣,、MOCVD、人造金剛石,、色譜分析等領(lǐng)域,,以及氫氣/氦氣分離,、氫同位素(氕氘氚)的分離與純化。
半導(dǎo)體芯片,、液晶顯示器-CVD氫氣純化器
■半導(dǎo)體芯片的CVD制造工藝所需氫氣純度8N~12N,只能通過(guò)鈀膜純化,。本公司產(chǎn)品打破了國(guó)外壟斷,,也可為T(mén)FT-LCD液晶顯示器的CVD工藝提供關(guān)鍵電子氣。
人造金剛石用氫氣純化器
■用于MPCVD工藝,,顯著提升人造金剛石的質(zhì)量和成色(特別是用作首飾)。
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