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微射流激光(LMJ)技術(shù)的“溫和”加工方式滿足敏感的半導(dǎo)體材料的切割,、開槽和打孔的日益增強(qiáng)的質(zhì)量要求,達(dá)到光滑垂直的切邊、保持材料的高晶圓斷裂強(qiáng)度并顯著降低破損風(fēng)險(xiǎn),。
性能
熱損傷區(qū)幾乎可以忽略不計(jì)每小時(shí)加工費(fèi)用是傳統(tǒng)加工技術(shù)的55%良品率超過99%
人力成本是目前的1/10
暫無數(shù)據(jù),！
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