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全自動雙軸晶圓切割機-TS1261
全自動雙軸晶圓切割機-TS1261

參考價格

面議

型號

全自動雙軸晶圓切割機-TS1261

品牌

博磊精密

產(chǎn)地

江蘇

樣本

暫無
博磊精密設備(蘇州)有限公司

高級會員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 主軸轉(zhuǎn)速:

    -
  • 切割片尺寸:

    -
  • 裝機功率(kw):

    -
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直觀式的操作輔助操作者

通過LCD觸控面板,,可以在使用顯微鏡畫面的同時進行校準和教學等操作。此外,,通過機臺狀態(tài)的圖表和MTBA(機臺平均停機處理時間)的顯示,,操作人員可以以圖像化的方式了解機臺的運行狀況。在發(fā)生異常時,,屏幕上會提供處理指示,輔助進行故障排除操作,。

抑制微粒粉塵的選項

切割部分的二流體噴嘴,。

旋轉(zhuǎn)部分的二流體噴嘴。

工作盤的水簾,,防止微粒干燥導致硬化,。

強抽風管(主軸)。

保養(yǎng)區(qū)域的縮減

所有的日常操作和保養(yǎng)都可以從正面進行,。當需要并排放置多臺機臺時,,由于減少了側(cè)面的維護空間,相比之前的TS1260型號,,現(xiàn)在可以放置6臺TS1261型號的機臺,,而不是只能放置4臺。

工作物切割加工流程

夾具將工作物從儲料盒中取出,,送到預校準臺,。

在預校準臺進行中心定位后,下臂將工作物移到工作盤,。

進行切割加工,。

上臂將工作物移到離心清洗臺。

進行清洗和干燥,。

下臂將工作物送到預校準臺,。

夾具將工作物送回儲料盒中。

標配功能

自動刀痕校正(Auto Kerf Check),。

非接觸式刀高測量(NCS,,Non-Contact Setup),。

刀片斷裂檢測(Blade Broken Detector)。

二流體噴嘴,。

選配功能

硬件:在線磨刀(ln-line Dressing),,微塵加強清潔(Class 100),激光刀痕對準(Laser Kerf Alignment,,特殊CCD),,CO2機(外掛),藥液混合設備(外掛),。

軟件:激光刀痕對準(Laser Kerf Alignment),,SECS/GEM,其他定制化軟件功能,。

規(guī)格

單位

TS1261

(1.2/1.8/2.4Kw)

**工作范圍

mm

Φ300/Φ200

X-axis

Cutting range

mm

310/210

Cutting speed

mm/sec

0.1-1,000

 

Y1,、Y2-axis

Cutting range

mm

310

Index step

mm

0.0001

Index positioning accuracy

mm

0.003/310

mm

0.002/5(Single error)

 

Z-axis

Max. stroke

mm

14.2(Forφ2”blade)

Moving resolution

mm

0.0000003(24bit)

Repeatability accuracy

mm

0.001

?-axis

Max. rotating angle

deg

380

Spindle

Rated torque

N.m

0.27

Revolution speed range

rpm

6,000-60,000

Machine dimensions (W x D x H)

mm

1,250 x 1,600 x 1,890

Machine weight

kg

2,150


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